1、潔凈室(無塵室)-新手必讀(一)潔凈室之定義 潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。 潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。 (二)潔凈室之等級 世界各國均有自定規格，但普遍還是用美

2、國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。 209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以M字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3.依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5m之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5.表示。 美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1m微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2

3、，Class 3Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。 (三)潔凈室控管之項目 1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2. 能防止微塵粒子之產生。 3. 溫度和濕度之控制。 4. 壓力之調節。 5. 有害氣體之排除。 6. 結構物與隔間之氣密性。 7. 靜電之防制。 8. 電磁干擾預防。 9. 安全因素之考慮。 10. 節能之考量。 (四)潔凈室之分類1.亂流式(Turbulent Flow)：空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線

4、型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。 2.層流式(Laminar)：層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1100。其型式可分為二種：(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單

5、方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。3.復合式(Mixed Type)：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧

6、道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易； B.維修設備時可在維修區輕易執行。(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥 品、食品業界及半導體業界均適用。(3)

7、并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為101000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1100級。潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為101000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。(五)潔凈室氣流之流動 潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到

8、氣流的支配。 潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.9799.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。 潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.250.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以最適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果

9、。 另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。 潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。 影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。 潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔凈度將會較差

10、，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。 (六)潔凈室之構成潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室：(1)天花板系統：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。(2)空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等。(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。(5)照明器具：包括日光燈、黃色

11、燈管等。潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕；B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子；C.吸濕性?。籇.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高；UID: 1精華: 15 發帖: 1119在線時間: 177(時)注冊時間: 2009-12-07最后登錄: 2010-06-25潔凈室按用途分類（可分為兩大類） （1）、工業潔凈室以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。 它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、

12、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。（2）生物潔凈室，主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為； A、 一般生物潔凈室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室。例：制藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。 B、 生物學安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備） 亂流潔凈室的原理和

13、特性 1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室. 2、原理：亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔凈的（亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別）。 3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高） （1）、自凈時間：是指潔凈室按設計換氣次數開始送風到潔凈室，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算) （2）、換氣次數（按上述自凈時間要求設計）1,000級 43.555.3次/小時 (規范:50次/小時) 10,000級 23.828.6次/小時 (規范:25次/小時) 100,000級 14.419.2次/小時 (規范:15次/小時) 潔凈室的新風要求按潔凈廠房設計規范規定，亂流潔凈室新風量應不小于總風量的10%30%；單向流潔凈室，新風量應不小于總風量的2%4%，當然也可以根據潔凈室的具體功