2YS/TXXXX-XXXX分子束外延（MBE）用高純鋁源本文件規(guī)定了分子束外延（MBE）用高純鋁源（以下簡稱高純鋁源）的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容。本文件適用于高純鋁源的生產(chǎn)、檢測及質(zhì)量評價。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T25915.1—2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級YS/T871高純鋁化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1分子束外延(MBE)用高純鋁源highpurityaluminumsourceformolecularbeamepitaxy(MBE)分子束外延生長用的純度不小于99.99995%的鋁源。4分類高純鋁源按規(guī)格分類如下：a)顆粒：直徑小于20mm且長度小于60mm的高純鋁源；b)型材：直徑不小于20mm或長度不小于60mm的高純鋁源。5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分高純鋁源的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1化學(xué)成分），3YS/TXXXX-XXXX表1分子束外延（MBE）用高純鋁源的化學(xué)成分(續(xù))），），BPUVKW5.2尺寸高純鋁源的尺寸由供需雙方協(xié)商確定。5.3外觀質(zhì)量高純鋁源外觀質(zhì)量為銀白色，表面光亮，具有結(jié)晶條紋，有金屬光澤，無沾污、無劃傷、無孔洞、無夾雜。6試驗(yàn)方法6.1高純鋁源化學(xué)成分的測定按YS/T871的規(guī)定進(jìn)行。6.2高純鋁源的尺寸采用相應(yīng)精度的游標(biāo)卡尺進(jìn)行測量。6.3高純鋁源外觀質(zhì)量采用目視法進(jìn)行檢查。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收4YS/TXXXX-XXXX7.1.1高純鋁源由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的規(guī)定，并填寫隨行文件。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件及訂貨單的規(guī)定不符，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起1個月內(nèi)以書面形式向供方提出。如需仲裁，由供需雙方協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收，每批應(yīng)由同一爐次、同一工藝、同一規(guī)格的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項目及取樣產(chǎn)品的檢驗(yàn)項目及取樣應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2檢驗(yàn)項目及取樣），7.4檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.4.1產(chǎn)品化學(xué)成分的檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，允許取雙倍試樣對不合格項進(jìn)行重復(fù)檢驗(yàn)，若重復(fù)檢驗(yàn)仍有任一結(jié)果不合格，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.2產(chǎn)品的尺寸檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，判該包裝單元產(chǎn)品不合格。7.4.3產(chǎn)品的外觀質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，判該顆或該件產(chǎn)品不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和隨行文件8.1標(biāo)志8.1.1高純鋁源的內(nèi)包裝應(yīng)貼有產(chǎn)品標(biāo)簽,其上至少包括：a)產(chǎn)品名稱；b)產(chǎn)品重量；c)產(chǎn)品規(guī)格；d)產(chǎn)品批號；e)生產(chǎn)日期；f)檢驗(yàn)簽章。8.1.2高純鋁源的外包裝側(cè)面應(yīng)有“小心輕放”、“防潮”、“防曬”等標(biāo)識，還應(yīng)包括：a)供方名稱；b)產(chǎn)品名稱；c)產(chǎn)品件數(shù)及重量（毛重/凈重）。8.2包裝5YS/TXXXX-XXXX8.2.1高純鋁源包裝環(huán)境應(yīng)滿足GB/T25915.1-2021中ISO4級的要求，高純鋁源采用雙層潔凈鋁箔袋或PE袋真空包裝，再裝入紙盒或泡沫盒中。8.2.2包裝方法也可由供需雙方協(xié)商確定。8.3運(yùn)輸高純鋁源在運(yùn)輸過程中應(yīng)輕裝輕卸，勿壓勿擠，并采取防潮等措施。8.4貯存高純鋁源應(yīng)貯存在清潔、干燥的環(huán)境中，保質(zhì)期為一年。8.5隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a)產(chǎn)品質(zhì)量證明書，至少包括：l產(chǎn)品名稱；l產(chǎn)品數(shù)量；l產(chǎn)品批號；l檢驗(yàn)結(jié)果；l檢驗(yàn)日期；l檢驗(yàn)員簽名或印章。b)產(chǎn)品使用說明：正確搬運(yùn)、使