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文檔簡介
硅片的化學腐蝕為什么要進行化學腐蝕?硅片在切片和研磨等機械加工之后,其表面因加工應力形成一層損傷層及污染.對硅片進行化學腐蝕有哪些手段?酸性腐蝕堿性腐蝕酸性腐蝕的原理是什么?常用的酸性腐蝕液,通常由不同比率的硝酸(HNO3),氫氟酸(HF)及緩沖液等組成,其腐蝕的機理為:1.利用硝酸(HNO3)氧化硅片表面
Si+2HNO3SiO2+2HNO22HNO2NO+NO2+H2O2.利用氫氟酸(HF)與氧化硅生成可溶于水的絡合物.
SiO2+6HFH2SiF6+2H2OHF/HNO3體系化學品濃度與其腐蝕速率關系?若HF含量多,則腐蝕速率受氧化反應控制.氧化對硅片晶向,攙雜濃度和晶體缺陷較敏感若HNO3含量多,則腐蝕速率受反應生成物溶解速率的限制.溶解過程是一種擴散過程,會受到液體對流速度的影響.HF/HNO3體系腐蝕設計的原則?腐蝕速率的可控性.某種表面結構特殊工藝需求,如多晶絨面制作.尋求添加劑,使腐蝕速率更可控,可滿足高產能的需求.HF/HNO3體系中的添加劑有什么作用?緩沖腐蝕速率改善表面濕化(Wetting)程度加速腐蝕速率目的可采用化學藥品原因緩沖腐蝕速率水(H2O),醋酸(CH3COOH),磷酸(H3PO4)濃度稀釋加速腐蝕速率亞硝酸鈉(Na2NO2),氟硅酸(H2SiF6)反應中間產物HF/HNO3體系的緩沖添加劑選擇條件?在HF/HNO3中化學性質穩定在腐蝕過程中,不會與反應產物發生進一步反應可溶解在HF/HNO3之中可以濕化晶片表面不會產生化學泡沫堿性腐蝕的原理是什么?常用的堿性腐蝕化學藥品為KOH或NaOH,其腐蝕的機理為:
Si+2KOH+H2OK2SiO3+2H2↑堿腐蝕速率影響因素?表面懸掛鍵密度,與晶向有關化學濃度溫度表面機械損傷硅片在化學腐蝕后的表面特性?TTV(TotalThicknessVariation)TIR(TotalIndicatorReading)粗糙度(Roughness)反射度(Reflectivity)波度(Waviness)金屬含量太陽能電池中中的硅片化學學腐蝕硅表面制絨和和邊緣刻蝕為什么要制作作絨面?光在非垂直入入射至硅表面面,會發生反反射現象,為為了降低光反反射,增強光光吸收,需要要在硅表面形形成絨面.為什么降低反反射會增加光光的吸收因為需要滿足足能量守恒定定律光反射+光吸吸收+光透射射=光總能量量堿腐蝕在絨面面制作上的應應用?利用KOH或NaOH在腐蝕單晶硅硅片時在不同同晶向腐蝕速速率的差異性性不同晶向的刻刻蝕速率為<110>><100>><111>不同晶向腐蝕蝕速率的差異異(各向異性性腐蝕)與什什么有關?溶液濃度,有有關系,但關關系不大,因因為腐蝕過程程受表面過程程控制.溫度,溫度越低,腐腐蝕速率差異異越大添加劑,如異異丙醇IPA,通常用來減減緩刻蝕速率率酸腐蝕在絨面面制作上的應應用?利用HF/HNO3在較高化學濃濃度比時的缺缺陷腐蝕特性性,使損傷層層區域優先腐腐蝕,形成不不同于單晶金金字塔結構的的坑洞結構..化學腐蝕在表表面拋光處理理上的應用什么是拋光??拋光指形成完完全反射的表表面,即鏡面面化學拋光的原原理?對硅片表面的的均勻刻蝕拋光化學藥液液的配置通??梢允褂糜肏F/HNO3或KOH溶液化學腐蝕在邊邊緣刻蝕上的的應用?通常使用HF/HNO3體系,利用其其各向同性腐腐蝕特性,可可以在特定設設備條件下完完成對硅片邊邊緣的腐蝕,,而不影響太太陽電池的工工藝結構.通常使用in-line式結構的設備備,利用表面面張力和毛細細作用力的作作用完成這一一過程.簡單設備結構構與工藝說明明圖示9、靜夜夜四無無鄰,,荒居居舊業業貧。。。12月月-2212月月-22Wednesday,December7,202210、雨中黃葉樹樹,燈下白頭頭人。。21:25:0521:25:0521:2512/7/20229:25:05PM11、以我獨獨沈久,,愧君相相見頻。。。12月-2221:25:0521:25Dec-2207-Dec-2212、故人江海海別,幾度度隔山川。。。21:25:0521:25:0521:25Wednesday,December7,202213、乍見翻疑疑夢,相悲悲各問年。。。12月-2212月-2221:25:0521:25:05December7,202214、他他鄉鄉生生白白發發,,舊舊國國見見青青山山。。。。07十十二二月月20229:25:05下下午午21:25:0512月月-2215、比不了了得就不不比,得得不到的的就不要要。。。十二月229:25下午午12月-2221:25December7,202216、行動出成成果,工作作出財富。。。2022/12/721:25:0521:25:0507December202217、做做前前,,能能夠夠環環視視四四周周;;做做時時,,你你只只能能或或者者最最好好沿沿著著以以腳腳為為起起點點的的射射線線向向前前。。。。9:25:05下下午午9:25下下午午21:25:0512月月-229、沒有失敗,,只有暫時停停止成功!。。12月-2212月-22Wednesday,December7,202210、很多多事情情努力力了未未必有有結果果,但但是不不努力力卻什什么改改變也也沒有有。。。21:25:0521:25:0521:2512/7/20229:25:05PM11、成功就是日日復一日那一一點點小小努努力的積累。。。12月-2221:25:0521:25Dec-2207-Dec-2212、世間成事,,不求其絕對對圓滿,留一一份不足,可可得無限完美美。。21:25:0621:25:0621:25Wednesday,December7,202213、不知知香積積寺,,數里里入云云峰。。。12月月-2212月月-2221:25:0621:25:06December7,202214、意志志堅強強的人人能把把世界界放在在手中中像泥泥塊一一樣任任意揉揉捏。。07十十二二月20229:25:06下下午21:25:0612月月-2215、楚塞三三湘接,,荊門九九派通。。。。十二月229:25下午午12月-2221:25December7,202216、少年十五五二十時,,步行奪得得胡馬騎。。。2022/12/721:25:0621:25:0607December202217、空空山山新新雨雨后后,,天天氣氣晚晚來來秋秋。。。。9:25:06下下午午9:25下下午午21:25:0612月月-229、楊柳散和風風,青山澹吾吾慮。。12月-2212月-22Wednesday,December7,202210、閱讀讀一切切好書書如同同和過過去最最杰出出的人人談話話。21:25:0621:25:0621:2512/7/20229:25:06PM11、越是沒有有本領的就就越加自命命不凡。12月-2221:25:0621:25Dec-2207-Dec-2212、越是無能的的人,越喜歡歡挑剔別人的的錯兒。21:25:0621:25:0621:25Wednesday,December7,202213、知人者智智,自知者者明。勝人人者有力,,自勝者強強。12月月-2212月月-2221:25:0621:25:06December7,202214、意志堅堅強的人人能把世世界放在在手中像像泥塊一一樣任意意揉捏。。07十十二月20229:25:06下午午21:25:0612月-2215、最具具挑戰戰性的的挑戰戰莫過過于提提升自自我。。。十二月月229:25下下午午12月月-2221:25December7,202216、業余生生活要有有意義,,不要越越軌。2022/12/721:25:0621:25:0607December202217、一個人即即使已登上上頂峰,也也仍要自強強不息。9:25:06下下午9:25下下
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