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陀螺儀發展趨勢主講教師：《無人機傳感器技術》MEMS陀螺儀1發展趨勢2目錄MEMS陀螺儀01MEMS陀螺儀1.1概述依賴于相互正交的振動和轉動引起的交變科里奧利力。集機械元素、微型傳感器、微型執行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體。將旋轉物體的角速度轉換成與角速度成正比的直流電壓信號。通過摻雜技術、光刻技術、腐蝕技術、LIGA技術、封裝技術等批量生產。MEMS陀螺儀2.1種類及特性可靠性好，工作壽命超過10萬小時，能承受1000g的沖擊測量范圍大體積小、重量輕，其邊長都小于1mm，器件核心的重量僅為1.2mg成本低√√√√主要特點發展趨勢02發展趨勢2.1氦-氖環形激光陀螺儀優點：無機械轉子，結構簡單（少于20個部件）抗振動性能好啟動快可靠性高數字輸出發展趨勢2.1氦-氖環形激光陀螺儀基于氦-氖環形激光陀螺儀的慣性導航系統已經廣泛應用在航空和航海導航、戰略導彈的導航、制導與控制領域，成為主要的高性能陀螺儀之一。發展趨勢2.2光纖陀螺儀目前，最為常見的光纖陀螺儀是相敏光纖陀螺儀，通過測量在一個光纖線圈中的兩束反向傳播光束的相移以敏感載體轉動，從而計算出其角速率。發展趨勢2.2光纖陀螺儀光纖陀螺儀的精度主要取決于其采用的光纖種類和光電檢測系統，偏值一般處于0.001度/時-0.0002度/時之間。廣泛應用于魚雷、戰術導彈、潛艇和航天器等。發展趨勢2.3集成光學陀螺儀將幾毫米直徑的集成環形腔激光器、光電檢測電路都集成在同一芯片上，作為集成光學陀螺儀的敏感元件。減小質量和尺寸，降低成本和功耗，更好地控

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