ICS7104050

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T30705—2014

微束分析電子探針顯微分析

波譜法實驗參數測定導則

Microbeamanalysis—Electronprobemicroanalysis—

Guidelinesforthedeterminationofexperimentalparametersfor

wavelengthdispersivespectroscopy

(ISO14594:2009,MOD)

2014-06-09發布2014-12-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30705—2014

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

縮略語

4……………………2

實驗參數

5…………………2

概要

5.1…………………2

入射電子束參數

5.2……………………2

波譜儀參數

5.3…………………………3

試樣參數

5.4……………4

測量步驟

6…………………4

概要

6.1…………………4

束流

6.2…………………4

譜峰測量參數

6.3………………………5

試樣參數

6.4……………7

實驗報告

7…………………7

附錄資料性附錄分析面積的估算方法

A()……………9

附錄資料性附錄分析深度的估算方法

B()……………11

附錄資料性附錄射線分析體積的蒙特卡羅模擬估算方法

C()X(MC)……………12

參考文獻

……………………15

GB/T30705—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用重新起草法修改采用微束分析電子探針顯微分析波譜法實驗參

ISO14594:2009《

數測定導則英文版

》()。

本標準與微束分析電子探針顯微分析波譜法實驗參數測定導則英文版

ISO14594:2009《》()

的主要技術差異

:

用代替

———GB/T27025:2008ISOGuide25:1990;

將第章中的項修改為的

———7ISOGuide25:199013.2GB/T27025—20085.10。

本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位中國科學院上海硅酸鹽研究所

:。

本標準主要起草人曾毅李香庭吳偉

:、、。

Ⅰ

GB/T30705—2014

微束分析電子探針顯微分析

波譜法實驗參數測定導則

1范圍

本標準規定了進行電子探針分析時的入射電子束波譜儀和試樣的實驗參數測定的一般原則并規

、,

定了束流束流密度死時間波長分辨率背底分析面積分析深度和分析體積的測定過程

、、、、、、。

本標準適用于垂直入射電子束對拋光試樣的分析對于其他實驗條件這些實驗參數只能作為

,,

參考

。

本標準不適用于能譜法

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測和校準實驗室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

分析面積analysisarea

能檢測到全部信號或者規定百分數信號的試樣表面的二維區域

。

32

.

分析深度analysisdepth

從試樣表面到作用體積底部的垂直距離經過該距離能檢測到全部信號或者規定百分數的信號

,