電子級多晶硅產業化技術研究項目可行性報告一、項目立項的背景和意義1、項目立項的背景11在人們消費水平不斷提高以及對新能源產品不斷追求的新形勢下，應用于眾多高科技產品中的一系列新材料的市場將十分廣闊。電子級多晶硅材料就是眾多高科技電子信息行業不可或缺的原料。電子級多晶硅不僅應用于太陽能光伏電池而且可以大量用于集成電路等半導體器件等產品中，具有不可替代的作用。而目前世界上制備電子級多晶硅的技術主要被美、日、德等跨國公司所壟斷。國內還沒有能生產電子級硅材料的企業。12市場分析目前國內市場直接使用電子級硅烷的消耗量大致為600700噸/年，隨著浙江正泰集團非晶薄膜電池生產基地和河北廊坊太陽能薄膜電池生產基地的上馬，未來三年，國內對電子級多晶硅的需求將達到12001500噸/年。目前國內多晶硅產品嚴重短缺，全部依賴進口。因此在國內開發生產電子級多晶硅及硅料具有相當好的市場前景。就國際市場而已，多晶硅年需求量約為20000噸，中國約占三分之一，年需求量為6500噸左右，用于半導體集成電路和功率器件的生產，且每年呈30的速度增長。開發生產電子級多晶硅不僅市場廣闊，而且意義重大，將會改寫我國長期以來依賴進口的局面，填補我國規?；a電子級多晶硅的空白。13國家支持和鼓勵企業大力發展電子多晶硅的研發和生產目前，電子級硅材料產業也是一個十分敏感的戰略性工業，多晶硅的主要制造技術又只掌握在美、日、德等幾個發達國家手里，從國家安全的戰略高度來考慮，國家積極支持和扶植規模型的電子級多晶硅產業，否則一旦有什么風吹草動，國家戰略安全就將處于危險的地位。我國是一個正在迅速崛起、經濟快速增長的發展中大國，我國的電子工業和光伏產業也正處在飛速發展的關鍵時期，很難想象隨著社會的進步，對高科技產品需求的不斷加大，我國還要依靠進口高純硅料來維持我國電子產品出口世界第一、光伏產品制造世界第一的地位。也就是說，沒有國產高純多晶硅材料的供應，要保持我國電子信息產業和光伏產業的高速發展是不可能的。因此鑒于電子級多晶硅產業對發展我國電子信息產業、光伏產業的重要作用和戰略地位，國家支持和鼓勵企業大力發展電子級多晶硅產品研發和生產。電子級多晶硅材料均列入和符合國家中長期科學和技術發展規劃綱要（20062020年）和國家產業政策指導目錄中電子專用材料制造的產業政策。2、項目立項的意義21國內電子級多晶硅市場發展潛力巨大隨著我國電子半導體行業的不斷發展，對電子級多晶硅以及硅產品的消費量將不斷增加，在我國具有很好的發展前景。22良好經濟效益和社會效益電子級多晶硅工程建成投產，既為企業創造經濟效益，又具有良好的社會效益。23符合國家產業政策本項目的電子級多晶硅可應用到多種高科技領域，對傳統能源的替代具有積極的作用，符合國家綠色環保、循環經濟、可持續發展的產業政策。24我國目前多晶硅生產技術落后，電子級多晶硅的研發和產業化生產將填補國內空白國內實驗室制備多晶硅的方法為數也不少，但真正有實用價值并能夠投入大規模生產獲取商業利益的基本沒有。本項目研發電子級多晶硅和硅材料的產業化技術將填補國內的規模化生產的空白。25環保優勢本項目在利用國外先進多晶硅生產技術的基礎上，進行電子級多晶硅的研發和產業化生產。項目三廢排放量少，易于治理。針對本工藝生產的特點，本項目將建設切實可行的廢水處理裝置和廢氣處理設施，確保項目滿足清潔生產需要。綜上所述，投資電子級多晶硅項目，進行產業化升級和生產，可緩解我國電子級多晶硅產品供應緊張矛盾，擺脫長期依賴進口的被動局面，同時也填補了我國大量生產電子級多晶硅材料的空白。不僅具有良好的經濟效益，同時也具有良好的社會效益。因此，本項目的立項很有意義。二、國內外研究現狀和發展趨勢1、國外工藝技術概況有關研究資料表明，實驗室制備多晶硅的方法及專利為數不少。真正有實用價值并能夠獲取商業利益的方法主要有改良西門子法、硅烷法和流化床法。其中改良西門子工藝生產的多晶硅的產能約占世界總產能的80，短期內產業化技術壟斷封鎖的局面不會改變,其中硅烷法的技術主要掌握在美國MEMC和REC兩家跨國公司里，已經形成批量化的生產，并進行技術封鎖。比較而言，硅烷法由于雜質的汽液化點的溫度與硅烷本體有一定的距離，所以更容易提純，因而是開發電子級多晶硅的理想方法。2、國內工藝技術概況目前，國內尚無規模化生產電子級多晶硅方面的技術，僅有科研院所和大專院校在實驗室進行一些研究，未能形成規?；a和市場化效應。本項目在國內是第一家對電子級多晶硅產業化技術進行系統性的開發和研究，可為規?；a創造條件。三、項目主要研究開發內容、技術關鍵及主要創新點1研究開發內容11工藝路線介紹本項目采用的是硅烷法制備多晶硅的工藝。即用硅烷進行反應生成多晶硅。硅烷法工藝與經由三氯氫硅反應的改良西門子法相比，該方法產品質量更高及消耗總量更低。目前用硅烷熱分解法工藝的主要有兩家公司在采用，一是美國的MEMC公司，二是歐洲的REC公司。而美國的技術生產的產量更大，工藝技術更加成熟先進，是當前國際市場硅烷法生產的主流。此法在國際上屬于先進技術。目前在中國尚無一個公司采用硅烷法生產多晶硅。硅烷法具有如下的幾大優點，是三氯氫硅法所無法替代的A耗電低。硅烷的分解溫度為800，比三氯氫硅低300左右，所以用電僅為三氯氫硅法的1/2左右。B硅烷容易分解，材料利用率高。三氯氫硅法還原爐分解率僅為1015，硅烷法還原爐分解率為85以上，硅烷法還原爐未反應物料循環量小于三氯氫硅法。材料利用率高。C環境友好。硅烷法的生產原料對設備腐蝕小，不含氯化物，生產過程不副產氯化氫，三廢排放少，排放可控，對環境影響小。D熱解爐尾氣容易處理。硅烷法熱解爐內氣體主要是氫氣和少量未反應硅烷，分離出的氫氣經過過濾，回到四氫化鈉鋁制備，分離出的硅粉、硅烷送回熱解爐。E硅烷容易提純，是電子級多晶硅的理想原料采用硅烷法生產多晶硅有一個很大的好處在于因為硅烷中各類雜質的氣化/液化點溫度與硅烷本體的氣化/液化點有相當的距離，在精制時比較容易與硅烷分離，因此硅烷的純度可以做得很高。同時為了達到高純的目的，在原方案的基礎上，我們在設計時，加大了硅烷氣體在精餾時的循環量，使硅烷的純度大大提高，特別是硼、磷等雜質含量從原技術的110PPM降低到01015PPB,達到電子級多晶硅的要求。12研究開發內容項目公司根據國內多晶硅生產的現狀，投資建設硅烷法多晶硅項目，采用的是引進國外硅烷法多晶硅生產技術與國內自行研發相結合的模式，在引進技術的基礎上，開發和生產電子級多晶硅，并形成產業化生產。經過與國內、外多家技術專利商交流以及同國內著名院校專家的探討，決定引進國外光伏級多晶硅的生產技術，在此基礎上，進行電子級多晶硅的研發和產業化升級、生產，這樣在建設成本、生產成本和質量控制上更加符合中國的國情和實際情況。擬采用的電子級多晶硅生產裝置采用在生產現場進行組裝和改造，使裝置運行更加穩定，產品質量滿足國內和國際市場的要求，使產品在市場上具有較強的競爭力，完全替代電子級多晶硅和硅烷進口，填補國內產業化生產電子級多晶硅的空白。2007年公司與國外幾家多晶硅專利商和主要設備制造商進行了技術交流。根據對各種技術的篩選比較，決定采用美國主流技術的硅烷法生產的太陽能級多晶硅技術，并于2008年至2009年進行了太陽能級多晶硅項目的建設。目前生產線已經安裝完成，進入試生產階段，為進一步開發電子級多晶硅產品打下了基礎。2技術關鍵1如何使用通過使用石英砂、氫氟酸等廉價原料經過反應器，調節反應溫度、壓力、流速等條件來制備出優質的四氟化硅氣體。2）如何控制硅烷氣體在提純裝置中的流速、循環時間調節硅烷的循環量以及尋找一種有效地吸附劑來大幅提高作為多晶硅原料的硅烷的純度。3）如何有效調節電子級多晶硅生產裝置的壓力溫度平衡，硅烷、氫氣等物料進樣配比、進樣流速等條件，得到最優化的電子級硅烷。3技術創新點1）使用硅烷法制備多晶硅項目承擔單位是國內首家掌握硅烷法制備多晶硅工藝技術的公司。硅烷法制備多晶硅的工藝較其他制備多晶硅的工藝具有耗能低、原料易提純，材料利用率高、反應環境友好、三廢排放少，尾氣易處理等優點、2）國內首創使用石英砂制備多晶硅的原料四氟化硅。硅烷法制備多晶硅需要大量的四氟化硅氣體來作為原料，產業化生產電子級的多晶硅對原料四氟化硅的純度要求、產量要求很高，一般的制備方法往往很難達到這樣的純度要求和產量要求。我們發明了一套使用二氧化硅粉末與高濃度硫酸、氫氟酸以一定比例反應制取高純四氟化硅的裝置。此法在國內甚至是全世界只有在實驗室制備少量四氟化硅氣體中使用，將其運用到產業化生產中還是國內首創。此法中，未反應完的殘渣在沉降分離槽沉降后，將上層的硫酸清液抽出至硫酸蒸發器進行蒸發濃縮至一定的質量百分比濃度，沉降下來的二氧化硅漿料用泵抽到二氧化硅硫酸混合槽，循環使用，降低生產成本，減少工業生產污染物的排放。此工藝與其他產業化生產四氟化硅的工藝相比較具有耗能低、原料價格低廉、排污量少和生產的四氟化硅純度高、產量大、連續性好等優點。通過反復摸索、調試得到四氟化硅生產的最佳工藝條件，為后期制備高純電子級多晶硅大大降低了生產成本。3）增加一個硅烷反應器，提高硅烷的轉化率美國原有技術是通過四氫化鋁鈉與四氟化硅在一個反應器中進行反應，這樣的反應所得硅烷只能達到90左右的轉化率。為了解決轉化率低的技術難題，我們設計了以下技術方案一種硅烷生產工藝，四氫化鋁鈉溶液一次經過第一反應器和第二反應器。氣體四氟化硅一次經過第二反應器和第一反應器，所述四氫化鋁鈉溶液為四氫化鋁鈉的二甘醇二甲醚溶液。這樣硅烷反應所得的轉化率可達99以上。本技術所提供的硅烷生產工藝，利用四氫化鋁鈉溶液和四氟化硅直接反應生成硅烷，四氫化鋁鈉和四氟化硅氣體為逆向進料方式，在第一反應器內，四氫化鋁鈉的量大于四氟化硅的量，可以使四氟化硅完全反應，在第二反應器內，四氟化硅的量大于四氫化鋁鈉的量，可以使得四氫化鋁鈉完全反應。原料完全反應，從而大大減少成品硅烷中四氟化硅氣體的含量，基本能達到99以上的轉化率，提高粗硅烷的純度，為后期精制電子級硅烷提供了必不可少的條件。4）增加一組電子級凈化裝置，有效降低多晶硅產品中硼、磷的含量。光伏級多晶硅對雜質中硼、磷的含量要求比較低，在110PPM之內就可以。但應用于電子級多晶硅、非晶薄膜以及TFT液晶顯示屏等半導體器件中對硼、磷雜質的要求就比較高，必須控制在01015PPB范圍之內。經過研究發現，我們增加的一組電子級凈化裝置主要用于除去硅烷中的硼、磷雜質，在一定溫度壓力的調節下，能夠有效的將多晶硅中的硼、磷雜質含量降低到01PPB以下，達到電子級多晶硅的標準。5采用有效地吸附劑及吸附裝置，提純合成多晶硅原料四氟化硅，使硅烷中的碳含量大幅降低，達到純化多晶硅產品的目的。四、項目預期效益目標1項目總投入估算11項目研發總投入根據設計所列分析檢測儀器清單，具體如表1所示表1設備清單裝置名稱數量（臺套）單價（萬元）總價（萬元）硅烷純度測試儀18484微量水測試儀15050氣相色譜儀16868氫中硅烷含量測量儀24080在線氧分析儀12525鋼瓶清洗、試壓檢漏系統1100100可燃有毒氣體檢測系統11212低溫紅外光譜儀1330330ICPMS1170170粒徑儀15050碳氧分析儀15050合計10191）項目研發總投入根據表1的設備清單，本項目電子級硅烷研發檢測、儀器設備等總投入為1019萬元，在此基礎上進行電子級多晶硅項目的研發，因此項目的研發總投資估算如下所示（1）研發檢測儀器設備等固定資產投資1019萬元；（2）研發經費投入估算項目設計等研發費用195萬元人員勞務費用50萬元項目試車材料費用1200萬元試車燃料動力費用300萬元產品檢測費用100萬元專利申請費用8萬元項目人員出差等費用15萬元項目管理費用20萬元預備費用10萬元合計1898萬元（3）項目研發總投入2917萬元，其中檢測設備等固定費用投入為1019萬元，研發費用為1898萬元。2）項目期貸款利息本研發項目部分資金擬使用銀行貸款，貸款額為1000萬元，借款年利率按照2008年10月09日中國人民銀行的規定，名義年利率按721計取。建設期貸款利息為721萬元。2資金籌措本研發項目資金來源按企業自籌、銀行貸款和政府重大專項支助的模式進行資金籌措，其中企業自籌1517萬元，銀行貸款1000萬元，申請省科技專項（省財政撥款）資助資金300萬元，地方部門配套經費100萬。3經濟效益1）成本項目投產后正常年份的多晶硅制造成本包括原料、動力燃料、員工工資、設備折舊以及修理費用等，按500T/A計算，制造成本為93515萬元。2）利潤根據成本核算數據，可計算出企業在項目建成達產后正常年份的利潤數據，詳見表2。表2多晶硅利潤表序號科目項目總額（500T/A（萬元）備注1營業收入450002減營業成本935153管理費用4504財務費用43265銷售費用4506稅金及附加22507營業利潤3206598減所得稅（按15計）48109凈利潤272559綜上所述，營業收入和利潤是在項目研發成功后，反映了整個企業的經營情況，其中1500噸產量中，多晶硅為1000噸，電子級硅烷為500噸，按照目前的硅烷價格，比多晶硅價格高300，我們在目前的價格基礎上打了九折計算所得，總額為272559萬元，可見規?；a電子級多晶硅產品的前景和效益非常好。4產業化前景41產品市場本項目所生產的多晶硅產品大部分被股東公司購買使用，同時國內外市場對高純度的多晶硅產品需求量很大，銷路十分廣泛。42原料供應主要原料合金粉、金屬中間體、砂粉等國內供應充足、質量穩定，其來源是有保障的。43工藝設備技術本項目的工藝技術在國外是比較先進、成熟的，在國內尚沒有廠家涉足，技術上有一定難度，需要借鑒國外經驗，消化吸收并大膽創新，我們相信是一定可以實現的，有一定風險，但不大，并可以完全克服。關鍵設備從國外引進，使本裝置技術達到國際先進水平。44資金來源項目公司股東實力雄厚，企業知名度較大。銀行信譽較好，所以其中343申請銀行貸款支持，520由企業自籌解決，137申請國家專項資金資助。45工程建設原裝置建于高新技術企業園區，園區有較好的公用工程設施，水、電、氣等可直接引到本裝置界區，交通、運輸等設施也較完備，廠房及動力配套原本留有發展余地，項目建設條件優越。5社會效益51同時通過項目建設培養青年專家和技術骨干20余名，培養企業高層決策和管理人才2名。52解決200300名員工的就業問題，為社會的和諧與穩定做出貢獻。53獲取專利、知識產權情況項目完成后，通過消化吸收再創新，經過實際運行及工藝技術改進，形成本公司自有的技術和知識產權，同時對再創新以后的技術進行專利申報，其中發明專利12項。其他專利技術4項54爭取2011年申請國家級高新技術企業，為國家調整產業結構作出貢獻。55產品替代進口，為國家節約外匯，逐步出口，為國家創匯。五、項目實施方案和技術路線1項目規劃11產能設計本項目在前期光伏級多晶硅生產裝置的基礎上，進行電子級多晶硅產業化升級改造和優化，為達到規?；M行國產化替代，盡量滿足市場的需求，因此進行最大化的產能設計。全廠生產時間按8000小時/年計，24小時/天循環生產，生產45噸/天電子級多晶硅，全年計總產能約1500噸。12產品規格按電子級多晶硅的規格進行設計、生產，具體規格如下表3多晶硅產品質量標準（GB/T129631996）序號指標名稱指標分析方法備注1硼含量WT015PPB色譜法2磷含量WT015PPB色譜法3砷含量WT002PPB色譜法4銻含量WT002PPB色譜法5其它金屬含量WT5PPB色譜法2技術路線本項目具體工藝步驟如下圖所示其中圖1為光伏級多晶硅的技術路線，圖2為電子級多晶硅的技術路線。電子級多晶硅技術路線與光伏級多晶硅技術路線相比作了以下優化（1）將二級凈化裝置放于過濾裝置之前。（2）在過濾裝置之后添加一套電子級硅烷凈化裝置（3）在硅烷循環管上添加一套硅烷計量裝置，調節硅烷精制的循環量。（4）在多晶硅還原工藝過程中，對還原爐進行改進，采用導熱油的熱量對硅芯進行加熱，使多晶硅生長時保持均勻，并提高多晶硅沉降密度，從而提高多晶硅的品質，并達到省電，降低成本的目的。3項目實施方案31人員組織為更好地實施本項目，公司專門組織了項目組，由總經理擔任項目的總負責人，參加人員有高層的技術精英，有中層的技術骨干和現場一線的工程技術人員共同組成，具體如下項目總負責人1名工藝工程師3名（有碩士、高級工程師、工程師）設備工程師2名（有高級工程師、工程師）儀表工程師2名（工程師）電器工程師2名（工程師）32確定技術路線聯合高校技術專家和國家級設計院一同完成此項目的工藝和工程化的設計，并確定項目的技術路線。本項目工藝選擇原則首先選擇處于世界領先水平的硅烷法生產技術，該技術生產的多晶硅裝置在國外運行穩定，產品質量滿足國際市場要求。根據上述原則，從多晶硅材料生產的主要工藝技術現狀和發展趨勢來看，并經過與國內外多家技術專利協商交流以及對裝置現場的考察，本項目1500噸/年電子級多晶硅產業化生產的建設已在引進的國外硅烷法技術的基礎上，對技術路線進行合理有效的改進和改造，并進行大膽的技術創新，形成自有的知識產權。33進行工程化設計確定工藝路線，只是實施項目的第一步，為進一步開展好項目，必須請有甲級資質的設計院對該工藝路線進行工程化設計。因此我們確定中國化學工程第二設計院寧波工程設計公司對項目進行二次的施工圖設計。34采購設備為保證項目實施的質量和可靠性，同時降低項目的投入和建設成本，本項目采用進口設備和國產設備相結合，在已有的光伏多晶硅生產線上進行合理的配置和改造，形成自動化流程控制的一體化生產裝置，從而生產出高質量的電子級多晶硅，使產品實現升級換代。本項目控制系統、硅烷壓縮機、還原裝置、和部分檢測設備采用國外引進，部分電化學內拋光不銹鋼管進口。其余的設備、管道、閥門國內質量已全部過關，均采用國產。其中電子級硅烷凈化裝置采用進口和國內設備裝置結合在現場組裝而成。35安裝調試多晶硅項目是化工和電子結合的建設項目，重要的原材料電子級硅烷又是一種易燃易爆的危險物料，因此必須要求有甲級資質的安裝單位進行施工安裝，因此我們確定中化六建和中電二建兩家國家級的施工單位本項目的設備裝置、管道閥門的安裝調試工作。36廠房本項目是在原有的光伏級多晶硅生產線進行技術升級和創新改造，利用原有的廠房和土地資源，不需新增和擴建。37安全和環保安全和環評在原光伏級多晶硅項目建設時已做評估和審批，本項目無新的原料和排放增加，請設計院做一個關于安全、環保和消防的設計說明到有關政府職能部門備案審核即可。38試生產和規模化生產調試成功后，我們將按照試生產/檢測確認/送交客戶/批量生產/設計產能驗收/規?；a這樣的過程和程序進行操作，按項目實施的計劃時間表進行項目建設。達到年產1500噸電子級多晶硅的規模產能。六、計劃進度安排根據設計和建設工期的需要，本項目的實施期限為兩年，具體計劃進度安排如下2010年6月12月工藝路線和工程化設計，實驗室試驗2011年1月3月電子級多晶硅生產線研發項目的設備、儀器、管道閥門訂購2011年4月6月安裝調試2011年7月12月試生產，中試，問題反饋，問題解決，循環試車2012年1月3月客戶認定、提出問題，解決問題，認定通過2012年4月6月規模生產，項目驗收七、現有工作基礎和條件1、股東條件公司的大股東均是太陽能和半導體產業內的知名企業，是我國最早生產太陽能電池組件和太陽能硅片的企業之一，產品遍及全國，并遠銷到歐美、非洲及東南亞地區。目前綜合年產能達到500MW。2、企業現有條件企業注冊資金4億元。是浙江省山海協作最大單體項目，也是本市重點的招商引資企業。公司計劃斥資約46億元人民幣、規劃用地870畝分三期建造年產4500噸太陽能級多晶硅項目，打造成我國擁有電子級多晶硅和電子級硅烷生產能力且擁有自主知識產權的生產基地。公司一期投資約15億元人民幣，計劃年產多晶硅1500噸。引進當今國際上先進的硅烷法工藝生產多晶硅，同時融入了世界上先進的工藝及裝備。3、合作院校條件目前，該項目已得到浙江大學、武漢理工大學等著名高等院校的技術支持并建立了長期合作的關系，為研發、生產過程中遇到的問題提供技術上的支持。4、人才條件公司現有員工300余人，擁有各種學歷和碩士研究生學歷的有80余人。其中10以上是從事多晶硅行業多年的工程技術人員。本項目的負責人，是國內著名大學的研究生畢業，高級工程師，專業研究方向是半導體材料，對硅材料領域相當熟悉，具備扎實的理論研究能力和生產實踐能力。本項目的技術參與人員，即其他副總經理及高級管理人員也均是化工、半導體專業背景，從事過多年的太陽能及半導體行業的研究和企業管理者。項目研發組成員共有6名，其中4名是研究生，2名本科生。5、技術條件為配合項目試車，公司已于2010年1月起陸續配置了高級技術人員和專家、管理人員進行技術消化、工藝研發和技術創新，并編寫了各個單元的操作指導書，具備了項目實施的技術條件。6、研發條件光伏級硅烷法多晶硅生產項目經過兩年來的建設，已經形成了試車和生產的硬件條件，在建設過程中，經過大量的技術創新，例如電子級硅烷的提純方法，循環氫氣回用、余熱利用等，融合在設計和施工過程中，使硅烷法多晶硅的生產技術更加成熟，可靠，更加節能。目前生產光伏級多晶硅的設備、工藝管道等已經安裝完畢，為下一步進行電子級多晶硅生產設備、管路的設置安裝打下了扎實的基礎。綜上所述，本項目已具備了市場、技術人才、研發條件和技術條件，為項目的開展打下了良好的工作基礎。我們認為電子級多晶硅產業化研究項目可行，敬請上級主管部門審核批準。附表省級科技計劃項目經費概算表項目名稱電子級多晶硅產業化技術研究項目金額單位萬元概算科目名稱合計省財政撥款經費地方部門配套經費自籌經費序號（1）（2）（3）（4）（5）1一、經費支出（合計）2917300100251721、設備費10190010193（1）購置設備費00004（2）試制設備費10190010195（3）設備租賃費000062、材料費1200180100100073、測試化驗加工費1002008084、燃料動力費300100020095、差旅費150015106、會議費200020117、合作、協作研究與交流費550055128、出版/文獻/信息傳播/知識產權事務費8008139、人員勞務費5000501410、專家咨詢費120001201511、管理費2000201612、其他開支1000101二、經費來源（合計）2917300100251721、申請省財政經費3003000032、地方、部門配套撥款1000100043、自籌經費25170025175（1）單位自有貨幣資2）其他資金銀行貸款1000001000省財政科技經費撥付進度申請第1年第2年第3年金額1501500比例（）50500注支出概算按照經費開支范圍確定的支出科目和不同經費來源編列，同一支出科目一般不同時在財政撥款經費和自籌經費中概算。經費概算說明1經費來源說明本項目研發總投資為2917萬元，來源分為四部分1企業自有資金1517萬元；2）銀行貸款1000萬元；3）爭取省科技專項資助資金300萬元；4）地方部門配套撥款100萬元。如果專項資金補助不足的部分，則由企業自有資金解決。2經費概算說明1）設備費1019萬元。主要用于購買電子級多晶硅產業化研究活動中的裝置、設備和檢測儀器。詳見表1表1設備清單裝置名稱數量（臺套）單價（萬元）總價（萬元）硅烷純度測試儀18484微量水測試儀15050氣相色譜儀16868氫中硅烷含量測量儀24080在線氧分析儀12525鋼瓶清洗、試壓檢漏系統1100100可燃有毒氣體檢測系統11212低溫紅外光譜儀1330330ICPMS1170170粒徑儀15050碳氧分析儀15050合計10192）材料費1200萬元。（申請省科技經費資助）主要用于采購產品開發過程中所需要的試車材料如鋁粉、金屬鈉、砂石粉、填料以及試車過程中的各類消耗品等。具體數據如表1所示。表1多晶硅制造