標準解讀

《T/CEMIA 033-2023 半導體制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃爐管》標準針對半導體行業中使用的石英玻璃爐管設定了具體的技術要求和測試方法。該標準適用于直徑為8英寸（約200毫米）及12英寸（約300毫米）的爐管，這些爐管主要用于半導體材料的熱處理過程。

標準中詳細規定了石英玻璃爐管應具備的物理性能、化學穩定性以及尺寸精度等關鍵指標。對于物理性能而言，包括但不限于抗熱震性、耐高溫性等；化學穩定性方面，則強調了在特定條件下對酸堿腐蝕的抵抗能力；而尺寸精度則確保了爐管能夠精確地適應不同型號的半導體生產設備。此外，還定義了一系列檢測方法來驗證上述特性的達標情況，比如通過特定條件下的加熱冷卻循環測試來評估其抗熱震性，或是采用化學試劑浸泡實驗來考察材料的耐蝕性。

該標準還特別指出了生產過程中需要注意的安全事項與環境保護要求，旨在促進綠色制造的同時保障操作人員健康。同時，對于產品的標識、包裝、運輸和儲存也給出了指導性意見，以保證產品從出廠到用戶手中的整個流程中都能保持良好的狀態。


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  • 2023-09-08 實施
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文檔簡介

ICS31030

CCSL.90

團體標準

T/CEMIA033—2023

半導體制程8英寸200mm

()

12英寸300mm用石英玻璃爐管

()

Quartzglasstubefor8in12inSemiconductorProcess

2023-06-08發布2023-09-08實施

中國電子材料行業協會發布

中國標準出版社出版

T/CEMIA033—2023

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國電子材料行業協會提出并歸口

。

本文件起草單位上海強華實業股份有限公司北京北方華創微電子裝備有限公司北方集成電路

:、、

技術創新中心北京有限公司北京凱德石英股份有限公司中建材衢州金格蘭石英有限公司

()、、。

本文件主要起草人藍呈呂紅兵張婷婷余韋華周文華周韋軍李軍竹蘆英楊慧萍曹永友

:、、、、、、、、、、

張忠恕王友軍

、。

Ⅰ

T/CEMIA033—2023

半導體制程8英寸200mm

()

12英寸300mm用石英玻璃爐管

()

1范圍

本文件規定了半導體制程英寸英寸用石英玻璃爐管的術語和定義分類

8(200mm)12(300mm),

和產品結構技術要求試驗方法檢驗規則標志包裝貯存和運輸

,,,,、、。

本文件適用于半導體擴散工藝制程英寸英寸用石英玻璃爐管制品包含

8(200mm)12(300mm),

石英外管石英內管石英工藝管及石英雙層管以下簡稱石英玻璃爐管不適用于及以下半

、、(“”),14nm

導體制程用石英玻璃爐管

。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

石英玻璃化學成分分析方法

GB/T3284

石英玻璃中羥基含量檢驗方法

GB/T12442

石英玻璃術語

JC/T2205

潔凈室及相關受控環境第部分空氣潔凈度的分級

ISO14644-11:(Cleanroomsandassociated

controlledenvironments—Part1:Classificationofaircleanlinessbyparticleconcentration)

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

JC/T2205。

31

.

氣泡bubble

石英玻璃管內壁的圓形橢圓形空穴

、。

來源有修改

[:JC/T2205—2014,4.1,]

32

.

破皮氣泡openbubble

暴露在石英玻璃管內或外表面的開口氣泡

。

來源有修改

[:JC/T2205—2014,4.2,]

33

.

氣線airline

石英玻璃管壁內或表面平行于管長方向的線狀梭狀空穴

、。

來源有修改

[:JC/T2205—201

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