1、電子顯微鏡學(xué)習(xí)心得及簡單的操作流程1 月 12、 13 號進行了由天美科學(xué)儀器有限公司派到敝公司的維修工程師為期兩天的電子顯微鏡安裝。隨后的1 月 16、 17 號兩天我們所有的新老技術(shù)都參加了電子顯微鏡的培訓(xùn)。通過培訓(xùn)我們了解到了電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)、工作原理、工作條件、以及一些日常的維護保養(yǎng)，電子顯微鏡被廣泛應(yīng)用于高分子材料、金屬材料、陶瓷、治金、生物、地質(zhì)、半導(dǎo)體、仿生學(xué)等各個領(lǐng)域。通過電子顯微鏡可以方便地觀察到物質(zhì)的微觀結(jié)構(gòu)，晶體生長規(guī)律，檢測各種材料的老化及其疲勞損害程度，分析各種材料中的各種成分的分布規(guī)律及其各種元素之間的比例關(guān)系。能譜分析（EDS）的使用方法：選擇合適的試樣位置后，開

2、始采集，待采集完成后，選擇 適合的譜圖進行計算，從而得到試樣中相應(yīng)元素的定量分析數(shù)據(jù)，并且還具有線、面分析功能及其粒度分析統(tǒng)計功能。下面就這幾天的學(xué)習(xí)簡單制作了如下操作流程，僅供大家參考！1.開啟電源開關(guān)。2.把鑰匙擰到START處，啟動電子顯微鏡。3.待電腦開啟之后，點擊 OK鍵4.點擊AIR鍵泄出里面的真空氣體。6.雙手輕輕拉出真空罩，注意手的位置。5.等待*字樣的進度條完全消失，電腦 連續(xù)“嘟”三聲，說明樣品臺里面真 空氣體完全泄出。7.用手輕輕取出樣品。9 .以樣品的最高點為基準(zhǔn)，測出高度。10 .把樣品臺放入輕輕放入。8.用碳膠帶把樣品貼在樣品臺上，注意 不要用手直接接觸樣品臺。11

3、.輸入尺寸和高度，點擊Stage Moveihe uppel limill pnsjlionL,numtiiirmefe rspeeinwn stub Specimen mb?浙川Em口 刖廿 門也即 urtw vpetifnqn 廿劃 中福 <neHur»r1 w砧i mugameiwr of spetimen ghjOeSoeamen mu城鞋就野麗卻 siubjof me specimenmeaunBd buhpightgaugt12 .待樣品臺自動調(diào)整到指定的位置, 然后點擊OK的Hftlglil! DeiBdai. UnitI13 .把樣品臺輕輕推入真空罩，樣品臺 的

4、高度必須低于真空罩口的高度。14 .一只手輕輕搭住真空罩，另一只手 點擊EVAC鍵，開始抽真空。15.點擊ON鍵，加高壓。%； Hitachi S-340QN Scanning Electron Ml16.點擊B/C鍵，自動調(diào)整亮度。17.點擊FOCUS,自動聚焦。18.調(diào)整后的圖像。S1S3F120.放大圖像、聚焦、調(diào)整亮度對比的操作臺。21.F1表示快速掃描，S1、S3皆為滿速掃描，通過之前的一系列操作把圖像調(diào) 整到您認(rèn)為的最佳效果。CCWWOi.tEfivoltage Emls&ign20.0kV M.0UASS4OQ 20.QkV5.7mTn m183SE300urrr19.控

5、制圖像橫向、縱向移動的操作臺 X為橫軸，Y為縱軸。22.點擊M/S鍵拍照。23.點擊Save,保存圖像。24.設(shè)置文件名之后保存。25 .必須先設(shè)置樣品臺距離為10之后才能開始能譜分析。27.點擊選項，選擇電鏡控制。26 .打開電源開關(guān)，啟動計算機進行能 譜分析。28.輸入放大倍數(shù)、高壓、工作距離參數(shù)29.點擊電鏡設(shè)置。30.點擊開始采集。31.進入感興趣區(qū)。32.點擊開始采集。33.點擊采集圖譜。34.選擇點或者面區(qū)域然后開始采集電子圖像，待采集時間進度條結(jié)束為止。35.確認(rèn)元素。36.定量分析。37.點擊報告，選擇創(chuàng)建 Word文件。38.用好電子顯微鏡之后關(guān)機，先把能譜分析的計算機關(guān)閉，之后點擊 HOME鍵自動調(diào)整樣品臺高度，然后點擊OFF鍵關(guān)閉高壓，兩者也可以同時進行。39.點擊AIR鍵泄出真空氣體，取出樣品。40.設(shè)置樣品臺高度，把樣品臺放入真空罩。41.