1、會計(jì)學(xué)1透射透射(tu sh)電子顯微分析修改后電子顯微分析修改后第一頁，共40頁。 在電子光學(xué)微觀分析儀器中、透射電鏡歷史久，發(fā)展快，應(yīng)用范圍也最廣泛。 早在30年代末期、透射電鏡就已初步定型生產(chǎn)，并已達(dá)到分辨率優(yōu)于2nm的水平。 到40年代末，透射電鏡的主體己基本(jbn)定型。由電子槍和兩個聚光鏡組成照明系統(tǒng)，產(chǎn)生一束聚焦很細(xì)、亮度高、發(fā)散度小的電子束；由物鏡、中間鏡和投影鏡三個透鏡組成三級放大的成像系統(tǒng)；給出分辨率優(yōu)于1nm放大幾十萬倍的電子像。 透射電鏡的發(fā)展帶動了電子光學(xué)儀器和技術(shù)的發(fā)展。 第2頁/共40頁第二頁，共40頁。第一節(jié)透射電鏡的結(jié)透射電鏡的結(jié)構(gòu)構(gòu)(jigu)(jigu)

2、及及應(yīng)用應(yīng)用 第3頁/共40頁第三頁，共40頁。 透射電子顯微鏡是以波長極短的電子束作為照明源，用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨本領(lǐng)、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器(yq)。它由電子光學(xué)系統(tǒng)、電源與控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)三部分組成。電子光學(xué)系統(tǒng)通常稱鏡筒，是透射電子顯微鏡的核心，它的光路原理與透射光學(xué)顯微鏡十分相似，如圖81所示。它分為三部分，即照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)和觀察記錄系統(tǒng)。 第4頁/共40頁第四頁，共40頁。第5頁/共40頁第五頁，共40頁。p 一、一、 透射電鏡的結(jié)構(gòu)透射電鏡的結(jié)構(gòu)(jigu) 第6頁/共40頁第六頁，共40頁。 (1)照明系統(tǒng) 照明系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡和相應(yīng)的平移對中及傾斜調(diào)節(jié)裝

3、置組成。它的作用是為成像系統(tǒng)提供一束亮度高、相干性好的照明光源。為滿足暗場成像的需要照明電子束可在20-30范圍內(nèi)傾斜。 電子槍。電子槍通常采用發(fā)夾式熱陰極三極電子槍，它由陰極、柵極和陽極構(gòu)成。在真空中通電加熱后使從陰極發(fā)射的電子獲得較高的動能(dngnng)形成定向高速電子流。新型電鏡還有采用六硼化鑭(LaB6)及場發(fā)射電子槍，它們的壽命、亮度、能量分散和機(jī)械性能穩(wěn)定性均優(yōu)于鎢絲三極電子槍。 第7頁/共40頁第七頁，共40頁。第8頁/共40頁第八頁，共40頁。 聚光鏡。聚光鏡。 聚光鏡的作用是會聚從電子槍發(fā)射出來聚光鏡的作用是會聚從電子槍發(fā)射出來的電子束，控制照明的電子束，控制照明(zhom

4、ng)孔徑角、孔徑角、電流密度利光斑尺寸。幾乎所有的高性能電流密度利光斑尺寸。幾乎所有的高性能電鏡都采用雙聚光鏡。這兩個透鏡一般是電鏡都采用雙聚光鏡。這兩個透鏡一般是整體的。整體的。 其中第一聚光鏡為短焦距強(qiáng)激磁透鏡，其中第一聚光鏡為短焦距強(qiáng)激磁透鏡，可將光斑縮小為可將光斑縮小為2060分之一，使照明分之一，使照明(zhomng)束直徑降為束直徑降為0.20.75m；第二；第二聚光鏡是長焦距磁透鏡，放大倍數(shù)一般是聚光鏡是長焦距磁透鏡，放大倍數(shù)一般是2倍。使照射在試樣上的束徑增為倍。使照射在試樣上的束徑增為0.41.5m左右。左右。 在第二聚光鏡下面徑向插入在第二聚光鏡下面徑向插入個孔徑個孔徑2

5、00400m的多孔的活動光闌、用來限制的多孔的活動光闌、用來限制和改變照明和改變照明(zhomng)孔徑角。為了使投孔徑角。為了使投射到樣品上的光斑較圓，在第二聚光鏡下射到樣品上的光斑較圓，在第二聚光鏡下方裝有機(jī)械式或電磁式消像散器。方裝有機(jī)械式或電磁式消像散器。 第9頁/共40頁第九頁，共40頁。第10頁/共40頁第十頁，共40頁。(2)(2)樣品室樣品室 樣品室中有樣品桿、樣品杯及樣品臺。樣品室中有樣品桿、樣品杯及樣品臺。 透射電鏡樣品一般放在直徑為透射電鏡樣品一般放在直徑為3mm3mm、厚、厚50100m50100m的載網(wǎng)上，載網(wǎng)放入樣品杯中。的載網(wǎng)上，載網(wǎng)放入樣品杯中。 樣品臺的作用是

6、承載樣品，并使樣品能在物鏡樣品臺的作用是承載樣品，并使樣品能在物鏡極靴孔內(nèi)平移、傾斜、旋轉(zhuǎn)極靴孔內(nèi)平移、傾斜、旋轉(zhuǎn)(xunzhun)(xunzhun)以選擇感以選擇感興趣的樣品區(qū)域進(jìn)行觀察分析。興趣的樣品區(qū)域進(jìn)行觀察分析。 樣品臺有頂插式和側(cè)插式兩種，一般高分辨樣品臺有頂插式和側(cè)插式兩種，一般高分辨型電鏡采用頂插式樣品臺。分析型電鏡采用側(cè)插型電鏡采用頂插式樣品臺。分析型電鏡采用側(cè)插式樣品臺。最新式的電鏡上還裝有雙傾斜、加熱、式樣品臺。最新式的電鏡上還裝有雙傾斜、加熱、冷卻和拉伸等樣品臺以滿足相變、形變等動態(tài)觀冷卻和拉伸等樣品臺以滿足相變、形變等動態(tài)觀察的需要。察的需要。 第11頁/共40頁第十

7、一頁，共40頁。p(3)(3)成像系統(tǒng)成像系統(tǒng)p 一般由物鏡、中間鏡和投影鏡組成。一般由物鏡、中間鏡和投影鏡組成。p 物鏡的分辨本領(lǐng)決定了電鏡的分辨物鏡的分辨本領(lǐng)決定了電鏡的分辨本領(lǐng)，因此為了獲得最高分辨本領(lǐng)、最本領(lǐng)，因此為了獲得最高分辨本領(lǐng)、最佳質(zhì)量的圖像，物鏡采用了強(qiáng)激磁、短佳質(zhì)量的圖像，物鏡采用了強(qiáng)激磁、短焦距透鏡以減少像差還借助于孔徑不焦距透鏡以減少像差還借助于孔徑不同的物鏡光闌和消像散器及冷阱進(jìn)一步同的物鏡光闌和消像散器及冷阱進(jìn)一步降低球差，改變襯度，消除像散，防止降低球差，改變襯度，消除像散，防止污染以獲得最佳的分辨本領(lǐng)。污染以獲得最佳的分辨本領(lǐng)。p 中間鏡和投影鏡的作用中間鏡和投

8、影鏡的作用(zuyng)(zuyng)是是將來自物鏡的圖像進(jìn)一步放大。將來自物鏡的圖像進(jìn)一步放大。 第12頁/共40頁第十二頁，共40頁。p(4)圖像觀察與記錄系統(tǒng)圖像觀察與記錄系統(tǒng)p該系統(tǒng)由熒光屏、照相機(jī)、數(shù)據(jù)該系統(tǒng)由熒光屏、照相機(jī)、數(shù)據(jù)(shj)顯示等組成。顯示等組成。第13頁/共40頁第十三頁，共40頁。p2真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)p 真空系統(tǒng)由機(jī)械泵，油擴(kuò)散泵、換向閥真空系統(tǒng)由機(jī)械泵，油擴(kuò)散泵、換向閥門、真率測量儀表及真空管道組成。門、真率測量儀表及真空管道組成。p 它的作用是排除鏡筒內(nèi)氣體，使鏡筒真它的作用是排除鏡筒內(nèi)氣體，使鏡筒真空度至少要在空度至少要在10-5托以上，目前最好的真空托以上

9、，目前最好的真空度可以達(dá)到度可以達(dá)到10-910-10。托。托。1托為托為133.3帕帕斯卡。斯卡。1托等同于托等同于1毫米汞柱毫米汞柱p 如果真空度低的話，電子與氣體分子如果真空度低的話，電子與氣體分子之間的碰撞之間的碰撞(pn zhun)引起散射而影響引起散射而影響襯度，還會使電子?xùn)艠O與陽極間高壓電離襯度，還會使電子?xùn)艠O與陽極間高壓電離導(dǎo)致極間放電，殘余的氣體還會腐蝕燈絲，導(dǎo)致極間放電，殘余的氣體還會腐蝕燈絲，污染樣品。污染樣品。第14頁/共40頁第十四頁，共40頁。3供電控制系統(tǒng)供電控制系統(tǒng) 加速電壓和透鏡磁電流不穩(wěn)定將會產(chǎn)生嚴(yán)加速電壓和透鏡磁電流不穩(wěn)定將會產(chǎn)生嚴(yán)重的色差及降低電鏡的分辨

10、本領(lǐng)，所以加速重的色差及降低電鏡的分辨本領(lǐng)，所以加速電壓和透鏡電流的穩(wěn)定度是衡量電壓和透鏡電流的穩(wěn)定度是衡量(hng ling)電鏡性能好壞的一個重要標(biāo)準(zhǔn)。電鏡性能好壞的一個重要標(biāo)準(zhǔn)。 透射電鏡的電路主要由以下部分組成、高透射電鏡的電路主要由以下部分組成、高壓直流電源、透鏡勵磁電源、偏轉(zhuǎn)器線圈電壓直流電源、透鏡勵磁電源、偏轉(zhuǎn)器線圈電源、電子槍燈絲加熱電源，以及真空系統(tǒng)控源、電子槍燈絲加熱電源，以及真空系統(tǒng)控制電路、真空泵電源、照相驅(qū)動裝置及自動制電路、真空泵電源、照相驅(qū)動裝置及自動曝光電路等。曝光電路等。 另外，許多高性能的電鏡上還裝備有掃描另外，許多高性能的電鏡上還裝備有掃描附件、能譜議、電

11、子能量損失譜等儀器。附件、能譜議、電子能量損失譜等儀器。 第15頁/共40頁第十五頁，共40頁。第二節(jié)第二節(jié) 透射電鏡成像原理透射電鏡成像原理(yunl) 阿貝光學(xué)顯微鏡衍射成像原理也適用于電子顯微鏡，而且更有重要的現(xiàn)實(shí)意義：因?yàn)楸挥^察的物是品體，我們不但(bdn)可以在物鏡的像平面上獲得物的放大了的電子像還可以在物鏡的后焦面處得到晶體的電子衍射譜。 第16頁/共40頁第十六頁，共40頁。從聚光鏡來的電子束打到樣品上。與樣品發(fā)生相互作用。如果樣品薄到一定程度，電子就可以透過樣品。透過去的電子分成兩類。一類是繼續(xù)(jx)按照原來的方向前進(jìn)，能量幾乎沒有改變。我們稱之為直進(jìn)電子。另一類是方向偏離原

12、來的方向。我們稱之為散射電子。這些電子中有的能量有比較大的改變。我們稱之為非彈性散射電子。有的電子能量幾乎沒有改變。我們稱之為彈性散射電子。所有這些電子通過物鏡后在物鏡的后焦面上會形成一種特殊的圖象。我們稱之為夫瑯禾費(fèi)衍射花樣第17頁/共40頁第十七頁，共40頁。如果被電子束照射的區(qū)域是非晶，則花樣(huyng)的特點(diǎn)是中央亮斑加從中央到外圍越來越暗的光暈。如果被電子束照射的區(qū)域是一塊單晶，則花樣(huyng)的特點(diǎn)是中中央亮斑加周圍其它離散分布、強(qiáng)弱不等的衍射斑。如果被電子束照射的區(qū)域包括許多單晶，則花樣(huyng)的特點(diǎn)是中央亮斑加周圍半徑不等的一圈圈亮環(huán)第18頁/共40頁第十八頁，共4

13、0頁。至于為什么會形成這些花樣。可以(ky)從入射電子的散射來解釋。對非晶樣品，從不同原子上散射出的同一方向上的電子波之間沒有固定的相位差，且隨著散射角的增大，散射的電子數(shù)量少，能量損失大，它們通過物鏡后，直進(jìn)的電子形成中央亮斑。散射的電子形成周圍的光暈。越往外，光暈越來越弱。對晶體樣品，由于原子排列的規(guī)律性，不同原子的同一方向的散射波之間存在固定的相位差。某些方向上相位差為2的整數(shù)倍。根據(jù)波的理論，在這些方向上的散射波會發(fā)生加強(qiáng)干涉。我們稱之為衍射。同一方向的衍射波在物鏡后焦面上形成一個亮斑。我們稱之為衍射斑。直進(jìn)的電子形成中央的透射斑。整個后焦面的圖象稱之為電子衍射花樣第19頁/共40頁第

14、十九頁，共40頁。由于電子衍射花樣與晶體的結(jié)構(gòu)之間存在對應(yīng)關(guān)系，如果我們記錄下衍射花樣，就可以對晶體結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。這正是透射電子顯微鏡能夠進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)分析的原因之一。對多晶樣品，每個單晶形成自己的衍射花樣。由于各個單晶的取向不同，每個單晶上相同指數(shù)的衍射波出現(xiàn)在以入射電子方向?yàn)橹行木€的圓錐上，它們通過物鏡后形成衍射圈。通過分析這些衍射圈的半徑和亮度，也可以對多晶樣品進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析。把透射電鏡的工作方式切換到衍射模式，則在物鏡后焦面上形成的花樣在熒光屏上可以觀察(gunch)到，也可以用底片或相機(jī)記錄下來。第20頁/共40頁第二十頁，共40頁。儀器在物鏡的后焦面位置有一個活動光闌。我們稱之為物鏡光

15、闌。它是上面開有不同直徑小孔的鉬皮。小孔的直徑從小到大依次是50微米、100微米、200微米。這個光闌的作用是控制到物鏡像平面(pngmin)參與成像的電子束。我們可以不插入物鏡光闌，讓所有電子束到像平面(pngmin)成像。也可以插入光闌，讓一束或多束電子到像平面(pngmin)成像。這里就涉及到透射電子顯微鏡的兩種成像模式。只讓一束電子通過物鏡后焦面進(jìn)而到像平面(pngmin)成像的模式稱為衍射襯度（又稱振幅襯度）模式。讓一束以上通過物鏡后焦面進(jìn)而到像平面(pngmin)成像的模式稱為高分辨模式（也稱相位模式）第21頁/共40頁第二十一頁，共40頁。在衍射襯度模式中，如果讓透射束到像平面成

16、像，則稱為明場像。如果讓衍射束到像平面成像，則稱為暗場像。對非晶樣品，由于沒有衍射束，所以一般也只有明場像之說。對晶體樣品，不但有暗場，根據(jù)光路的不同，還有中心暗場與弱束暗場之分。中心暗場是讓強(qiáng)衍射束通過。弱束暗場是讓弱衍射束通過。通常(tngchng)觀察樣品的形貌、顆粒大小、組織結(jié)構(gòu)、晶體缺陷等采用衍射襯度模式。如果需要觀察晶體的原子排列特征，如晶格像、原子結(jié)構(gòu)構(gòu)像等，就要采用高分辨模式第22頁/共40頁第二十二頁，共40頁。第23頁/共40頁第二十三頁，共40頁。p 根據(jù)阿貝的理論：p 在一平行光束照射到一光柵上，除了透射束也就是0級衍射束外，還會產(chǎn)生(chnshng)各級衍射束，經(jīng)過透

17、鏡的聚焦作用，在其后焦面上產(chǎn)生(chnshng)衍射振幅的極大值，即圖中的S1，S0. S1各級衍射譜。p 每一個振幅極大值都可以認(rèn)為是一個次級振動中心，由這里發(fā)出的次級波在像平面上相干成像，例如圖中的像點(diǎn)I1、I1就是物點(diǎn)O1、O1的像。 第24頁/共40頁第二十四頁，共40頁。p透鏡的成像作用可以分為兩個過程：p 第一個過程是平行電子束遇到物的散射作用而分裂成為各級衍射譜，即由物變換到衍射的過程；p 第二個過程是各級衍射譜經(jīng)過干涉重新在像平面上會聚成諸像點(diǎn)，即由衍射重新變換到物(像是放大了的物)的過程。p 這個原理完全適用于透射電鏡的成像作用，晶體對于電子束就是(jish)一個三維光柵。

18、第25頁/共40頁第二十五頁，共40頁。 在電子顯微鏡中，物鏡產(chǎn)生的在電子顯微鏡中，物鏡產(chǎn)生的次放大像還要經(jīng)過中間次放大像還要經(jīng)過中間鏡和投影鏡的放大作用鏡和投影鏡的放大作用(zuyng)(zuyng)而得到最終的三次放大像而得到最終的三次放大像，如下圖所示。，如下圖所示。 中間鏡的物平面與物鏡的像平面重合，投影鏡的物平面中間鏡的物平面與物鏡的像平面重合，投影鏡的物平面與中間鏡的像平面重合。中間鏡把物鏡給出的放大像投射與中間鏡的像平面重合。中間鏡把物鏡給出的放大像投射到投影鏡的物平面上，再由投影鏡把它投射到熒光屏上。到投影鏡的物平面上，再由投影鏡把它投射到熒光屏上。 顯然，三次放大圖像的總放大

19、倍率顯然，三次放大圖像的總放大倍率M M總為總為 M總總=M物物M中中M投投 式中M物,M中,M投分別(fnbi)為物鏡、中間鏡、投影鏡的放大倍數(shù) 第26頁/共40頁第二十六頁，共40頁。第27頁/共40頁第二十七頁，共40頁。 既然根據(jù)阿貝成像理論 在物鏡的后焦面上有衍射譜，就可以通過減弱中間鏡電流從而(cng r)增大其物距，使其物平面與物鏡的后焦面相重，這樣就可以把物鏡產(chǎn)生的衍射譜投射到中間鏡的像平面上，得到次放大了的電子衍射譜。 再經(jīng)過投影鏡的放大作用，最后在熒光屏上得到二次放大的電子衍射譜。 第28頁/共40頁第二十八頁，共40頁。第三節(jié)第三節(jié) 透射電鏡的復(fù)型技術(shù)透射電鏡的復(fù)型技術(shù)(

20、jsh) (jsh) 由于電子束穿透能力很低，因此要求所觀察的樣品很薄，對于透射電鏡常用的75200kV加速電壓來說，樣品厚度控制在100200nm為宜。 復(fù)型樣品是一種(y zhn)間接試樣，是用中間媒介物(碳、塑料薄膜)把樣品表面浮雕復(fù)制下來，利用透射電子的質(zhì)厚襯度效應(yīng)，通過對浮雕的觀察，間接地得到材料表面組織形貌。 第29頁/共40頁第二十九頁，共40頁。p1塑料塑料-碳二級復(fù)型技術(shù)碳二級復(fù)型技術(shù)p 在各種復(fù)型制備中，塑料在各種復(fù)型制備中，塑料-碳二級碳二級復(fù)型是一種迄今為止最為穩(wěn)定和應(yīng)用最復(fù)型是一種迄今為止最為穩(wěn)定和應(yīng)用最為廣泛的一種。為廣泛的一種。p 該方法在制備過程中不損壞試樣表面

21、，該方法在制備過程中不損壞試樣表面，重復(fù)性好，供觀察的第二級復(fù)型重復(fù)性好，供觀察的第二級復(fù)型碳碳膜導(dǎo)熱導(dǎo)電膜導(dǎo)熱導(dǎo)電(dodin)好。好。p 具體制備方法如下：具體制備方法如下： 第30頁/共40頁第三十頁，共40頁。p(1)在樣品表面滴一滴丙酮，然后在樣品表面滴一滴丙酮，然后(rnhu)貼上一片貼上一片稍大于樣品的稍大于樣品的AC紙紙(6醋酸纖維素丙酮溶液制成的薄醋酸纖維素丙酮溶液制成的薄膜膜)。注意不可留下氣泡或皺折。待。注意不可留下氣泡或皺折。待AC紙干透后小心紙干透后小心揭下。揭下。AC紙應(yīng)反復(fù)貼幾次以便使試樣表面的腐蝕產(chǎn)物紙應(yīng)反復(fù)貼幾次以便使試樣表面的腐蝕產(chǎn)物或灰塵等去除，將最后或灰

22、塵等去除，將最后片片AC紙留下，這片紙留下，這片AC紙就紙就是需要的塑料一級復(fù)型。是需要的塑料一級復(fù)型。p (2)將得到樣品浮雕的將得到樣品浮雕的AC紙復(fù)型面朝上平整地貼在紙復(fù)型面朝上平整地貼在襯有紙片的膠帶紙上。襯有紙片的膠帶紙上。 第31頁/共40頁第三十一頁，共40頁。 (3) (3)上述的復(fù)型放入真空鍍膜機(jī)內(nèi)進(jìn)行投影上述的復(fù)型放入真空鍍膜機(jī)內(nèi)進(jìn)行投影重金屬，最后在垂直方向上噴鍍一層碳，從而得重金屬，最后在垂直方向上噴鍍一層碳，從而得到醋酸纖維素一碳的復(fù)合復(fù)型。到醋酸纖維素一碳的復(fù)合復(fù)型。 (4) (4)將復(fù)合復(fù)型剪成小于將復(fù)合復(fù)型剪成小于3 mm3 mm小片投入丙小片投入丙酮溶液中，待

23、醋酸纖維素溶解后，用銅網(wǎng)將碳膜酮溶液中，待醋酸纖維素溶解后，用銅網(wǎng)將碳膜撈起。撈起。 (5) (5)將撈起的碳膜連同鋼網(wǎng)一起放到濾紙上將撈起的碳膜連同鋼網(wǎng)一起放到濾紙上吸干水分，經(jīng)干燥吸干水分，經(jīng)干燥(gnzo)(gnzo)后即可入電鏡進(jìn)行觀后即可入電鏡進(jìn)行觀察。整個制備過程如圖察。整個制備過程如圖13-513-5所示。所示。 第32頁/共40頁第三十二頁，共40頁。第33頁/共40頁第三十三頁，共40頁。p2萃取復(fù)型技術(shù)萃取復(fù)型技術(shù)p 萃取復(fù)型法是樣品制備中最重要的萃取復(fù)型法是樣品制備中最重要的進(jìn)展之一，進(jìn)展之一，p 其目的在于如實(shí)地復(fù)制樣品表面的其目的在于如實(shí)地復(fù)制樣品表面的形貌，同時(shí)又把

24、細(xì)小的第二相顆粒形貌，同時(shí)又把細(xì)小的第二相顆粒(如如金屬間化合物、碳化物和非金屬夾雜物金屬間化合物、碳化物和非金屬夾雜物等等)從腐蝕的金屬表面萃取出來，嵌在從腐蝕的金屬表面萃取出來，嵌在復(fù)型中，被萃取出的細(xì)小顆粒的分布與復(fù)型中，被萃取出的細(xì)小顆粒的分布與它們原來在樣品中的分布完全相同，因它們原來在樣品中的分布完全相同，因而復(fù)型材料就提供了一個與基體結(jié)構(gòu)一而復(fù)型材料就提供了一個與基體結(jié)構(gòu)一樣的復(fù)制品。樣的復(fù)制品。p 萃取出來的顆粒具有相當(dāng)好的襯度，萃取出來的顆粒具有相當(dāng)好的襯度，而且而且(r qi)可在電鏡下做電子衍射分析。可在電鏡下做電子衍射分析。 第34頁/共40頁第三十四頁，共40頁。 萃

25、取萃取(cuq)(cuq)復(fù)型方法也有很多種，常見的復(fù)型方法也有很多種，常見的是碳萃取是碳萃取(cuq)(cuq)復(fù)型和火棉膠復(fù)型和火棉膠- -碳二次萃取碳二次萃取(cuq)(cuq)復(fù)型方法。復(fù)型方法。(1)(1)碳萃取碳萃取(cuq)(cuq)復(fù)型方法復(fù)型方法按一般金相試樣的要求對試樣磨削、拋光。按一般金相試樣的要求對試樣磨削、拋光。選擇適當(dāng)?shù)慕g劑進(jìn)行深腐蝕，這種浸蝕劑選擇適當(dāng)?shù)慕g劑進(jìn)行深腐蝕，這種浸蝕劑既能溶去基體而又不會腐蝕第二相顆粒。既能溶去基體而又不會腐蝕第二相顆粒。 將試樣認(rèn)真清洗以除去腐蝕產(chǎn)物。將試樣認(rèn)真清洗以除去腐蝕產(chǎn)物。 第35頁/共40頁第三十五頁，共40頁。p 將試樣放入真空鍍膜機(jī)中噴碳，噴碳時(shí)轉(zhuǎn)動試樣以將試樣放入真空鍍膜機(jī)中噴碳，噴碳時(shí)轉(zhuǎn)動試樣以使碳復(fù)型致密地包住析出物或夾雜物，一般情況下不投使碳復(fù)型致密地包住析出物或夾雜物，一般情況下不投影。影。p 選擇適當(dāng)?shù)碾娊庖哼M(jìn)行電解脫膜電解脫膜時(shí)電選擇適當(dāng)?shù)碾娊庖哼M(jìn)行電解脫膜電解脫膜時(shí)電流密度要適當(dāng)，電流過大形成大量氣泡會使碳膜碎裂，流密度要適當(dāng)，電流過大形成