SOI結構納米生物傳感器的制備與研究_第1頁
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SOISOI(SiliconOnInsulator)結構納米生物傳感器,對其制備、研究以及應用進行了探討。SOI結構的研制為納米生物傳感器的制備提供了有利條件。SOI結構納米生物傳感器具有高靈敏度、高特異性、快SOI(SiliconOnInsulator)是一種三層結構的硅片,由頂層的晶體硅(ActiveLayer)、底層的襯底硅(SubstrateLayer)、中間的絕緣層(BuriedOxideLayer)組成。SOI70年代開始發(fā)展,與普通CMOS技術相比,具有更好的電學特性、更少的電芯層互影以及更高的可靠性等優(yōu)點。SOI結構納米生物傳感器是利用SOI結構作為載體,通過修飾其表面生物分子,用于檢測生物分子的濃度、結構、性質等信息的一種生物傳感器。I結構對于制備納米生物傳感器來說具有非常重要的意義。二、SOISOISOI結構的制備相對于傳統(tǒng)硅片有一些特殊之處。SOI結構采用雙Czochralski法或分子束外延法(MBE)等方法,將一層硅晶體生長在絕緣層表面上,即在絕緣層的較低溫度(400~600℃)下生長。SOI結構SOISOISOISOI結構具有良好的電學特性和機械性能,因此在生物醫(yī)學、化學三、SOISOI結構納米生物傳感器是一種新的生物傳感器,其制備方法主要SOISOICzochralski法SOISOI結構表面處理方法是將表面修飾成一種特殊的化學物質,可以加強SOI結構與待檢測的生物分子的結合力和透過的能力。表面處理方四、SOISOIDNA、RNA、物分子的檢測固定在SOI結構的表面,當待檢測的生物分子與修飾的SOI結構表面的生物分子相互作用時,會產生一定的物理或化學變化,從SOI結構納米生物傳感器還可以應用于藥物篩選、食品安全檢測、環(huán)境監(jiān)測等領域。例如,SOI結構納米生物傳感器可以用于檢測污染物、I結構納米生物傳感器,探討了其制備方法和應用,揭II結構納米生物傳感器的研

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