SEMIS2半導體制程設備安全準則2003年9月29日Content:1.目的；2.范圍；3.注意事項；4.參考標準；5.術語；6.安全理念；7.一般準則；8.評估過程；9.提供給使用者的文件；10.危險性警告標志；11.安全連鎖裝置；12.緊急停機；13.電氣安全；14.消防安全；15.化學物質加熱槽；16.人體工學；17.危險能量隔離；18.機械設計安全；19.地震保護；20.自動機械設備；21.環境因素；22.排氣；23.化學品安全；24.游離輻射安全；25.非游離輻射安全；26.激光安全；27.噪音為半導體制程設備提供一套實用的環保、安全和衛生準則。適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設備。3.1不可作為檢驗是否符合本地法規要求的依據；3.2沒有提供非常詳細的半導體制程設備ESH準則；3.3參考了眾多的國際性法規、標準等。但只是被引用的條文適用于此標準，并不是被引用的標準或法規等所有條文都適用。4.3CEN/CENELEC4.5ISOStandards(Robotm4.6NFPAStandards4.7ACGIH(IndustrialVentilation5.1不可燃物質(Non-combustiblematerial):在一般條件(anticipatedconditions)下，受熱或在火焰中不可燃燒，也不支持燃燒或遇熱不可釋放出易燃蒸汽之物質。典型不可燃物質有金屬、陶瓷、石英等。5.2可燃物質(Combustiblematerial):具有火焰傳播能力或不滿足上述“不可燃物質”定義之物質。5.3易燃氣體(Flammablegas):在101.3KPa和20℃下，可以和空氣形成可被點燃的混5.4自燃物質(Pyrophoricmaterial):54.4℃以下在空氣中可以自燃的化學品。5.5易燃液體(Flammableliquid):閃點小于37.8℃(100F)之液體。5.7非游離輻射(Non-ionizingradiation):電磁波長在100nm以上者，包括普通電頻、微5.8質量平衡(Massbalance):輸入與輸出的質量流率定性(或定量)平衡。5.9災禍(Mishap):對人體造成死亡、傷害、職業病或對設備、財產、環境造成損失的未預5.10職業曝露濃度極限(Occupationalexposurelimits,OELs):以一天工作8小時為計5.11生殖毒害品(Reproductivetoxicant):已證實或懷疑對胚胎產生畸形危險，或對胚5.12風險(Risk):以危害嚴重性5.13速度壓力(Velocitypressure,VP):使空氣速度從零到要求的速度所需要的壓力值。5.14失效也是安全的(FailSafe):一種設計，當系統中任何組件失效時，不可造5.15危害性制程物料(HazardousProductionMaterial,HPM):一種固體、流體或氣體危險程度依NFPA704標準之等級歸類在健康危害、易燃性或反應性為3或4,直接用于研5.16無線電頻率(RadioFrequency,RF):頻率范圍由3KHz到300GHz的電磁波。微波是頻5.17連鎖(Interlocks):硬件連鎖一一種由電氣機械組件、電纜線或光連結，已經程序設定好的機械控制電路。當電路被切斷時，最終的控制部份無法操作。軟件連鎖一計算5.18物質安全資料表(MaterialSafetyDataSheets,MSDS):書面或印制的危害物質之資6.1在設備生命周期(安裝、操作、保養及廢棄處置)中，對其可能發生的潛在安全及衛生6.4設備設計時應該符合規范要求、工業標準、本標準以危害，以及導致死亡、重大傷害或重大設備損失的現象都是絕6.7設備組件及配件都應該符合設備制造商提供的等級級別或標準規格。6.8設備設計初期，為鑒別和評估潛在危害，應該進行危害分析。當設計成熟后，危害分6.9危害分析應該考量：設備制程或應用、各個制程的危害、可能的失效模式、災害發生的提供安全警告設施-工程控制提供危害警告標簽-管理控制7.1設備應符合一般安全規范，此準則只是設備之采購標準規范。次標準只是提供給用戶采購符合SEMIS2的設備規范。若需要超出此準則，則由使用者與廠商另行書面訂定之。7.3設備供應商應該提供給用戶指定的代表來及時更新有關設備最新發現之危害因子或安7.4設備操作、維護使用的工具及附件必須由設備供應商提供給用戶或者明確其規格。8.1評估方應該按照此標準對設備進行評估并寫出書面報告。內容包括手冊(9.6部分)和具體設計部分(本標準第10至第27部分)。只有當使用到附錄時，附錄才算作報告的一8.2對于每個部分，評估報告皆應敘述下列項目并提供原理：8.3證明無重大安全危險的風險評估結果可以作為設備滿足標準的一種證據。工業衛生信息：排氣、化學品目錄及危害分析、游離輻射、非游離輻環境信息：能源節約(能量、水、DIwater、壓縮氣體、化學品及包裝)、設備及組(1)符合本標準的評估報告(2)不符合本準則之所有事項，但需要說明改善計劃或不符合事項之正當理由(3)地震保護信息(4)環境有關信息：包括能耗、質量平衡、廢水廢氣處理等(5)工業衛生信息(6)手冊。內容應該符合SEMIS13標準，另外還應包括：設備維護使用的危險物質(潤滑油、清洗劑、冷凍液)維持安全設施(工程控制設施)正常運行的維護程序推薦使用的防污染和機臺退役廢棄處理方法應該按照SEMIS12的標準提供，內容包括：組件和材質識別，如果組件可以回收或重新(7)消防文件：10.1在危害沒有通過原始設計或安全保護裝置完全消除的地方，所有危害皆應貼上警示標簽，如高壓電、化學品、高溫、低溫、輻射以及可能產生機械傷害處皆應明10.2危害標示設計規范應按照SEMIS1標準，并在所處環境下保持持久耐用。但有些國家對輻射以及化學品危害警示標簽有法規規定，這時必須采用本國法規規定。11.6將安全連鎖恢復啟動時，不應該會同時將設備起動或將任何可移動的設施動作。11.7計算機硬件若失效應自動將設備置于安全備用方式。任何狀況下時軟體的安全連鎖作11.8安全連鎖裝置最好采用電機械式(Electomechanical)設施。但是也可采用固態設施(Solid-statedevice)或組件，只要考量了過電壓、低電壓、電力中斷等情形。12.1設備之EMO,其作動時可使設備置于安全的關機狀態，不使系統上的危害增加。12.4EMO之作用及其硬件形狀應清楚的記TYPE2—設備在供電中，活線加蓋或rms,42.2Voltspeak,60Voltsdc,240Volt-amps,或有RF出現暴露下工作。供貨商盡可能將第4類之活線作業工作改為第1、2或3類之活線作業工作。第4類之工作應特別寫在保養手冊中。供貨商必須在設備操作及保養手冊中列出第3類及以上的電氣危害。13.3在暴露高于30Vrms或42.2Vpeak之區域，設備制造商應提供不導電及/或接地觸電標示出，危害標示如SEMIS1-90,ANSIZ535,或同等的規定.13.4設備設計應使在保養修理，修改，校正或調整時達最少觸電的可能性.設備表面漏電電流由設備保護蓋表面任何一點到接地端子間量測電流均不得超過3.5mA.在機械內之設備13.6電氣保護箱應依國際電氣制造協會(NEMA)之標準構造或同等標準值.及110-10),使用者至少要求下列事項：所有208/120V之主電路保護裝置，其208/120V的進入端子上應至少能承受10,000rms安培對稱短路電流；對于所有480/277V電路保護裝置應至少能承受14,000RMS安培對稱短路電流。13.8所有設備應提供銘牌，至少標明鄰近電力來源的連接器，容器，制造商名，型號，設備號碼及電氣資料(電流，電壓，頻率，相系，相號及線號，詳細資料，參考NEC670-3及電斷路器應為硬件基礎”失效也安全"線路.U14.3由制程化學品或材質產生的火災危險性可以使用工程控制(EngineeringControl)的方14.4可能導致高火災危險的設備電源或化學品必須與火警探測器和滅火系統連鎖，以免火14.5滅火系統：安裝應該按照NFPA12,13,2001標準。如果滅火劑對人體有害，噴放時間應該delay使人員有足夠時間撤離現場。機臺處于任何情況14.6滅火系統管路安裝要求：防腐蝕、系統組件不應聚集水分、維修容易及承受要求工作14.7警告及安全工作行為：供應商應該14.8滅火系統維護及測試：設備供應商應提供詳細的維護及測試程序，測試包括每個部件14.9環境：供應商應提供滅火劑對環境或機臺方面影響的指導或資料。過溫失效也安全設計過流保護人體工學設計應該考量設備升級等情況下，如何識別、消除及轉移人體工學有關之危害因素。人體工學驗證標準：SEMIS8。應該使用SupplierErgonomicSuccessCriteria(SESC)來記錄人體工學評估結果。17.1危險能量隔離包括：危險電壓切斷、HPM供應切斷、圍堵HPM、危險輻射切斷或圍堵、電容剩余電量釋放、停止危險移動零件、加熱器的切斷以及氣動管路的泄壓。17.2為防止與危險能量源接觸，能量隔離應該是可以被鎖定的。17.3執行能量隔離或監視的人員不應該曝露在移動的機臺、高溫界面、電氣零件下，以免造成意外傷害。17.4對于具有多種供應源之設備，建議所有能量隔離設施在安放在同一個地方。17.5機臺維護前，危險能量源，如高壓系統、儲存的能量，可以被隔離或降低止零的水平。18.1機械穩定性：所有設備、組件及零件等必須有耐運輸、安裝、操作條件等穩定性能。18.2運行穩定性：機臺不同部件應該具備抵制設計壓力的能力，對物體墜落等危險應該有相應防護措施。18.3機械危險評估：應該考慮疲勞、老化、腐蝕及磨損等對機械領部件的影響。輸送液體或氣體化學品的軟硬管階應可承受可預見的內外壓力。18.4運動部件：運動部件應該設計成不可以造成任何危險行為，如果危險設計不可避免，則一定需要相應的保護設施。18.5運動部件危險性保護措施選擇：應該考量以下因素，危險被防護、危險導致傷害的發生可能性及嚴重性、保護設施被移動的頻率。18.6保護設施：應該能減少危險使人員接觸機械危險至一個可以接受的水平，同時不會帶來其他的危險。18.7溫度保護：過溫設備表面需有保護設施。19.地震保護(SEISMICPROTECTION)19.1地震保護設計準則目的：使設備制造商正確設計設備內部結構及組件以抗地震，以及讓設備供應商提供給用戶有關設備安全保護的資料信息。19.2設計時應考量零部件當地震時失效，從而可能導致危險性升級，所以應該具有相應的防護措施。19.3設計負荷：設備、附屬設備以及所有用于固定設備的設施在設計時階應考量：使用HPM的設備應該能承受94%設備重量的水平壓力，不使用HPM的設備至少在63%(壓力通過設備重心，水平壓力應該在X軸和Y軸上單獨計算)。計算設備翻轉力的時候，應該最大考量19.4設備供應商應該提供如下資料：設備圖、支持設施、接頭及固定的位置，腳的類型及承受重力分布，物理尺寸，每部分的重心。19.5固定的尺寸、固定用的零部件及防地震固定點階應明確標出。20.自動運動機械(AUTOMATEDMATERIALHANDLERS)19.3工業機器人：應滿足ANSI/RIAR15.06,ISO10218,EN775標準。如果有偏差，此偏19.4無人運輸車(UTVs):有地板運輸車及空間運輸車兩種。應該安裝有防接觸感應裝置，以免和人員或其他物體不經意接觸。應該與制程設備21.1本標準建議：環境影響應該與安全、衛生、法規要求等平衡考慮，用戶有關環境給設備供應商。設備生命周期(從設計到退役或廢棄處理)階應考量以下因素：21.2能源節約：水循環再利用，化學品、能量及水的盡量少(如清洗液),化學品的循環再利用，包裝材料體積減少或使用可多次使用的包裝。21.3化學品選擇：化學品選擇應考慮效果、環境影響、體積、毒性、副產品、處理以及循環使用等。設備維護、制程應該考量不使用臭氧消耗物質(ODS),如CFC,HCFC或導致溫室效應的PFC等如CF4,C2F6,NF3,C3F8,SF6,CHF3。21.4泄露預防：化學品供應，儲存，以及廢棄物處理應具有以下最低考量：二次承漏應該至少裝載110%的可能泄漏的化學品。承漏設備中適當位置點應該具有Leaksensor并有泄部應具有液位Hi警報裝置。設備部件應該與輸送之化學品兼容。設備應該接受來自監視儀21.5污水排放、廢棄處理及氣體散發：建議設備與中央廢水收集系統連接。設備應使用Partition等來隔離不兼容之化學品。超過制程或安全要求的為降低廢水濃度的稀釋是不允22.1排氣設備目的是防止人體對化學品的曝露。應用于：作為最初控制方式：意即控制的第一選擇(如不考慮使用個人防護具PPE等),用于在正常操作條件下，由化學等),如機臺間歇的維護行為等。22.2設備排氣參數以及相關測試：輸送管速率、體積流率Q、捕捉速率(當enclosure外空氣中存在小顆粒)、正面速率(有必要)、Hood空氣進入損失因子Fh或K,空氣進入相關系數Ce,Hood之靜壓SPh,連接處輸送管的直徑以及Hood或輸送管的測量位置。22.3連鎖設計：所有使用HPM機臺的排氣設備階應該使用排氣連鎖，最好使用流量或靜壓22.4設備及設備組件應該使用優良的排氣設施，以保證捕捉盡量多的化學品和優化排氣效異味化學品(Odorthreshold<1ppm)或刺激性化學品的應該識別出來。23.2危害分析：作為化學品危害性最起碼的認識以及對化學品23.3化學品危害控制措施優先順序：代替或消除、工程控制(Enclosure,Ventilation,Interlock),管理控制(制訂標準作業程序，貼警示標簽),個23.5正常操作時：工作環境中應該沒有揮發的化學品。標準為在最差的情況下，小于1%的23.6設備失效時：工作環境中化學品的揮發應該降低最小，標準為在最差的情況下，小于25%的OEL值。23.7最嚴重之設備真實失效情況：工作環境中化學品的揮發應該降低最小，標準為在最差的情況下，小于25%的OEL值或25%的LEL值。23.8使用危險氣體的設備應該具有持續的氣體泄漏采樣點(安裝說明書中認可)和探測器。并且設備應該可以接受外部監視儀器的信號并關閉氣體供應。23.9所有化學品罩的適當位置階應有危險警告標簽。24.1正常操作時：人員接受游離輻射強度為每小時小于0.2毫雷姆。24.2設備維護時：人員接受游離輻射強度為每小時小于1毫雷姆。24.3接觸放射性污染(包括吸入或食入放射性物質):其危害及控制應該在設備維護手冊中明確。全世界對放射性物質控制嚴格，處理、使用、運輸都需要有許可證。輻射危害性機臺也嚴格受控制，進口、出口、安裝、維護都有嚴格規定以及要求有許可證。設備制造商應該在用戶文件中提可以供用戶輻射方面幫助的安全人員聯絡電話。24.4輻射工程控制方法：如屏蔽、連鎖等應該為防護輻射最起碼的措施。設備氣體供應管或排氣管應該設計有屏蔽，以減少設備安裝時屏蔽的移除或替換頻率。輻射障礙前應該有“不可動搖的”安全連鎖，以使人員維護設備時輻射強度不可超過每小時小于0.2毫雷姆。24.5管理控制：如距離、時間、標準作業程序、警告提示等，設備供應商應該提供管理控制的詳盡資料。24.6設備制造商應該對機臺正常運行或維護時進行輻射危險評估，以證明機臺符合本標準。機臺安裝運行正常后，應該使用認可的方法執行輻射實地測量，包括測量方法、機臺運行參數、使用儀器、校正數據、輻射源、測量結果及討論等內容。根據測量結果，若需要補充管理控制，則需提供輻射源、輻射強度以及建議使用的控制手段等信息。25.1.非游離輻射包括：靜電磁場(OHz)、次無線電靜電磁場(<3Hz)、無線電(3kHz~300GHz)、紅外線(波長700nm~1mm)、可見光(400nm~700nm)、紫外線(180nm~400nm).25.2所有潛在的非游離輻射對人員造成的傷害要近可能的控制在最低水平。機臺正常運行時，人員受非游離輻射強度應低于“操作員可接受極限”(OperatorAccessibleLimit)。機臺操作及維護手冊中應該說明潛在的非游離輻射源，并列舉適當參數，包括頻率、波長、電量、持續發生的波長以及脈沖波長。脈沖參數還應包括脈沖重復率、脈沖持續時間以及脈沖波形式描述。建議將作測試用途的UV/IR等也考慮為對人員可能會造成傷害的一種非游離輻射源。25.3機臺設計時，應該考量在正常運行、維護時如何將非游離輻射控制在最低水平。工程控制：加罩、屏蔽、接地、連鎖。管理控制：警示標志、標準作業程序、標簽。個人防護具：PPE25.4使用或產生非游離輻射的機臺應該貼上標簽。25.5機臺生產商應該對機臺的非游離輻射危害是否符合標準進行評估并記錄，工程計算應該作為評估的一部分，并且采用的應該是有具體精確度和準確度的公認方法。另外，應該提供一份包括測量方法、設備操作參數、儀器手段、校正數據、危害源以及討論的報告。26.激光安全(LASER)26.1根據機臺正常運轉時對員工實際上作成的激光危害，對機臺應該進行激光產品分類。26.2激光能(強度)、波長、波形式(持續波或脈沖)應該在給用戶的相關文獻中描述。如果是脈沖波，波的重復率、脈沖持續時間、脈沖波