1、真空系統的組成121真空系統的形式真空系統是由真空容器和獲得真空、測It真空、控制真 空等組件組成。 一個較完善的真空系統由真空室、所需的真空泵或真空 機組、真空測量裝置、連接導管、真空閥門、捕集器、 其他真空元件及電氣控制系統構成。f經過精心組裝而 成的。I- Jt空方允s- jhit/rr-rti r AaN. 5-rtR; U flKTttMa ?一憾'tMh8 AMIIMtt力n fl «M4. 10U：8-5<tJHi 13. U(X；3 >A«I X空軋2奴代師3廠電畫空計,4 W$i+i 5離只空伽7-rtttt.s9一電ion Tin真空

2、系統的分類按工作壓力分： 1、粗真空系統（工作壓力大于1330Pa） ；2、低真空系統（工作壓 力在1330913"） ；3、高真空系統（工作壓力S0.13-1.3x10 6Pa） ；4、超高真空系統（工作壓力在®gi3ig）pa）；5、 扱高真空殺統（工作壓力低于1.3x10 ,ftPa ）按真空系統所妾求的清潔程度分： 1、有油真空系統（真空室有油蒸汽污染）；2、無油真空系統（真空 室無油蒸汽污染）122真空機組真空機組是將真空泵與相應的真空元件按具性能要求組合 起來構成的油氣裝置。其特點是結構緊湊.安裝方便。真空抽氣機組可以分為低真空抽氣機組、中真空機組、高 真空機組

3、、超高真空機組、無油真空機組等。真空機組的 名稱以主泵命名。(1)低真空抽氣機組 /箱空抽氣機組的主要特點是工作壓力高、排氣量大，但 油速比高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很 大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真 空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。地真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵、油封式機械泵. 干式機械泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環泵，分子篩 吸附泵、濕式羅茨泵等直吠氣真空泵，使用低真空抽氣 機組,還需要根據被抽氣體:青潔程度、濕度或其他特殊要 求,配置必要的除塵器、水氣分離器,油水分離器、干燥 阱的咅U件。油封機械泵機組抽岀可凝性氣體的措施油封機械泵機組不

4、適于抽出含有犬fit水蒸氣的氣體。水蒸 氣在壓縮過程中會凝結成水滴,并與泵油混合形成懸浮液, 破壞泵的抽氣性能,使泵的真空度下降。般采取的措施肓：使用帶有氣鎮裝詈的油封機械泵那個, 并使泵的工作溫度控制在759(yc之間”以減少氣鎮閥負 擔；在機組中安裝水氣分離器或油水分離裝置，將混有水 的機械泵油逬行處理，處理過的油再逬入泵中使用；使用 各種干燥吸附劑做成補集阱吸咬水蒸氣；使用各種冷凝器 或冷阱，不僅能有效的吸附水蒸氣，同時還可阻擋機械泵 向真空室的反流。常用機組形式ffi 12-3油封機ftfcKUA空機爼 I mttSs 23 孰電IM)圖127有抽陽旳低典空咖1 n*(; 2 

5、7;Wi 3 iBF：J-M1. s-WflajIH ：25心氐朋殲隼人氣裁站機爼2-lhWWi 3-WiM. 4一力氣llltfl. 5-*£a»|i6持氣|BL人代*分夏Uh *捋水口圖為有扌當油阱的低真空機組。雙擊水環泵和人打“ 氣噴射泵串聯組成的機該機組適用于真空蒸發、真空濃縮、真空浸 a.真空干燥.真空冷 凍等工藝過程姐極限壓力1300Pa.工 作時 < 先開動水壞泵 以獲得大氣噴射泵所需 的預壓力,使大氣噴如 泵的逬氣口與出氣口之 間有壓力差,大氣便通 過噴射逬入泵內形成高 速運動氣流彳報抽氣 體吸入，經擴壓器被水 環泵排走.(2 )中真空抽氣機組中真空抽

6、氣機組常用的主泵有油增壓泵、羅茨泵(機械增壓泵)等機組適用于需要大抽速和獲得真空的各種真空系統中。可廣泛用于鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理、化工、 醫療、電工、埠接等行業。(a )羅茨泵(機械增壓泵)+油封機械泵機組圖池吻羅茨專十曲対機癖乩組圖為以羅茨泵為主泵，油封機械泵為前級泵的中真空獲得 設備，整套機組安置在一個機架上，結構緊湊.使用方便。心)(b )羅茨泵+水環泵機組(b>IB )2 7 羅茨5U 水圖為羅茨泵+水環泵機組，他適合抽出含有大量 水蒸氣的氣體,如真空濃縮、真空干燥,特備適 宜于弱酸性氣體及含有少量細微粉塵氣體的抽除。(C )雙羅茨泵為主泵的中真空機組c n.»

7、丄T丄ofj Jsiw iz-8蟻at羅跌urniTNin熨魚札俎ra«發于撫震耙水a累規殂為了提高真空機組的抽氣性能，達到較低的極限壓力和改善在地入壓力時的抽速特性及對大型頁空機組配用較小規格的前級泵(可以組成由兩個羅茨泵串聯作為主泵的三級抽氣機組如上兩圖所示O：_甲一O1i1912 10取級羅茨乘和一級水環4LV毓式油時機械幫聯舍機俎12 ZJGOO 歲杲樂 34一 列抽Ph$ 7 imanh 6-Z8K2 水AJl. a-2H70«R«右圖為雙級羅茨泵和一 級水環泵(水環泵的極 限壓力P廣6700Pa )級 氣鎮式油封機械泵聯合 機組,極限壓力可達10-2P

8、ao當需要大量抽 除水蒸氣時，關閉閥門 7,用水環泵做粗抽泵 和前級泵，當水蒸氣分 壓到300" 300 P湄， 關閉閥5 ,打開閥7 ,用 氣鎮式油封機械泵聯合 機組做前級泵。(3)高真空抽氣機組高真空抽氣機組工作于分子流狀態下,與低真空機組相比, 其特點是工作壓力較低(10d10-6Pa)、排氣量小、抽速 大、機組的主泵通常為擴散泵、擴散增壓泵、分子泵、鈦 升華泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能直接對大氣工作，因 此需要配置與丑泵和前級泵，有些擴散泵高貢空抽機組 還配有前幾維持泵或茫氣罐，以防止氣壓波動，改善機組 性能。體度選南 裙機利門is 啟提能 筋了功彊同 員小決不 213力&#

9、174;制用 鷲麗小級常作主化但畜獷空 切于時沖很門 蘭處定蒸im閥主用泵 刪作仍一油的浪道簷壬 需主經使暑泵能他大 壬了，氣強岀拉前羅配關以的用 詞，閥閑大霰作就能泵 曹管漏迫刖現泵這賢 聽級的液爼級詔 暫幾&作劉俞罐貯 ZS?刖少小止1± 蔚和和極象 婆閥是超一 ssii 說室空總：氣辦盤真 尿:于壓這內用處可壽 決泵采口又壬 鬣)S備主內塁可出為中 2此筒切2)設止態爭耐此泵體魘(3)貯氣小型擴散泵高真空抽氣機組通常配宣有貯氣縮，設詈在擴散泵和前級泵之間，貯存擴散泵排除的氣體，設置貯氣罐的原因有:1、系統防振的需要。2、為了縮爛工作周期。3、為防止真空室內瞬間時大量放氣

10、影響擴散泵正常 工作。4、用于穩定擴散泵出口壓力。4一耳夕旳門】$粗真空條i超高真空抽氣機組工作在10 610 "Pa超高真空壓力范圍除了要求 真空室的材料出氣率很低j瀝春很小.內經§200-450 C高溫烘烤 外.對機組的要求還有：i ( 1 )主泵的極限真空要高，至少在10匚10 °Pa以上； (2)在超高真空的工作壓力范圍內土泵具有一定的抽速； (3)機組的主泵或主泵進氣口以上部分能承受200-450 C的高溫烘 烤； ( 4)來自主泵的返流氣體(包括工作液蒸汽及解析的氣體)的分壓 力要足夠低； (5)對被扼氣體選擇性強的主泵，要配備足夠大的輔助泵；-(6)

11、機組主泵逬氣口以上的管道、閥門等部件材料的選擇W蜜蜂 要特別憤重.一般采用出氣率較低的不銹鋼和采用金屬密封材料以 耐高溫烘烤。123典型真空系統 1、粗真空系統用粗真空泵(如 求蒸汽噴射或永 環泵)直接從大 氣壓下為真空室 排氣，組成的真 空系統極為粗真 空系統。該系統 是最簡單的真空 系統。2彳氐真空系統用彳氐真空泵(如油封式機械泵)給真空副E氣，即可組成 低真空蔡統中真空系統一般是有兩個以上的真 空泵申聯組成的(1) 油增壓泵串聯油封機械泵組成 的真空系統該系統的工作壓力范 BB為1.33-1.33X10ipa.其優點是 系統簡單r抽氣能力大,振動小， 工作穩定可1?,維修方便。缺點是 預

12、抽時間比羅茨泵系統長.(2) 羅茨泵串聯油封機械泵的真空 系統。該系統的工作電壓范圍為 1.33-1333Pa優點是抽氣能力大r 啟動快，預抽時間短.缺點是工作3、中真空系統(¥ 12 I?啣了層骨火"抽庇乍罠事、trtnh 卩7-nran<3ii時噪聲較大.右圖為典型示意I(3) 羅茨泵串聯小型羅茨泵(中間泵),再串聯機械泵的真空系統.系統 的工作壓力范圍為0.33-1333Pa該系統不但具備了羅茨泵系統的特點，而 且加寬了工作壓力范圍和最佳壓力縮比.(4) 羅茨泵串聯水環泵的真空系統該系統適合于排除灰塵較多的應用設 備上。4.高真空系統m：M3曲擴系用貢厲仝系償a

13、-UAK7if. 1 住氣町5-«. 7-HW. *-<AX空bIO-*iftll«M.U ««H. 13 AM«>H-MK空K5.超高真空系統 (1)擴散泵串聯機械泵 冷阱系統。右圖極少該真空系統。擴 散泵串聯來年各個液氮冷 阱,而且真空室和冷阱能 耐400450£的烘烤。在 次溫度下,可以清楚真空 室壁及阱壁上吸附的氣體 及凝結的泵油。該系統一 般可得到133刈0 7Pa的 極限真空度°tt 12-1J AirilkK«flAA9*rM1 ft&Wi3-U-AKtti 1 戟?«

14、7沖Ph£> 審勒(】i 鼻餐通的ii &«n. it電h 歡KSbIl <!"！!衛疑 " ««>«*67圈1271潟輪分子泵姥髙真空蕪址 L-«?：<» 2 加II真空汁 3 -IR4 真空th 4趙托耳空To 5弭繪分子永。6冷憂， 7-rfe®:«1a 3，子 3空骨子子谿 £頁分分-一一統臺做泵子另泵泵抽大來為緩£子作曾 >溫分泵4低婆工i 泵統頁泵捕 專抽舞做可泵入器霜01圉W-15戕射鳴子粟無肚趙髙真空系統I2 R

15、-A 計 3* -i3«X >KM： 3-激射貝子琢；6-AXffi：7-w，« Afixsn濺個個氣 以兩一室忑的 oKWI壓走來 圖畳頁氣抽出 (2)渦輪分子泵串聯機 械泵的真空系統.右圖為該系統。此系統不 烘烤可獲得10$Pa的真空 度，烘烤后可達到10'6Pao 該系統的特點是比較清潔, 可構成無油超葛真空系統。ar 216無帕in島斎空倩購機u令疥慣m用1 分fflISU UfttMh (4)組合超奇頁空系窕 對于默寫有待殊要求的真空系統,如對 于既要求得到超高真空或無油超 高真空，有同時滿足粗抽需要及 能應付工藝過程中放岀來的大量 氣體垃樣的系統，

16、可采用組合式 系統來滿足要求.原理如右圖. 主泵為濺射離子泵為了提高真 空度及排走蒸發材料時產生的大 氣體,配有鈦升華泵極限真 空度可達6.67x10-7Pa.用分子篩 泵做主泵的預抽泵.此外，系統 還配有媳婦經機械泵相抽系統, 在壓力大于1333Pa時,機械泵不 易返油，用機械泵直接抽真空室. 壓力低于以后,機械泵阱吸附阱 從旁路抽真空室右圏為另一種形式組合 的超高真空系統。該系ffi 1M712劃幣貝,«創離子“科統適合于鈉燈封接爐. 等設備。系統的主泵為 濺射離子泵鈦升華泵 組。真空室極限真空可 達到5xl0-7pa°系統 配有:甜廣散泵機械泵 組成的機組,用來粗抽

17、和作為主泵的預抽泵， 同時能抽走工藝過程中 放出來的大量氣體t-HWi 6- rn«i7a mu空口述價i nt氣*h"L磯*真中«.124真空系統的基本操作規則 (1)啟動油封機械泵時首先要保證轉自運動方向正確r而且油位合 乎要求.(2 >遍封機械泵停止后，應立即將機械泵入口通大氣，防止因壓差使 泵腔內的泵油逬入到系統中 (3)不要用機械泵吧高真空室直接抽至低于13Pa的壓強，否則機械泵 的油蒸汽矣逬入發哦高真乍宰內.丙為存壓強低于13Pa時會岀現分子流 流態,有蒸汽分子將返流到真空室內而造成污染.如果在機械泵與真空 室之間設有冷凝捕集阱，則允許機械泵抽到13Pa-下的壓強,此時補集 阱可防止油蒸汽返流進入到真空室內. (4)不要使濁封機械泵在大氣壓強下或較高壓強下連續長時間工作, 否則點機會過熱，而且泵會出現噴出油雲現象.-(5)在擴散泵通大氣之前，應將泵油冷卻到油的安全溫度,防止高溫 下泵油出現氧化現象. (6)蒸汽流泵在加熱之前,應先供給冷卻水。該泵應該配備熱保護繼 電器，當發生停水事件時能立即使加熱器斷電 < 并關閉泵入口閥門防 止泵液因溫度過高而惡化和返流污染真空室.因此在開泵前和停泵前應將擴am入口閥門關詡，可以防止擴散泵油 返流回真空室去. (8)不要在壓強髙于1 o牛直時給阱加入液氮.這樣導致凝結很多水