1、送 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高溫?cái)U(kuò)散/氧化系統(tǒng)維修手冊(cè)中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所2007年6月CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所目錄1 .設(shè)備型號(hào)涵義（1）1.1 型號(hào)的組成（1）1.2 各代號(hào)涵義（1）2 .電氣圖紙的代號(hào)規(guī)定（2）2.1 電氣制圖代號(hào)定義（2）2.2 元器件編號(hào)規(guī)定2.3 電氣接線編號(hào)規(guī)定2.4 電氣轉(zhuǎn)接端口定義 2.5 計(jì)算機(jī)轉(zhuǎn)接端口定義 3.故障判別與維修 3.1 溫度控制系統(tǒng)3.1.1 溫控儀上顯示oooo3.1.2 爐子不能升溫 3.1.3 面板上的超溫指示燈亮 3.1.4 爐溫失控3.1.5 面板上的短路

2、指示燈亮 3.2 自動(dòng)推拉舟系統(tǒng)3.2.1 不能自動(dòng)進(jìn)出舟 3.2.2 不能自動(dòng)停舟 3.3 氣體流量控制系統(tǒng) 3.3.1 氣動(dòng)閥不能受控打開3.3.2 觸摸屏上無氣體流量顯示3.3.3 氣體流量總是顯示最大值 3.3.4 氣體流量顯示值波動(dòng)大3.4 H/O合成氧化系統(tǒng)3.4.1 火不能點(diǎn)燃3.4.2 系統(tǒng)誤報(bào)警I (3)(3)(3)(7)(11)(11)(11)(11)(12)(12)(13)(13) (13)(14)(14) (14)(14)(15)(15)(16) (16)(16)言 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所1 .設(shè)備型號(hào)涵義1.1 型號(hào)的組成按照部頒標(biāo)準(zhǔn)，我所高溫?cái)U(kuò)散

3、/氧化系統(tǒng)的型號(hào)由如下代號(hào)組成：M 5 1 11 4 W / UM型48所)類別代號(hào)(表面處理和薄膜淀積設(shè)備)1.2 各代號(hào)涵義1300 c3硅片工藝4硅片工藝6硅片工藝8硅片工藝1CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所2 .電氣圖紙的代號(hào)規(guī)定2.1 電氣制圖代號(hào)定義按照國家電氣制圖標(biāo)準(zhǔn)，我所常用電氣圖紙器件代號(hào)如下： 代號(hào)AB C E F G H J K L MN P Q R S T U V W XYZ代號(hào)意義計(jì)算機(jī)及板卡、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、印制電路板、帶觸發(fā)電路的可控 硅模塊、氫氣報(bào)警器、濕度計(jì)、冷阱、觸摸顯示器薄膜規(guī)、熱電偶、接近開關(guān)、光電開關(guān) 電容加熱器、擴(kuò)散泵、照明燈 熔斷器開關(guān)電

4、源、直流電源 指示燈、報(bào) 警器溫控儀固態(tài)繼電器、交流接觸器、交流繼電器、直流繼電器、延時(shí)繼電器 三相總進(jìn)線，分為：L1、L2、L3真空泵、軸流風(fēng)機(jī)、凈化風(fēng)機(jī) 零線質(zhì)量流量控 制器、水壓開關(guān)、水流開關(guān)、電接點(diǎn)壓力表、真空計(jì)、記錄儀、電流表、電壓 表、檢測(cè)器件 斷路器、空氣開關(guān) 電阻、電位器、熱敏電阻、壓敏電阻 按鈕開 關(guān)、旋鈕開關(guān)、急停開關(guān)、行程開關(guān)、液位開關(guān)、接近開關(guān)變壓器、調(diào)壓器、電壓互感器、電流互感器旋轉(zhuǎn)編碼器、變頻器、整流器 晶體管、晶閘管、可控硅 模塊、發(fā)光二極管、規(guī)管、光敏管 導(dǎo)線、電纜 接線排、端子排、連接片(XB)、電纜封端、接線板、普通插頭座、航空插頭座(頭可采用XP、座可采用

5、XS)電磁閥、電磁離合器、氣動(dòng)閥 濾波器2或 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所2.2 元器件編號(hào)規(guī)定* * * * *如電控柜中下層第5號(hào)插頭座編號(hào)為：X1205 ;凈化臺(tái)照明開關(guān)的編號(hào)為：S20052.3電氣接線編號(hào)規(guī)定* * * *連接線序號(hào)，零線號(hào)從001099;其他線號(hào)從101999。層號(hào)：0一公共器件 線，1下層，2中下層，3中上層，4上層柜子號(hào)：1電控柜，2凈化 臺(tái)，3一爐體柜，4一氣源柜，5柜子間的轉(zhuǎn)接線。如電控柜中上層第35號(hào)零線編號(hào)為：13035;氣源柜下層第89號(hào)線編號(hào)為：41189 ;2.4電氣轉(zhuǎn)接端口定義（注：以下的接口定義適用于修改后的 WK92及WK93電

6、氣圖紙）3CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所X2003: （Y2M-10TJ/ZK ,凈化臺(tái)轉(zhuǎn)接板至控制柜前門板）腳號(hào)1 2V相指示燈火線3W相指示燈火線4凈化臺(tái)控制火線入5接觸器線圈火線照明燈火線7散熱風(fēng)扇火線8出舟提示線圈火線作用U相指示燈火線腳號(hào)9作用常開閥10零線X1103: （Y2M-19TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至前面板） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1上電開關(guān)火線入2上電開關(guān)火線出3加熱開控制線出45急停開關(guān)控制線入7急停開關(guān)控制線出8加熱關(guān)控制線入9消聲開關(guān)報(bào)警線入10漏氫指示燈火線11火未燃指示燈火線12超溫指示燈火線13工藝指示燈火線14短路指示燈火線15加熱開指示燈火

7、線16加熱關(guān)指示燈火線17加熱關(guān)控制線出18前面板工作火線19前面板工作零線X1104: （Y2M-10TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至后面板）腳號(hào)作用腳號(hào)作用1后面板工作火線2后面板工作零線3報(bào)警輸出4溫控I輸出十5溫控H輸出十溫控田輸出十7溫控IV輸出十8溫控V輸出十9溫控輸出COM10X1105: （Y2M-19TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至固態(tài)繼電器板） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用1擴(kuò)散小氮2 大氮3 4 5氫氣清洗小氮7 8大（干）氧濕（小）氧D/O備用一 D/O備用二9設(shè)備異常燈塔指示燈10 11 12工藝燈13熱偶短路報(bào)警1415出舟音樂提示16凈化風(fēng)機(jī)啟動(dòng)D/O備用四D/O備用五腳號(hào)作用17指

8、示燈火線入18電磁閥火線入194庭 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所X1106: （Y2M-14TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至 X1119 D型25芯針） 腳號(hào)作用腳號(hào)1擴(kuò)散小氮流量檢測(cè)2大氮流量檢測(cè)3 4 5氫氣流量檢測(cè)6清洗小氮流量檢測(cè)擴(kuò)散小氮源瓶壓力檢測(cè)8清洗小氮源瓶壓力檢測(cè)大（干）氧濕（小）氧流量檢測(cè) 流量檢測(cè)910 11 12A.GND、G.GND13OPTO14點(diǎn)火信號(hào)作用A/D備用一（風(fēng)量檢測(cè)）FREE （啟DIR （方向動(dòng)電平） 電平）X1107: （Y2M-24TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至 X1120 D型37芯針） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1擴(kuò)散小氮流量設(shè)定2大氮流

9、量設(shè)定3 4 5氫氣流量設(shè)定6清洗小氮流量設(shè)定前限位8后限位大（干）氧濕（小）氧流量設(shè)定 流量設(shè)定9急停狀態(tài)10斷水狀態(tài)11極限保護(hù)12爐體開狀態(tài)13火未燃14火已燃15漏氫16點(diǎn)火溫度到17超溫18 19 20A.GND、G.GND21222324D/I備用CP （脈沖輸（POCL3泄出）漏檢測(cè)）X1119: （25針D型插頭，A/D、D/O信號(hào)至計(jì)算機(jī)） 腳號(hào)1 2 3 4 5 氫氣流量檢測(cè)6清洗小氮流量檢測(cè)擴(kuò)散小氮源瓶壓力檢測(cè)8清洗小氮源瓶壓力檢測(cè)作用擴(kuò)散小氮大氮流量檢流量檢測(cè)測(cè)腳號(hào)9 10作用A/D備用一（風(fēng)量檢測(cè)）腳號(hào)17作用大（干）氧濕（小）氧流量檢測(cè)流量檢測(cè)11DIR （方向電平

10、）12A.GND、G.GND13OPTO141516181920212223FREE （啟動(dòng)電平）24點(diǎn)火信號(hào)X1120: （37針D型插頭，D/I、D/A信號(hào)至計(jì)算機(jī)）腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)1前限位2急停狀態(tài)3極限保護(hù)4火未燃5漏氫6超溫89101112131415濕氧流量設(shè)定161718 19 20521 22 23 24CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所作用腳號(hào)作用氫氣流量設(shè)定清洗小氮流量設(shè)定后限位斷水狀態(tài)爐體開狀態(tài)火已燃點(diǎn)火溫度到25D/I備用（POCL3泄漏檢測(cè)）262728CP29擴(kuò)散小氮流量設(shè)定3031大氮流量設(shè)定32腳號(hào)作用33干氧流量設(shè)定3435A.GND、G.GND3

11、637X1108: （Y2M-10TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至凈化臺(tái)） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用1步進(jìn)電機(jī)A+2步進(jìn)電機(jī)A一3步進(jìn)電機(jī)B+4步進(jìn)電機(jī)B-5前限位6后限位7限位COM910極限保護(hù)X1109: （Y2M-19TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至功率板 X3102）腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1溫控I觸發(fā)信號(hào)2溫控n觸發(fā)信號(hào)3溫控田觸發(fā)信號(hào)4溫控IV觸發(fā)信號(hào)5溫控V觸發(fā)信號(hào)6觸發(fā)信號(hào)COM7+15V觸發(fā)板GND9功率板零線引入101112131415加熱開指示燈火線16加熱關(guān)指示燈火線17接觸器線圈火線18自鎖開關(guān)觸點(diǎn)出線19控制電源火線入X1110或X4101 （Y2M-32TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接

12、板至氣源柜轉(zhuǎn)接板）腳號(hào)作用腳號(hào)1擴(kuò)散小氮流量設(shè)定2 3 4 5氫氣流量設(shè)定6清洗小氮流量設(shè)定7擴(kuò)散小氮流量檢測(cè)大氮流量檢測(cè)大氮干（大）氧濕（小）氧流量設(shè)定 流量設(shè)定流量設(shè)定9 10 11氫氣流量檢測(cè)12清洗小氮流量檢測(cè)13擴(kuò)散小氮源瓶壓力檢測(cè)14清洗小氮源瓶壓力檢測(cè)15A/D備用一（風(fēng)量檢測(cè)）16作用干（大）氧濕（小）氧流量檢測(cè)流量檢測(cè)腳號(hào)作用17181920 2122溫度到23點(diǎn)火信號(hào)24D/I備用（POCL3泄漏檢測(cè)）6CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 腳號(hào)作用25斷水狀態(tài)26 火已燃2728293031+15V32COMX1111或X4102: （Y2M-14 TJ/ZK ,控

13、制柜轉(zhuǎn)接板至氣源柜轉(zhuǎn)接板） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用1擴(kuò)散小氮電磁閥2大氮電磁閥3干（大）氧電磁閥4濕（小）氧電磁閥5氫氣電磁閥6清洗小氮電磁閥7火未燃報(bào)8漏氫報(bào)警10D/O備用線111121314氣源柜火線入X4114: （Y2M-10TJ/ZK ,氣源柜轉(zhuǎn)接板至電磁閥）腳號(hào)作用腳號(hào)作用1擴(kuò)散小氮2大氮3 4 5氫氣或氮?dú)浠旌蠚?清洗小氮78干（大）氧濕（小）氧或氣簾氮常開閥10零線X4105-X4110: （Y2M-7TJ/ZK ,至質(zhì)量流量計(jì)）腳號(hào)作用1流量設(shè)定2COM3 流量檢測(cè)4COM5+ 15V6 15V7X4105:至擴(kuò)散小氮質(zhì)量流量計(jì) X4106:至大氮質(zhì)量流量計(jì) X4107:至大（干

14、）氧質(zhì) 量流量計(jì)X4108:至濕（小）氧質(zhì)量流量計(jì)X4109:至氫氣或氮?dú)浠旌蠚赓|(zhì)量流量 計(jì)X4110:至清洗小氮質(zhì)量流量計(jì)（注：修改后與擴(kuò)散小氮共用）X4113:冷阱電源插座（220V）P4101-P4107: （9芯D型插頭，STEC質(zhì)量流量計(jì)） 腳號(hào)6 4 2 7 3 57CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所作用流量設(shè)定COM流量檢測(cè)COM + 15V 15VP4101-P4107: （15芯D型插頭，BROOKS質(zhì)量流量計(jì)） 腳號(hào)作用8 流量設(shè)定1 COM 2 流量檢測(cè) 10和9 COM5 + 15V6 15VP4101-P4107: （15芯D型插頭，七星華創(chuàng) 質(zhì)量流量計(jì)） 腳

15、號(hào)作用4 流量設(shè)定3 COM 7 流量檢測(cè) 6和8 COM 15 + 15V11 和 12 -15VP4101-P4107: （20芯扁平插頭，UNIT質(zhì)量流量計(jì)） 腳號(hào)作用A流量設(shè)定2COM3流量檢測(cè)B和CCOM4+ 15VF 15V（注：以下接口定義的適用于修改前的 WK80及WK49等其它圖號(hào)的電氣圖紙）X2003: （Y2M-10TJ/ZK ,凈化臺(tái)轉(zhuǎn)接板至控制柜前門板）腳號(hào)1 2V相指示燈火線3W相指示燈火線4凈化臺(tái)控制火線入5接觸器線圈火線6照明燈火線7散熱風(fēng)扇火線8出舟提示線圈火線作用U相指示燈火線腳號(hào)9作用常開閥零線X1103: （Y2M-19TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至前面板

16、）腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1上電開關(guān)火線入2上電開關(guān)火線出3加熱開控制線出456急停開關(guān)控制線入7急停開關(guān)控制線出8加熱關(guān)控制線入9消聲開關(guān)報(bào)警線入漏氫指示燈火線11火未燃指示燈火線12超溫指示燈火線13工藝指示燈火線14短路指示燈火線15加熱開指示燈火線16加熱關(guān)指示燈火線17加熱關(guān)控制線出18前面板工作火線19前面板工作零線8寓 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所X1104: （Y2M-7TJ/ZK或Y2M-14TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至后面板）腳號(hào)作用腳號(hào)作用1后面板工作火線2后面板工作零線3報(bào)警輸出4左溫控輸出十5中溫控輸出十6右溫控輸出十7溫控輸出COM8左溫控外熱偶+9左

17、溫控外熱偶-10中溫控外熱偶+中溫控外熱偶一1213右溫控外熱偶+14右溫控外熱偶-X1105: （Y2M-19TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至固態(tài)繼電器板） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1擴(kuò)散小氮2大氮3 4 5氫氣6清洗小氮7冷阱開8濕氧開大（干）氧濕（小）氧9擴(kuò)散小氮后閥10濕（小）氧后閥清洗小氮后閥12工藝燈13熱偶短路報(bào)警14散熱風(fēng)扇15出舟音樂提示16凈化風(fēng)機(jī)啟動(dòng)17指示燈火線入18電磁閥火線入19凈化臺(tái)火線入20 21 22 23 24X1106: （Y2M-24TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至 X1119 和 X1120）腳號(hào)作用腳號(hào)1擴(kuò)散小氮流量設(shè)定2大氮流量設(shè)定3 4 5氫氣流量設(shè)定6

18、清洗小氮流量設(shè)定7擴(kuò)散小氮流量檢測(cè)8大氮流量檢測(cè)大（干）氧濕（小）氧流量設(shè)定 流量設(shè)定9 10 11氫氣流量檢測(cè)12清洗小氮流量檢測(cè)13火已燃14點(diǎn)火溫度到15火未燃16漏氫作用大（干）氧濕（小）氧流量檢測(cè)流量檢測(cè)腳號(hào)17 18作用點(diǎn)火信號(hào)A.GND、G.GND19前限位20后限位21CP （脈沖輸出）22DIR （方向電平）23FREE （啟動(dòng)電平）24OPTOX1119: （25針D型插頭，A/D、D/A信號(hào)至計(jì)算機(jī)） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1擴(kuò)散小氮流量設(shè)定23 大氮流量設(shè)定45大（干）氧流量設(shè)定67A.GND8擴(kuò)散小氮流量檢測(cè)9大氮流量檢測(cè)10 11 12氫氣流量檢測(cè)13清洗小氮流量

19、檢測(cè)141516大（干）氧濕（小）氧流量檢測(cè) 流量檢測(cè)17A.GND18濕（小）氧流量設(shè)定1920氫氣流量設(shè)定921A.GND22清洗小氮流量設(shè)定2324CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所X1120: （25針D型插頭，D/I、D/O信號(hào)至計(jì)算機(jī)）腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1 2 3FREE （啟動(dòng)電平）4G.GND5OPTO6點(diǎn)火溫度到7火已燃8火未燃點(diǎn)火信號(hào)DIR （方向 電平）9 漏氫10G.GND1113141516171819 前限位20 后限位21222325CP （脈沖輸出）X1108: （Y2M-14TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至凈化臺(tái)） 腳號(hào)作用腳號(hào)作用1步進(jìn)電機(jī)A+2步

20、進(jìn)電機(jī)A一3步進(jìn)電機(jī)B+4步進(jìn)電機(jī)B-5前限位6后限位7 8限位COM編碼器A9編碼器B10+15V11COM極限保護(hù)1314X1109: （Y2M-19TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至功率板 X3102）腳號(hào)作用腳號(hào)作用腳號(hào)作用1溫控I觸發(fā)信號(hào)2溫控n觸發(fā)信號(hào)3溫控田觸發(fā)信號(hào)4觸發(fā)信號(hào)COM5+15V6觸發(fā)板GND7功率板零線引入8溫控I外熱偶+9溫控I外熱偶10溫控R外熱偶+11溫控R外熱偶+24V13溫控出外熱偶+14溫控出外熱偶一15加熱開指示燈火線16加熱關(guān)指示燈火線17接觸器線圈火線18自鎖開關(guān)觸點(diǎn)出線19控制電源火線入X1110或X4101 （Y2M-32TJ/ZK ,控制柜轉(zhuǎn)接板至

21、氣源柜轉(zhuǎn)接板）腳號(hào)作用腳號(hào)1擴(kuò)散小氮流量設(shè)定2 3 4 5氫氣流量設(shè)定6清洗小氮流量設(shè)定7擴(kuò)散小氮流量檢測(cè)8大氮流量檢測(cè)大氮干（大）氧濕（小）氧流量設(shè)定 流量設(shè)定流量設(shè)定9 10 11氫氣流量檢測(cè)清洗小氮流量檢測(cè)13+24V或+5V備用14擴(kuò)散小氮15大氮16干（大）氧作用干（大）氧濕（小）氧流量檢測(cè)流量檢測(cè)腳號(hào)17 1819 20 21 22 23 2410需 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所作用濕（小）氧氫氣清洗小氮濕氧加熱冷阱開溫度到（氮?dú)饬髁繖z測(cè)）點(diǎn)火信號(hào)擴(kuò)散小氮（模擬地） 后閥（備用氮）腳號(hào)25 26 27 28 29清洗小氮后閥（氮?dú)猓?0氣源柜火線入31+15V32CO

22、M作用濕（小）氧后閥火已燃 火未燃報(bào)漏氫氣（備用氮警（備用氮（氮?dú)饬髁髁繖z測(cè)）流量設(shè)定）量設(shè)定）X4102或X4116: （Y2M-14或19TJ/ZK,氣源柜轉(zhuǎn)接板至電源盒）腳號(hào)作用腳號(hào)作用1火未燃23火已燃45COM6COM7+15V8-15V9溫度到1011 12 13氫氣閥：J141516點(diǎn)火信號(hào)氫氣閥：KX4103: （25芯D型孔頭，電源盒內(nèi)至氫氧合成保護(hù)板）腳號(hào)作用腳號(hào)1 2 3 4COM5COM6COM7 + 15V8-15V檢測(cè)熱電火已燃：e火焰探頭：偶：入一十9 10 11 14 15火線：l24氫氣閥：k25作用溫度到：n檢測(cè)熱電點(diǎn)火信號(hào)：火未燃：m 偶：入+ a氫氣閥：

23、jX4112: （XS16-3芯,至氫氣報(bào)警器）腳號(hào)作用1 火線2 零線3漏氫氣X4114: （Y2M-10TJ/ZK ,氣源柜轉(zhuǎn)接板至電磁閥） 腳號(hào)作用1擴(kuò)散小氮2大氮3 4 5 氫氣或氮?dú)浠旌蠚?清洗小氮7擴(kuò)散小氮后閥或備用氮8清洗小氮后閥或氧氣干（大）氧濕（小）氧或氣簾氮腳號(hào)作用9常開閥10零線X4117: （Y2M-10TJ/ZK ,電源盒至氫氧合成點(diǎn)火控制部件）腳號(hào)作用1檢測(cè)熱偶一2檢測(cè)熱偶+3火焰檢測(cè)探頭+4火焰檢測(cè)探頭-5溫控輸出十6溫控輸出一7控制熱偶十8控制熱偶一11CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所X4105-X4110: （Y2M-7TJ/ZK ,至質(zhì)量流量計(jì)）

24、腳號(hào)作用1 流量設(shè)定 2COM 3 流量檢測(cè) 4COM 5 + 15V 6 15V 7X4105:至擴(kuò)散小氮質(zhì)量流量計(jì) X4106:至大氮質(zhì)量流量計(jì) X4107:至大（干）氧質(zhì) 量流量計(jì)X4108:至濕（小）氧質(zhì)量流量計(jì)X4109:至氫氣或氮?dú)浠旌蠚赓|(zhì)量流量 計(jì)X4110:至清洗小氮質(zhì)量流量計(jì)（注：后來有與擴(kuò)散小氮共用的）X4115:至備用氮?dú)赓|(zhì)量流量計(jì)X4119:至氧氣質(zhì)量流量計(jì)X4113:冷阱電源插座（220V）P4101-P4107: （9芯D型插頭，STEC質(zhì)量流量計(jì)） 腳號(hào)作用 6 流量設(shè)定 4COM2 流量檢測(cè)7 COM 3+ 15V5 15VP4101-P4107: （15芯D型

25、插頭，BROOKS質(zhì)量流量計(jì)） 腳號(hào)作用8流量設(shè)定1COM2流量檢測(cè)10和9COM5+ 15V6 15VP4101-P4107: （15芯D型插頭，七星華創(chuàng) 質(zhì)量流量計(jì)） 腳號(hào)作用4流量設(shè)定3COM7流量檢測(cè)6和8COM15+ 15V11 和 12-15V12CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所2.5計(jì)算機(jī)轉(zhuǎn)接端口定義(注：以下的接口定義適用于工控機(jī)后為25針和37針D型插頭組合的情況)PCL 812PG: CN1 (Analog Input)地址備注控制位 A/D 0 A.GND A/D 1 A.GND A/D 2 A.GND A/D 3 A.GND A/D 4 A.GNDA/D 5

26、A.GND A/D 6 A.GND A/D 7 A.GND A/D 8 A.GND A/D 9I/O 腳 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19出入線X1119 (25) 1 14 2 15 3 16 4 17 5 18 6 19 7 20 8 21 9 22 10功能控制含義擴(kuò)散小氮流量檢測(cè)模擬地大氮流量檢測(cè)模擬地干氧流量檢測(cè)模擬地濕氧流量檢測(cè)模擬地氫氣流量檢測(cè)模擬地清洗小氮流量檢測(cè)模擬地?cái)U(kuò)散小氮源瓶壓力檢測(cè)模擬地清洗小氮源瓶壓力檢測(cè) 模擬地A

27、/D備用一模擬地A/D備用二PCL-812PG: CN3 (Digital Output)地址備注控制位 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.GND +5VI/O 腳 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6出入線X1119 (25) 23 11 24 12 25 13功能控制含義推舟啟動(dòng)電平FREE推舟方向電平 DIR點(diǎn)火信號(hào)D.GND D.GND OPTOPCL-812PG: CN4 (Digital Input)地址控制位 D/I 4 D/I 5 D/I 6I/O 腳 5 6 75 6 7出入線功能X1120 (37)控制含義1推舟前限位開關(guān)20推舟

28、后限位開關(guān)2急停按鈕狀態(tài)13寓 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所備注D/I 7 D/I 8 D/I 9 D/I 10 D/I 11 D/I 12 D/I 13 D/I 14 D/I 15 D.GND D.GND +5V +12V8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 208 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 2021 3 22 4 23 5 24 6 25 7 26 8 27斷水狀態(tài)推舟極限保護(hù)開關(guān)爐體加熱狀態(tài)火未燃信號(hào)火已燃信號(hào)漏氫狀態(tài)檢測(cè)點(diǎn)火溫度 到信號(hào)超溫D/I 備用二 D.GND D.GND +5V +12VPCL 8

29、12PG: CN5 (Counter)地址備注控制位NoCTR0 OUT NoI/O 腳 9 10 119 10 11出入線功能X1120 (37)控制含義9 28推舟脈沖10PCL-726: CN1 (Digital Output)地址備注控制位 D/O 0 D/O 1 D/O 2 D/O 3 D/O 4 D/O 5 D/O 6 D/O 7 D/O 8 D/O 9 D/O 10D/O 11 D/O 12 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.DNG +5V +12VI/O 腳 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19

30、20出入線功能控制含義擴(kuò)散小氮電磁閥 大氮電磁閥 干氧電磁閥 濕氧電磁閥 氫氣電磁閥 清洗小氮電磁閥D/O備用一 D/O備用二設(shè)備異常指示燈D/O備用四D/O備用五工藝指示燈短路指示燈D/O備用三出舟 音樂提示 凈化風(fēng)機(jī)D.GND D.DNG +5V +12V14CETC(中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所PCL726: CN3 (D/A Output)地址備注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2#A D/A 3# VI/O 腳 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入線 X111

31、3 X1120 (37) 5 29 6 11 7 30 8 12 9 31 10 13 11 32 12 14 13 33功能控制含義擴(kuò)散小氮流量設(shè)置模擬地大氮流量設(shè)置干氧流量設(shè)置PCL-726: CN4 (D/A Output)地址 Base+6, 7Base+8, 9Base+10, 11 備注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5#A D/A 6# VI/O 腳 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入線 X1114 X1120 (37) 1 15 2 34 3 16 4 35 5 1

32、7 6 36 7 18 8 37 9 19功能控制含義濕氧流量設(shè)置模擬地氫氣流量設(shè)置清洗小氮流量設(shè)置(注：以下的接口定義適用于工控機(jī)后為 25針和25針D型插頭組合的情況)PCL-726 6 通道 D/A 板 基址:2C0H CN1出入線功能地址控制位I/O腳X1112-I X1112-O 控制含義Base+13 DO0 1 1 1 擴(kuò)散小 N2 閥 Base+13 DO1 2 2 2大 N2 閥 Base+13 DO2 3 3 3 干（大）O2 閥 Base+13 DO3 4 4 4濕（小）O2 閥 Base+13 DO4 5 5 5 H2閥 Base+13 DO5 6 6 6清洗小 N2

33、閥 Base+13 DO6 7 7 7冷阱開 Base+13 DO7 8 8 8濕 氧開 Base+12 DO8 9 9 9擴(kuò)散小 N2后閥 Base+12 DO9 10 10 10® （小）O2后閥 Base+12 DO10 11 11 11 清洗小 N2 后閥 Base+12 DO11 12 12 12X藝指示燈 15皂 CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所Base+12 Base+12 Base+12 Base+12備注DO12 DO13 DO14 DO15 D. GND D. GND +5V +12V13 14 15 16 17 18 19 2013 14 15 16

34、17 18 19 2013熱偶短路報(bào)警14散熱風(fēng)扇15出舟音樂提示16凈化風(fēng)機(jī)啟動(dòng)17 18 19 20使用20芯扁平電纜連接到固態(tài)繼電器板PCL-726 6 通道 D/A 板 基址:2C0H CN3地址 Base+0, 1Base+2, 3Base+4, 5備注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2#A D/A 3# VI/O 腳 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入線 功 能X1113 X1119 （25）控制含義5 1擴(kuò)散小N2流量設(shè)置6 14 7 2 8 15 93大N2

35、流量設(shè)置10 16 11 4 12 17模擬地13 5干（大）O2流量設(shè)置X1119共有9根線連接PCL-726:CN3PCL-726 6 通道 D/A 板 基址:2C0H CN4地址 Base+6, 7Base+8, 9Base+10, 11 備注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5#A D/A 6#I/O 腳 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入線 X1114 X1119 （25） 1 18 2 6 3 19 4 7 5 20 6 7 8 9 22功能控制含義濕（小）O2流量設(shè)置模

36、擬地H2流量設(shè)置清洗小N2流量設(shè)置（詳見注一）X1119共有5根線連接PCL-726:CN4PCL-812PG 12通道 A/D 板 基址:220H CN1地址 Base+4, 5Base+4, 5控制位 A/D 0# A . GND A/D 1# A . GNDI/O 腳 1 2 3 2出入線 X1115 X1119 （25） 1 8 2 21 3 9 22功能控制含義擴(kuò)散小N2流量檢測(cè)模擬地大N2流量檢測(cè)連接清洗小N2流量設(shè)置（詳見注一）16CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所Base+4, 5 A/D 2# 5 5 10 干（大）O2 流量檢測(cè)A. GND 2 2 23Base+4

37、, 5 A/D 3# 7 7 11 濕（小）O2 流量檢測(cè)A. GND 2 2 24Base+4, 5 A/D 4# 9 9 12 H2 流量檢測(cè)A. GND 2 2 25Base+4, 5 A/D 5# 11 11 13清洗小N2流量檢測(cè) 備注X1119共有11根線連接PCL-812PG:CN1注一：清洗小N2流量設(shè)置的引出 線為X1119的22腳，連接時(shí)先制作一根15芯的扁平電纜與X1119的18、6、 19、7、20這五個(gè)腳構(gòu)成一個(gè) 20芯電纜連接至PCL-726:CN4,然后剝出PCL-726CN4的第9腳。PCL-812PG:CN1使用11芯電纜引出后剝出 X1119的第22腳。最后

38、使用兩芯對(duì)接插頭連接剝出的兩根線。PCL-812PG 12通道 A/D 板 基址:220H CN3 地址Base+14Base+14Base+14Base+14Base+14Base+14備注控制位 D/O 10 D/O 11 D/O 12 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D . GND D . GND +5V +12V I/O 腳 11 12 13 14 15 16 17 18 19 2M入線功能 X1116 X1120 (25)控制含 義11 1點(diǎn)火信號(hào)12 14 13 2 DIR方向電平14 15 15 3 FREE啟動(dòng)電平16 16 17 4數(shù) 字地 18 17 19 5 O

39、PTO 20 18 X112帆有 10 根線連接 PCL-812PG:CN3 PCL-812PG 12通道A/D板 基址:220H CN4地址Base+7Base+7Base+7Base+7Base+7Base+7Base+7Base+7備注控制位 D/I 8 D/I 9 D/I 10 D/I 11 D/I 12 D/I 13 D/I 14 D/I 15 D . GNDD. GND +5V +12V I/O 腳 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 2CtB入線 功能 X1117 X1120 (25)控制含義9 6點(diǎn)火溫度到10 19前限位11 7火已燃12 20后限

40、位13 8 火未燃14 21 15 9氫氣泄漏報(bào)警16 22 17 10 18 23 19 11 20 24 X1120ft有12根線 連接 PCL-812PG:CN417皂 CETC|中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所PCL-812PG 12通道 A/D 板 基址:220H CN5 地址Base+0備注控制位I/O腳 出入線 功能X1118 X1120 (25)控制含義9 12 10 25 CP(永沖輸出) 11 13 X1120共有 3 根線連接 PCL-812PG:CN5No 9 CTR0 OUT 10 No 11 X1*11 : SC-485C RS232/RS422/RS4851訊轉(zhuǎn)

41、換器T/R+接RKC溫控儀的T/R+ , T/R-接RKC溫控儀的T/R-3.故障判別與維修3.1 溫度控制系統(tǒng)3.1.1 溫控儀上顯示oooo這種情況是溫控儀的溫度輸入檢測(cè)熱電偶開路的表示。將溫控儀斷電，用萬用表 的100。檔直接測(cè)量溫控儀的補(bǔ)償導(dǎo)線接入腳，正常情況下，該值應(yīng)為零。如果 測(cè)得值基本為零，說明溫控儀的板卡與外接端子接觸不良或溫控儀有故障；如果 測(cè)得值為無窮大，說明外線路有開路的地方，應(yīng)從以下幾個(gè)方面進(jìn)行檢查 ： 1、檢查爐體上對(duì)應(yīng)溫控儀的熱電偶是否斷開。2、檢查該熱電偶與二芯轉(zhuǎn)接座的壓接螺釘是否接觸良好。3、檢查該熱電偶二芯轉(zhuǎn)接座另一側(cè)連接的補(bǔ)償導(dǎo)線與轉(zhuǎn)接座是否接觸良好。4、檢

42、查溫控儀背后與補(bǔ)償導(dǎo)線的壓接螺釘是否接觸良好。5、檢查熱電偶及補(bǔ)償導(dǎo)線的壓接端頭是否有松動(dòng)接觸不良之處。6、檢查補(bǔ)償導(dǎo)線是否有中間斷線的地方。3.1.2 爐子不能升溫爐子不能升溫，主要與溫度控制部件及加熱功率控制部件有關(guān)，可以從以下幾方 面進(jìn)行檢查：1、檢查電控柜面板上的加熱開按鈕上的指示燈是否亮。如果不亮，說明該按鈕 未按下。2、如果按下該按鈕后其內(nèi)帶的指示燈仍不亮，則應(yīng)檢查功率轉(zhuǎn)接板上交流接觸 器線包是否有220V電壓，如果沒有，應(yīng)檢查各對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)接航空插頭是否有接觸不 良或斷線的地方。3、檢查控制柜下架轉(zhuǎn)接板上對(duì)應(yīng)層的保護(hù)繼電器與座子是否接觸良好。18（戛 CETC|中國電子科技集團(tuán)公司第四

43、十八研究所4、檢查對(duì)應(yīng)的保護(hù)溫控儀是否處于超溫保護(hù)狀態(tài)。5、如果指示燈亮，交流接觸器的輸出端的線間電壓也有 380V,則應(yīng)檢查100A 的保險(xiǎn)是否燒斷。6、檢查雙向可控硅是否開路。7、檢查爐體的爐絲是否燒斷。8、檢查溫控儀是否有控制信號(hào)輸出（正常升溫或恒溫情況下，控制輸出腳的電 壓值在310V之間）。9、如果溫控儀沒有控制信號(hào)輸出，則是溫控儀設(shè)置錯(cuò)誤或溫控儀故障。10 .如果有輸出，則檢查觸發(fā)器上是否有控制信號(hào)輸入，如果沒有，則應(yīng)檢查對(duì)應(yīng) 轉(zhuǎn)接航空插頭是否有接觸不良或斷線的地方。11 .檢查可控硅觸發(fā)器是否有+15V電源。12 .檢查可控硅觸發(fā)器上保險(xiǎn)是否燒斷。13 .自動(dòng)運(yùn)行時(shí)，如果不能根據(jù)

44、編程要求從當(dāng)前已經(jīng)恒定的溫度下按斜率升高或降低至某一新的溫度值，則通常是計(jì)算機(jī)與溫控儀通訊存在故障，應(yīng)檢查 485/232 通訊轉(zhuǎn)換器、相關(guān)聯(lián)轉(zhuǎn)接插頭、轉(zhuǎn)接線以及溫控儀設(shè)置等。3.1.3面板上的超溫指示燈亮超溫指示燈亮，保護(hù)系統(tǒng)跳閘報(bào)警，說明溫度控制系統(tǒng)出現(xiàn)了超溫。以下幾種情 況會(huì)導(dǎo)致此種現(xiàn)象的發(fā)生：1、溫控儀或者溫度保護(hù)儀設(shè)置的溫度保護(hù)值低于使用溫度值。2、熱電偶接觸不良或熱電偶開路。3、補(bǔ)償導(dǎo)線接觸不良或補(bǔ)償導(dǎo)線斷路。4、可控硅擊穿短路。5、熱電偶短路。6、補(bǔ)償導(dǎo)線短路。7、可控硅觸發(fā)器輸出擊穿短路。8、溫控儀故障。3.1.4 爐溫失控爐溫失控通常是溫度控制系統(tǒng)的檢測(cè)或控制器件出現(xiàn)了故障，

45、導(dǎo)致系統(tǒng)無法實(shí)現(xiàn) 對(duì)溫度的控制，此時(shí)，溫度不能保持恒定，如果不手動(dòng)關(guān)加熱，爐膛內(nèi)的溫度將 會(huì)一直上升，直至超過設(shè)定的溫度保護(hù)值而自動(dòng)跳閘并發(fā)出超溫報(bào)警。引起這種 故障的原因有以下幾種可能：19寓CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所1、雙向可控硅擊穿短路。2、熱電偶短路。3、補(bǔ)償導(dǎo)線短路。4、熱電偶+、-極接反。5、補(bǔ)償導(dǎo)線+、-極接反。6、可控硅觸發(fā)器輸出擊穿短路。7、溫控儀故障。3.1.5 面板上的短路指示燈亮短路指示燈亮，保護(hù)系統(tǒng)跳閘報(bào)警，說明控溫系統(tǒng)的瞬間溫度變化已達(dá)20c以上。有三種情況能引起此種報(bào)警現(xiàn)象的發(fā)生：1、溫度監(jiān)測(cè)器件出現(xiàn)了短路。2、 在拉恒溫區(qū)時(shí)，人為對(duì)溫控儀的修正值

46、改動(dòng)過大（一次改動(dòng) >302） 。 3、在進(jìn)出 舟的過程中，計(jì)算機(jī)由于受外界信號(hào)或電源網(wǎng)絡(luò)的干擾偶爾出現(xiàn)短路”誤報(bào)警，此種情況較少見，也無需修復(fù)，重新啟動(dòng) 加熱開”即可。1、2、兩種情況從以下 方面檢查：1、檢查熱電偶是否短路。2、檢查補(bǔ)償導(dǎo)線是否短路。3、拉恒溫區(qū)時(shí)，溫度補(bǔ)償修正值是否一次修改超過 20Co （首次拉恒溫區(qū)時(shí)， 偏差值的修正會(huì)在20c以上，此時(shí)只需分多次修改即可避免報(bào)警）。3.2自動(dòng)推拉舟系統(tǒng)3.2.1 不能自動(dòng)進(jìn)出舟引起此種故障的原因有以下幾種可能：1、未給 舟速度”或舟方向”賦值。2、面板上的 急停”按鈕處于按下位置。3、導(dǎo)軌上的極限開關(guān)被接通，導(dǎo)致自動(dòng)運(yùn)行不起作用

47、。此時(shí)，需要用手反轉(zhuǎn)絲 杠兩、三圈，使系統(tǒng)退出極限保護(hù)狀態(tài)后，方可恢復(fù)自動(dòng)運(yùn)行（新生產(chǎn)的擴(kuò)散爐在電控柜底層的轉(zhuǎn)接板上，各層均對(duì)應(yīng)有一個(gè)小鈕子開關(guān)，將該開關(guān)撥到斷開的 位置，即可使用計(jì)算機(jī)自動(dòng)進(jìn)退舟；故障排除后，應(yīng)將該開關(guān)撥回原來的位置， 否則極限保護(hù)不起作用。）；系統(tǒng)恢復(fù)正常后，應(yīng)檢查導(dǎo)軌的限位開關(guān)是否完好、限位開關(guān)是否先于極限開關(guān)接通、限位開關(guān)與推舟座上的碰塊接觸后是否確已接 通。4、限位開關(guān)未復(fù)位或損壞。5、步進(jìn)電機(jī)電源保險(xiǎn)絲燒斷。6、工控計(jì)算機(jī)PCL-812PG板卡故障。20CETC中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所7、工控計(jì)算機(jī)至電控柜轉(zhuǎn)接板的轉(zhuǎn)接插頭接觸不良。8、工控計(jì)算機(jī)至電控柜轉(zhuǎn)接板的轉(zhuǎn)接線斷。9、電控柜轉(zhuǎn)接板至步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)接插頭接觸不良。10 .電控柜轉(zhuǎn)接板至步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)接線斷。11 .步進(jìn)電機(jī)電源故障。12 .步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器故障。13 .步進(jìn)電機(jī)故障。14 .計(jì)算機(jī)軟件故障。3.2.2不能自動(dòng)停舟不能自動(dòng)停舟有以下幾種原因：1、限位開關(guān)離推舟座的金屬碰塊太遠(yuǎn)。2、限位開關(guān)損壞。3、工控計(jì)算機(jī)PCL-812PG板卡故障。4、相關(guān)的轉(zhuǎn)接插頭或轉(zhuǎn)接線有斷路的地方。5、限位開關(guān)上