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文檔簡介
1、減反射薄膜的設計光學元件表面反射造成的問題光能量損失,使像的亮度降低;雜散光造成像的襯度降低,分辨率下降。1、減反射薄膜的設計光學元件表面反射造成的問題1第三章光學薄膜膜系設計1、減反射薄膜的設計2、高反膜的設計3、中心分束膜的設計4、截至濾光片的設計5、帶通濾光片的設計6、偏振薄膜第三章光學薄膜膜系設計1、減反射薄膜的設計21、減反射薄膜的設計1.1單層減反射薄膜的設計1.2雙層減反射薄膜的設計1.3多層減反射薄膜的設計1.4高折射率基地上減反膜設計1.5防眩光吸收膜1、減反射薄膜的設計1.1單層減反射薄膜的設計31.1單層減反射薄膜的設計規(guī)整膜系:各層薄膜的光學厚度為設計波長的四分之一。設計波長(參考波長、中心波長)膜系:,G代表基底H(L、M)代表高(低、中)折射率膜層并且光學厚度為設計波長的四分之一A代表出設介質(zhì)(一般為空氣)1.1單層減反射薄膜的設計規(guī)整膜系:各層薄膜的光學厚度為設41.1單層減反射薄膜的設計1.1單層減反射薄膜的設計5例子折射率為1.52的玻璃,要在波長500納米處垂直入射.得到零反射率,需要做什么樣的膜層,也就是如何選擇折射率和薄膜的光學厚度?例子折射率為1.52的玻璃,要在波長500納米處垂直入射.6缺點:1、剩余反射率還太高;2、破壞色平衡單層減反射膜1.52/1.38/1缺點:1、剩余反射率還太高;單層減反射膜71.2雙層減反射薄膜的設計1.521.71.3811.381.2雙層減反射薄膜的設計1.521.71.3811.3881.2雙層減反射薄膜的設計缺點:1、剩余反射率還太高2、破壞色平衡3、通帶越來越窄(和單層膜比較)V型雙層減反射膜1.52/1.7,1.38/11.2雙層減反射薄膜的設計缺點:1、剩余反射率還太高V型雙91.2雙層減反射薄膜的設計
1.521.71.3811.381.71.2雙層減反射薄膜的設計1.5210與無關。即:
B.存在C.D.特點:可得到W形透射光譜曲線。特點:可得到W形透射光譜曲線。111.2雙層減反射薄膜的設計W型雙層減反射膜缺點:明顯的反射峰(中心波長)1.2雙層減反射薄膜的設計W型雙層減反射膜缺點:明顯的反射121.3三層減反射薄膜的設計11.382.051.62R1R21.521.3三層減反射薄膜的設計11.382.051.62R1R13三層減反射膜2三層減反射膜14下圖是此膜系的一條可能的曲線。注意:在薄膜光學中,為了使一次具體的計算結(jié)果不被局限在一個特定的波段,引入了一個中間變量——相對波數(shù),。下圖是此膜系的一條可能的15a.對g=1,三層膜中有一層虛設層2H,致使對λ0的有效膜堆是
顯然,此值小于膜堆的R值;
b.對g≠1的其它相當寬的波數(shù)段,R值比任何一種兩層膜都低。各層膜參數(shù)對膜系總體性能的影響規(guī)律a.改變(N2d2),可使移到不同的波長;b.改變N1、N3、d1、d3、中任何一個,可改變減反射帶寬(波段寬度)和λ曲線波形。a.對g=1,三層膜中有一層虛設層2H16四層和四層以上增透膜的設計通常遇到的問題:a.三層膜系的增透波段不夠?qū)挘蚴S喾瓷渎蔬€太高;b.滿足設計要求的三種材料無法找全。四層和四層以上增透膜的設計通常遇到的問題:17解決的辦法
a.在2H層兩側(cè)增加新膜層。每加一層,應對可能的組合進行計算對比,直至滿足要求;
b.以兩種材料為基礎,按照先簡后繁的原則:“用兩層厚的H.L替代M層”;“用不等厚的H.L替代M層”;“用對稱(不一定等厚)的三層膜LHL替代M層”;直到滿足要求。
解決的辦法18C替代層技術等效定律任意一個周期性對稱膜系都存在一個單層膜與之等效。等效折射率就是基本周期的等效折射率;等效相位厚度等于基本周期的等效相位厚度的周期數(shù)倍。C替代層技術19光學薄膜膜系的計算機優(yōu)化優(yōu)化一個可達到指標的最少層數(shù)的1/4膜系結(jié)構(gòu);用三層對稱膜系合成折射率不易實現(xiàn)的膜層;再次優(yōu)化膜層厚度,以補償合成所帶來的特性下降。光學薄膜膜系的計算機優(yōu)化優(yōu)化一個可達到指標的最少層數(shù)的1/420K91H2H31.63,1=1.95,2=2.32,3=1.871.381=1.950.379H20.215L0.379H23=1.870.288L0.384H20.288LK90.379H20.215L0.379H2H20.288L0.384H20.288LK9/1.14M0.364H20.21L2.63H20.253L0.368H21.14K91H2H31.63,1=1.95,2=2.32211.4高折射率基底的減反射膜遞減法膜層厚度均為1/4波長;折射率從基底到空氣依次減小;K層膜實現(xiàn)k個波長位置的零反射;反射點的波長位置分別為:1.4高折射率基底的減反射膜遞減法221.5防眩光吸收膜有吸收的減反射薄膜LCD玻璃1.5防眩光吸收膜有吸收的減反射薄膜LCD玻璃23作業(yè)P81,2.12.2題作業(yè)P81,2.12.2題241、減反射薄膜的設計光學元件表面反射造成的問題光能量損失,使像的亮度降低;雜散光造成像的襯度降低,分辨率下降。1、減反射薄膜的設計光學元件表面反射造成的問題25第三章光學薄膜膜系設計1、減反射薄膜的設計2、高反膜的設計3、中心分束膜的設計4、截至濾光片的設計5、帶通濾光片的設計6、偏振薄膜第三章光學薄膜膜系設計1、減反射薄膜的設計261、減反射薄膜的設計1.1單層減反射薄膜的設計1.2雙層減反射薄膜的設計1.3多層減反射薄膜的設計1.4高折射率基地上減反膜設計1.5防眩光吸收膜1、減反射薄膜的設計1.1單層減反射薄膜的設計271.1單層減反射薄膜的設計規(guī)整膜系:各層薄膜的光學厚度為設計波長的四分之一。設計波長(參考波長、中心波長)膜系:,G代表基底H(L、M)代表高(低、中)折射率膜層并且光學厚度為設計波長的四分之一A代表出設介質(zhì)(一般為空氣)1.1單層減反射薄膜的設計規(guī)整膜系:各層薄膜的光學厚度為設281.1單層減反射薄膜的設計1.1單層減反射薄膜的設計29例子折射率為1.52的玻璃,要在波長500納米處垂直入射.得到零反射率,需要做什么樣的膜層,也就是如何選擇折射率和薄膜的光學厚度?例子折射率為1.52的玻璃,要在波長500納米處垂直入射.30缺點:1、剩余反射率還太高;2、破壞色平衡單層減反射膜1.52/1.38/1缺點:1、剩余反射率還太高;單層減反射膜311.2雙層減反射薄膜的設計1.521.71.3811.381.2雙層減反射薄膜的設計1.521.71.3811.38321.2雙層減反射薄膜的設計缺點:1、剩余反射率還太高2、破壞色平衡3、通帶越來越窄(和單層膜比較)V型雙層減反射膜1.52/1.7,1.38/11.2雙層減反射薄膜的設計缺點:1、剩余反射率還太高V型雙331.2雙層減反射薄膜的設計
1.521.71.3811.381.71.2雙層減反射薄膜的設計1.5234與無關。即:
B.存在C.D.特點:可得到W形透射光譜曲線。特點:可得到W形透射光譜曲線。351.2雙層減反射薄膜的設計W型雙層減反射膜缺點:明顯的反射峰(中心波長)1.2雙層減反射薄膜的設計W型雙層減反射膜缺點:明顯的反射361.3三層減反射薄膜的設計11.382.051.62R1R21.521.3三層減反射薄膜的設計11.382.051.62R1R37三層減反射膜2三層減反射膜38下圖是此膜系的一條可能的曲線。注意:在薄膜光學中,為了使一次具體的計算結(jié)果不被局限在一個特定的波段,引入了一個中間變量——相對波數(shù),。下圖是此膜系的一條可能的39a.對g=1,三層膜中有一層虛設層2H,致使對λ0的有效膜堆是
顯然,此值小于膜堆的R值;
b.對g≠1的其它相當寬的波數(shù)段,R值比任何一種兩層膜都低。各層膜參數(shù)對膜系總體性能的影響規(guī)律a.改變(N2d2),可使移到不同的波長;b.改變N1、N3、d1、d3、中任何一個,可改變減反射帶寬(波段寬度)和λ曲線波形。a.對g=1,三層膜中有一層虛設層2H40四層和四層以上增透膜的設計通常遇到的問題:a.三層膜系的增透波段不夠?qū)挘蚴S喾瓷渎蔬€太高;b.滿足設計要求的三種材料無法找全。四層和四層以上增透膜的設計通常遇到的問題:41解決的辦法
a.在2H層兩側(cè)增加新膜層。每加一層,應對可能的組合進行計算對比,直至滿足要求;
b.以兩種材料為基礎,按照先簡后繁的原則:“用兩層厚的H.L替代M層”;“用不等厚的H.L替代M層”;“用對稱(不一定等厚)的三層膜LHL替代M層”;直到滿足要求。
解決的辦法42C替代層技術等效定律任意一個周期性對稱膜系都存在一個單層膜與之等效。等效折射率就是基本周期的等效折射率;等效相位厚度等于基本周期的等效相位厚度的周期數(shù)倍。C替代層技術43光學薄膜膜系的計算機優(yōu)化優(yōu)化一個可達到指標的最少層數(shù)的1/4膜系結(jié)構(gòu);用三層對稱膜系合成折射率不易實現(xiàn)的膜層;再次優(yōu)化膜層厚度,以補償合成所帶來的特性下降。光學薄膜膜系的計算機優(yōu)化優(yōu)化一個可達到指標的最少層數(shù)的1/444K91H2H31.63,1=1.95,2=2.32,3=1.871.381=1.950.379H20.215L0.379H23=1.870.288L0.384H20.288LK90.379H20.215L0.379H2H20.288L0.384H20.288LK9/1.14M0.364H20.21L
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