1、大面積多層膜沉積技術一、大面積薄膜沉積設備介紹及工藝流程1 1、濺射原理定義：濺射鍍膜是一個極其復雜的過程，濺射沉積過程中，一般把受到離子轟擊 的表面看作供應材料，作為生長薄膜的源。1.電離工作氣體，Ar等；2.使工作粒子獲得足夠的能量，并轟擊源物質的固體表面；3.與源物質分子或者原子交換能量，使源物質從固體表面濺射出來；4.固體分子或者原子濺射出來后，向基片方向輸運；Si靶或者Ti靶110mmX 1150mm中頻交流反應磁控濺射3 3、基架回件與抽氣系統5.薄膜的形成2 2、連續濺射鍍膜線配置2、 需有高低折射率材料形成交替的疊層，產生對特定波長光的干涉效應；3、 各層材料需由真空蒸發、濺射

2、或者溶膠一凝膠法（Sol Gel）等方法形成膜 層，高低折射率層形成干涉界面；4、 同一層必須保證為各向同性（保證膜層厚度一致，折射率一致）；5、 各層膜層在工作波長內區域內吸收很小或者沒有吸收。3 3、抗反射（ARAR）增透膜定義：減反射增透膜（Anti - Refletance簡稱AR膜）是在玻璃基片上鍍多層 復合光學膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通過精 心的膜層設計和膜厚嚴格控制，利用干涉效應減少基片表面反射。抗反射增透膜的應用領域。ARAR CoatingCoating 的 LCDLCD 顯示屏1 1、 減小反射光強度，表面反射降低到0.5%0.5%以下，防止

3、產生眩光；2 2、 表面為光滑的鍍膜面，減少圖像失真；3 3、 增加 LCDLCD 的出射光強度，增加圖像的對比度；4、 可以產生更寬的視角；5、LCD顯示色彩更鮮明。6 6、抗反射膜的膜結構設計AR（Anti-Reflective Glass）光學技術與護眼涂層的結合，不僅可以有效防眩防反 光，同時具備最高達99.5%的超高的透光率及超亮彩性能。抗反射膜的膜結構設計：應用領域：汽車玻璃、太能電池等；抗反射特點：1、可見光透過率最高峰值99%可見光平均透過率超過95%,大幅提高LCD、PDP原有亮度。2、 平均反射率低于4%,最低谷值0.5%有效削弱因背后強光導致畫面變白之缺憾，享受更活晰的影

4、像畫質。3、 色彩更艷麗、對比更強使圖像色彩對比更強烈，景物更活晰。4、 抗紫外線，有效保護眼睛紫外線光譜區透過率大幅降低，可有效阻絕紫外線對眼睛之傷害。5、 良好的導熱性良好的導熱性能，克服了目前使用的鍍膜壓克力不易導熱的弱勢，從而防止PANEL過熱，延長了LCD壽命。6、 膜層附著能力強”新濟達“AR玻璃使用是磁控濺射沉積膜層，通過光學折射原理，提高玻璃透光 度。7、 耐局溫AR玻璃耐溫500度（一般壓克力只能耐溫80度）8、 防刮耐磨性最佳AR玻璃膜層硬度與玻璃相當，大于7H,（一股PC板硬度約為2H至3H）。9、 可耐各種活潔劑活洗耐酸、堿活洗劑之擦拭，膜層不受損壞。10、抗沖擊性強3mm厚度玻璃的沖擊性能相當于6mm壓克力。11、保持視角一般壓克力在安裝后，視角會邊小；而AR玻璃裝上后，視角不會變小。12、外觀AR玻璃表面平整度遠遠優于鍍膜壓克力，并且尺寸越大，相差越明顯。13、AR玻璃冷熱變形幾乎可以省略不計，適用于各類環境；同時，AR玻璃具有琉璃感，外觀更漂亮。