東區電池效率提升經驗分享

東區電池制造2010.3.191電池轉換效率大幅提升升0.55％升1.78％升1.02％降1.00％降0.23％升26.7％升8.23％降18.2％升3.69%工序標準化貢獻~0.15％高阻貢獻~0.17％88nm膜厚貢獻~0.18％電性能提升：轉換效率從開線時16.30％提高至目前16.80％;試驗模型：

Case1高方阻工藝DOE－試驗模型此模型應用到電池擴散，具體對應關系如下：輸入：制絨后的硅片可控因子-：氣流，溫度，時間，壓強噪聲因子：時效，片源，機臺輸出：擴散質量，磷濃度分布曲線輸出將直接決定轉化效率因子選擇與控制：

可控因子選擇氣流：N2,POCL3,O2中選擇POCL3作為keyfactor，以控制磷的摻雜總量和均勻性；溫度：溫度影響磷的摻雜總量，濃度分布，作為keyfactor；時間：淀積時間，推進時間影響磷的摻雜總量，濃度分布，作為keyfactor；壓強：由于壓強的波動相對于其絕對值非常小，對制程影響將較小；

噪聲因子控制片源：通過等份混片，保證片源一致；時效：技術員全程跟蹤，盡量減少硅片的滯留時間；機臺：保證路徑一樣；Case1高方阻工藝DOE－因子選擇第一組試驗：對以上可控因子進行田口設計，生成L9試驗方案,找出最佳方案---E3：第二組試驗：根據第一組試驗結果，進行第二組試驗確定時間，試驗方案為全因子設計，找出最佳方案---E6注：時間為淀積時間+推進時間，試驗組別主反應溫度(℃)POCL3流量(sccm)時間(m)E183075014+12E283095018+16E3830110022+20E485075018+16E585095022+20E6850110014+12E787075022+20E887095014+12E9870110018+16試驗組別淀積時間(m)推進時間(m)POCL3流量(sccm)主反應溫度(℃)E116141000830E216161000830E316181000830E418141000830E518161000830E618181000830E720141000830E820161000830E920181000830Case1高方阻工藝DOE－L9實驗因子選擇與控制：

可控因子選擇：氣流：流量比例影響薄膜成分組成；壓強：影響膜的均勻性；膜厚：影響減反射效果；燒結溫度：影響氫分布和鈍化效果；

噪聲因子控制：片源：通過等份混片，保證片源一致；時效：技術員全程跟蹤，盡量減少硅片的滯留時間；機臺：保證路徑一樣；Case2高膜厚工藝DOE-因子選擇第一組試驗：對以上可控因子進行田口設計，生成L9試驗方案,找出最佳方案Recipe7：第二組試驗：根據第一組試驗結果，進行第二組試驗，添加后到燒結因素，找出最佳方案---recipe7Case2高膜厚工藝DOE-L9試驗Case3絲網燒結DOE實驗-因子選擇8因子選擇與控制：

可控因子選擇：溫度：烘干溫度(DryerT1/T2/T3/T4)；燒結溫度(FiringT1/T2/T3/T4/T5/T6),各溫區對燒結起到特定的作用,燒結區T4/T5/T6為影響燒結效果的主要因子,氣流：溫場控制氣流,排風,冷卻氣流(確保溫場無波動,調節后反應滯后-小于2℃,設定)冷卻水:確保冷卻效果,設定時間：燒結爐經過時間(決定產量,設定速度230inch/min)

噪聲因子控制：片源：通過等份混片，保證片源一致；時效：技術員全程跟蹤，盡量減少硅片的滯留時間；機臺：保證路徑一樣；環境:環境溫度,冷卻水溫度,外圍排風Case3絲網燒結DOE實驗-L9試驗9選取主燒結溫度T4/T5/T6進行田口設計,生成L9試驗方案,得到最佳溫度組合Recipe5根據第一組試驗結果,重新設計第二組試驗方案,得到最佳溫度組合Recipe5據第2組實驗結果,進行T4/T5/T6的部分因子優化,得到各機臺的最佳燒結溫度第一組試驗：第二組試驗：Case4前后清洗DOE-因子選擇10因子選擇與控制：

可控因子選擇：HNO3：主要起氧化作用，起濃度直接決定氧化的速度，作為keyfactor；HF：主要起剝離氧化產物的作用，進而形成絨面，作為keyfactor；DI：直接影響HNO3和HF的濃度，作為keyfactor；

過程變量控制：溫度：保持恒定；滾輪速度：保持恒定；流量：保持恒定；

Case4前后清清洗DOE-混酸設設計對以上上可控控因子子進行行混酸酸設計計：固定溫溫度，，滾輪輪速度度，流流量11Case4前后清清洗DOE-試驗結結果12最優配配比為為HF-0.26,HNO3-0.38,H2O-0.36(現用配配比為為HF-0.22,HNO3-0.43,H2O-0.35）考慮到到現用用配比比落在在<21區域內內，而而最優優擬合合值輸輸出結結果為為20.565，與目目前反反射率率平均均值21差異較較小，，因此此配比不不做調調整。相關性性趨勢勢圖－－下一一步提提效方方向13降低Rs將對效效率有有顯著著提升升下一步步改善善應想想辦法法降降低Rs：網網版設設計漿漿料試試驗PERS流程通過應應用PERS流程,對所有有主機機臺的的制程程能力力指標標進行行驗收收,確保東東區電電池順順利開開線,主要分分為兩兩部分分:申請部部分此部分分主要要是確確定QualLot階段和和RiskRun階段的的評估估項目目,方法,規模,合格基基準以以及評評價者者;示例:評估部部分此部分分主要要是根根據開開線時時收集集整理理的相相關數數據,提交報報告判判定申申請部部分的的評估估項目目是否否可以以驗收收;示例:SPC管控SPC管控體體系：：SPC報表正常工工藝高方阻阻工藝藝對生產產過程程中的的各種種影響響因素素進行行預防防性的的質量量管理理，確保保制程程狀況況處于于穩定定，制制程控控制能能力逐逐漸提提高SPCControlTableSPC相關SOP工序標標準化化GoldenTool選擇Phase1進行及及結束束后(6條線),選取各各道工工序的的GoldenTool,所有設設備的的參照照GoldenTool進行優化,進行初初次標標準化化工序設設備匹匹配性性驗證證因C3采取非非對線線跑片片,所以各各機臺臺之間間的兼兼容性性必須須考慮慮(擴散與與燒結結的匹匹配性性尤為為重要要),所有工工序初步標標準化化已完完成.擴散在在絲網網燒結結機臺臺無明明顯效效率差差異,下圖為為一周周擴散散對絲絲網的的效率率趨勢勢圖16心得體體會17實驗未未動，，設計計先行行制程穩穩定，，循序序漸進進志同道道合，，方法法爭鳴鳴各司其其職，，各得得其所所部門交交流，，他山山之玉玉開放思思維，，挑戰戰教條條恥為人人后，，力爭爭上游游9、靜靜夜夜四四無無鄰鄰，，荒荒居居舊舊業業貧貧。。。。12月月-2212月月-22Wednesday,December28,202210、雨中中黃葉葉樹，，燈下下白頭頭人。。。21:03:0721:03:0721:0312/28/20229:03:07PM11、以我獨沈沈久，愧君君相見頻。。。12月-2221:03:0721:03Dec-2228-Dec-2212、故人江海別別，幾度隔山山川。。21:03:0721:03:0721:03Wednesday,December28,202213、乍乍見見翻翻疑疑夢夢，，相相悲悲各各問問年年。。。。12月月-2212月月-2221:03:0721:03:07December28,202214、他鄉生生白發，，舊國見見青山。。。28十十二月20229:03:07下午午21:03:0712月-2215、比不不了得得就不不比，，得不不到的的就不不要。。。。十二月月229:03下下午午12月月-2221:03December28,202216、行動動出成成果，，工作作出財財富。。。2022/12/2821:03:0721:03:0728December202217、做前，能能夠環視四四周；做時時，你只能能或者最好好沿著以腳腳為起點的的射線向前前。。9:03:07下下午9:03下下午21:03:0712月-229、沒沒有有失失敗敗，，只只有有暫暫時時停停止止成成功功！！。。12月月-2212月月-22Wednesday,December28,202210、很多事情努努力了未必有有結果，但是是不努力卻什什么改變也沒沒有。。21:03:0721:03:0721:0312/28/20229:03:07PM11、成功就是是日復一日日那一點點點小小努力力的積累。。。12月-2221:03:0721:03Dec-2228-Dec-2212、世間成成事，不不求其絕絕對圓滿滿，留一一份不足足，可得得無限完完美。。。21:03:0721:03:0721:03Wednesday,December28,202213、不不知知香香積積寺寺，，數數里里入入云云峰峰。。。。12月月-2212月月-2221:03:0721:03:07December28,202214、意志堅堅強的人人能把世世界放在在手中像像泥塊一一樣任意意揉捏。。28十十二月20229:03:07下午午21:03:0712月-2215、楚塞三湘湘接，荊門門九派通。。。。十二月229:03下下午12月-2221:03December28,202216、少少年年十十五五二二十十時時，，步步行行奪奪得得胡胡馬馬騎騎。。。。2022/12/2821:03:0721:03:0728December202217、空山新雨后后，天氣晚來來秋。。9:03:07下午9:03下下午21:03:0712月-229、楊柳散散和風，，青山澹澹吾慮。。。12月-2212月-22Wednesday,December28,202210、閱讀一切好好書如同和過過去最杰出的的人談話。21:03:0821:03:0821:0312/28/20229:03:08PM11、越是是沒有有本領領的就就越加加自命命不凡凡。12月月-2221:03:0821:03Dec-2228-Dec-2212、越越是是無無能能的的人人，，越越喜喜歡歡挑挑剔剔別別人人的的錯錯兒兒。。21:03:0821:03:0821:03Wednesday,December28,202213、知人人者智智，自自知者者明。。勝人人者有有力，，自勝勝者強強。12月月-2212月月-2221:03:0821:03:08December28,202214、意志