集成電路封裝技術前言第一章電子封裝工程概述第二章封裝工藝流程第三章厚薄膜技術集成電路封裝技術一、微電子封裝的作用和意義1、從與人們日常生活直接相關的事說起——著裝前言隨著科技的進步和社會文明程度的提高，服裝的種類、式樣、所用的材料、制作工藝都在不斷的進步，所起的作用不僅限于御寒和美觀上。（1）電氣連接（2）物理保護（3）外場屏蔽（4）應力緩和（5）散熱防潮（6）尺寸過渡（7）規格化和標準化。微電子封裝的作用微電子封裝業地位不斷提高的有以下幾個原因：1、電子設備迅速輕、薄、短小化。

個人便攜化、高速度、數字化、高功能、大容量、低價格已成為這類電子設備的發展目標。2、集成電路芯片性能的飛速提高。對微電子封裝密度提出了更高的要求。（1）存儲器（DRAM）容量大致按摩爾定律以3年4倍的速度增加。（2）邏輯元件(MPU)特征尺寸越來越小（3）MPU的時鐘頻率不斷提高（4）每個芯片I/O端子數不斷提高（5）單芯片功耗不斷增加這種高要求包括：封裝引腳數越來越多；布線節距越來越小；封裝厚度越來越薄；封裝體在基板上所占面積越來越大；需要采用低介電常數、高熱導基板等。目前，微電子產業已演變為設計、制造和封裝三個相對獨立的產業。與前2者相比，電子封裝涉及的范圍廣，帶動的基礎產業多，特別是與之相關的基礎材料更是“硬中之硬”，亟待在我國迅速發展。目前，電子封裝已成為整個微電子產業的瓶頸，在全世界范圍內，電子信息產業的競爭從某種意義上說講主要體現在電子封裝上。思考題：

為什么說電子信息產業的競爭從某種意義上說講主要體現在電子封裝上。電子封裝的發展過程第一章電子封裝工程概述在半導體器件制作過程中，有前工程和后工程之分二者以硅圓片切分成芯片為界程，在此之前為前工程，在此之后為后工程。所謂前工程是從整塊硅圓片入手，經過多次重復的制膜、氧化、擴散，包括照相制版和光刻等工序，制成三極管、集成電路等半導體元件及電極等，開發材料的電子性能，以實現所要求的元器件特性。所謂后工程是從硅圓片切分好的一個一個的芯片入手，進行裝片、固定、鍵合連接、塑料灌封、引線接線端子、按印檢查等工序，以確保元器件的可靠性并與外電路連接。第一章電子封裝工程概述1.1.1封裝工程定義：狹義:利用膜技術及微細加工技術，將芯片及其他要素在框架或基板上布置、粘貼固定及連接，引出接線端子并通過可塑性絕緣介質灌封固定，構成整體立體結構的工藝。廣義：將封裝體與基板連接固定，裝配成完整的系統或電子設備，以確保整個系統綜合性能的工程。1.1.2范圍

微電子封裝屬于復雜的系統工程第一章電子封裝工程概述1.2封裝技術1.2.1封裝工程的技術層次第一章電子封裝工程概述層次1它是指半導體集成電路元件（芯片）。芯片由半導體廠商提供，分二類，一類系列標準芯片，另一類是針對系統用戶的專用芯片。由于芯片為廠家提供，如何確保芯片質量就成為關鍵問題。將其列為1個層次是指集成電路元器件間的連線工藝。層次2層次2單芯片封裝和多芯片組件（MCM:multichipmodules）二大類。前者是對單個芯片進行封裝；后者是將多個芯片裝載在陶瓷等多層基板上，進行氣密封裝，構成MCM。1.2.1封裝工程的技術層次層次3它是指構成板或卡的裝配工序。將多個完成層次2的單芯片封裝和MCM，實裝在PCB板等多層基板上，基板周邊設有插接端子，用于與母板及其他板或卡的電氣連接。層次4它稱為單元組裝。將多個完成層次3的板或卡，通過其上的插接端子，搭載在稱為母板的大型PCB板上，構成單元組件。層次5它多個單元構成架，單元與單元間用布線或電纜連接。層次6即總裝。將多個架并排，架與架之間用布線或電纜連接，由此構成大規模電子設備。1.2.1封裝工程的技術層次1.2.2封裝的分類第一章電子封裝工程概述金屬封裝陶瓷封裝金屬-陶瓷封裝塑料封裝按封裝材料分類金屬封裝我國1956年研制出第一只晶體管，便開始了金屬封裝的歷史，1965年研制出第一塊實用集成電路，更促進了金屬封裝的歷史。它的基本工藝為金屬-玻璃封接工藝。該種封裝精度高、尺寸嚴格、金屬零件以沖、擠為主，便于大量生產，而且價格低廉、性能優良、芯片放置容易，應用靈活，因此大量用于晶體管和混合集成電路，如震蕩器、放大器、混頻器、鑒頻鑒相器等產品。此外，許多微封裝電路和多芯片組件也采用金屬封裝。采用金屬封裝的企業有10家。年生產能力10億只，品種達幾千種。（金屬-陶瓷封裝圖）1.2.2封裝的分類陶瓷封裝這種封裝熱性質穩定，熱傳導性能優良，可靠性高，主要用于集成電路的封裝。傳統產品雙列直插封裝（DIP,dualin-linepakage）和扁平封裝（FP,flatpackage）。DIP封裝已完全系列化，引線數為4-64，引線節距為2.54mm。目前發展了無引線片式載體（LCCC,leadlessceramicchipcarrier）封裝技術，以適應高密度封裝的要求。1.2.2封裝的分類塑料封裝開始于塑料雙列直插外殼（PDIP,plasticDIP）它的基本工藝是：芯片-減薄-劃片-粘片-鍵合-塑封-去毛刺-去筋-分離-打彎成形-測試。塑料封裝由于其成本低廉、工藝簡單，并適應于大批量生產，因此具有極強的生命力，自誕生以起發展很快，在封裝中份額越來越大。1.2.2封裝的分類80年代末期，開發了：塑料四邊引線扁平封裝PQFP,plasticquadflatpackage塑料小外形封裝PSOP,plasticsmalloutlinepacage塑料有引線片式載體PLCC,plasticleadedchipcarrer90年代相繼開發了：帶測試盤的塑料四邊引線扁平封裝TPQFP,testpadQFP薄體小外形封裝TSOP,thinsmallout-linepackage

隨著封裝技術的進步，引線節距和封裝厚度不斷地減小引線節距從2.54mm(PDIP)降至0.65mm(PQFP)封裝厚度從3.6mm(PDIP)降至2.0mm(PQFP)和1.4mm(TPQFP)1.2.3封裝技術與封裝材料第一章電子封裝工程概述芯片封裝工藝流程厚膜/薄膜技術本課程所涉及的工藝技術焊接材料印制電路板印制電路板元器件與電路板連接封膠材料與技術陶瓷封接氣密性封裝封裝可靠性工程封裝過程中的缺陷分析1.3.微電子封裝技術的歷史和發展趨勢1.3.1

20世紀電子封裝技術發展的回顧第一章電子封裝工程概述1.3.2發展趨勢2、封裝技術領域中的重大變革第一章電子封裝工程概述第一次轉變2、封裝技術領域中的重大變革(1)從插入式到表面貼裝(第一次變革)

QFP(quadflatpackage)表面貼裝

PGA(pingridarray)(2)從四邊引腳的QFP到平面陣列表面貼裝(第二次變革)球柵陣列BGA(ballgridarray)第一章電子封裝工程概述由于BGA的端子采用平面陣列（柵陣）布置，故與其他實裝技術相比，顯示出下述的優越性：①與現用的QFP相比，可實現小型、多端子化（實裝密度高），400端子以上不太困難。②由于熔融焊料的表面張力作用，具有自對準效果，因此容易實現多端子一次回流焊的表面實裝，因而它是很理想的表面實裝結構。③雖然封裝價格比QFP高，但由于實裝可靠，因實裝不良造成的返修價格幾乎為零，因此，按總的封裝價格相比，BGA占優勢。④與QFP相比，實裝操作簡單，在現有的實裝生產線（具有端子間距0.65mm以上的實裝能力）即可進行生產。需要附加設備投資和人員培訓投資很低。東南亞等裝配工廠即可低價格裝配高性能微機。BGA的優點：封裝的第三次變革第一章電子封裝工程概述封裝的發展趨勢已初見端倪。（1）高性能CSP封裝

以其超小型、輕重量化為特色，如果能在高速、多功能低價格兩個方面兼得，CSP在LSI封裝中將會迅速得到普及。（2）以芯片疊層式封裝為代表的三維封裝

三維立體封裝包括封裝層次的三維封裝、芯片層次的三維封裝和硅圓片層次的三維封裝等三種。（3）全硅圓片型封裝

其特點是在完成擴散工序的硅圓片上進行封裝布線、布置引線端子、貼附焊球、完成封裝，最后再切分一個一個的封裝件。（4）球形半導體

涉及到半導體前工程、后工程等許多基本工序的變革，能否在技術上突破并發展為實用的封裝形式，還要經過實踐檢驗。第一章電子封裝工程概述1.3.3國內封裝業狀況我國封裝產業現狀我國的微電子封裝產業經過近幾十年的發展已經具有一定的規模。初步形成由300個設計機構，8家骨干芯片企業，20余個較大規模封裝廠家，以及若干材料、設備研制單位所組成的IC產業發展基礎群體，在京、津、滬、蘇、浙、粵、閩地區呈現相對集中發展強勢。第一章電子封裝工程概述1.3.3國內封裝業狀況從企業的類型來看可以分為四大類

第一類是國際大廠整合組件制造商的封裝廠，如英特爾、超微、三星電子、摩托羅拉等外資企業15家。

第二類中外合資企業，如深圳賽意法微電子、上海紀元微科微電子、南通富士通微電子等11家。第三類是臺資封測廠，如同芯科技、宏盛科技等16家。第四類國內獨資企業，如長電科技、華旭電子、華潤華晶微電子等50多家。江蘇的蘇州、無錫、南通等地也建立了一批有規模、有實力的IC封裝企業，蘇州有三星電子、先進微器件AMD、日立半導體、雙勝等10家半導體封裝廠商，主要封裝類型為PLCC、QFP、TSOP、SOP、SOJ，向CSP封裝發展。無錫華晶集團封裝總廠無錫微電子科研中心南通富士通江陰的江蘇長電與相關高校聯合，成立IC封裝研究中心，開發BGA、CSP等高技術含量IC和片式元器件產品。寧波將建設半導體封裝園區華越在紹興建成華越芯片裝封裝廠從事封裝技術研究與培訓的科研院所我國微電子封裝研發能力單位研究內容中科院上海微系統與信息技術研究所封裝技術研究、培訓、可靠性試驗中科院電子學研究所半導體封裝技術研究、電鍍、培訓中科院微電子中心后封裝、形式TO-92/120/126/P8-241中國電子科技集團公司24研究所單片IC混合IC、微電路模塊；各類電路的陶瓷封裝中國電子科技集團公司47研究所ASIC、MCP/MPU接口電路、數字集成電路及封裝中國電子科技集團公司58研究所半導體集成電路設計、制造、封裝、測試、可靠性等研究與生產，封裝形式有DIP、LCC、SOP、QEP等中國航天時代電子公司771研究所單片機集成電路；混合集成電路及封裝濟南半導體研究所半導體體分立器件、集成電路、引線框架、半導體管殼及封裝技術航天時代電子公司研究院微電子技術研究部陶瓷封裝方面的技術研究從事外殼與特種器件封裝研究的科研院所我國微電子封裝研發能力單位研究內容中國電子科技集團公司13研究所微波器件、集成電路、組件、部件、系統、光電器件、光通訊電路、外殼及封裝技術中國電子科技集團公司55研究所微波器件、集成電路、光電器件、外殼及封裝技術中國電子科技集團公司44研究所光電技術及封裝技術中國電子科技集團公司43研究所混合集成電路、多芯片組件、金屬外殼、電子設備中國電子科技集團公司40研究所玻璃產品、金屬外殼及接插件中國電子科技集團公司26研究所壓電器件封裝技術中國航天集團607研究所微系統組裝、表面安裝技術青島半導體研究所混合電路封裝技術從事外殼與特種器件封裝研究我國微電子封裝研發能力單位研究內容中國電子科技集團公司45研究所半導體專用設備、封裝設備、測試設備等中國電子科技集團公司2研究所液晶顯示生產設備、清洗設備、封裝設備從事可靠性與標準化研究的研究所單位研究內容信息產業部4所封裝標準化研究信息產業部5所可靠性與環境試驗研究、檢測、認證、計量、培訓和網絡服務中國電子科技集團公司5