Hookup中CDA用不銹鋼管材及管件介紹主講:謝德華目錄不銹鋼簡介及分類管件與閥門加工工具及工法澄清及規范注意事項及常見缺失過濾器CDA之來源取之于大氣經壓縮機壓縮后除濕，再經過濾器或活性炭吸附去除粉塵及碳氫化合物以供給無塵室CDA。

CDASystem:空氣壓縮機 緩衡儲存槽 冷卻干燥機過濾器 CDA

CDA大宗氣體在半導體廠的用途CDA：

CDA主要供給FAB內氣動設備動力氣源及吹凈(purge)，LocalScrubber助燃。IA主要供給廠務系統氣動設備動力氣源及吹凈。N2：主要供給部分氣動設備氣源或供給吹凈、稀釋、惰性氣體環境及化學品輸送壓力來O2：供給ETCH制程氧化劑所需及CPCVD制程中供給氧化制程用，供給O3Generator所需之氧氣供應及其它制程所需。Ar：供給Sputter制程，離子濺鍍熱傳導介質，Chamber稀釋及惰性氣體環境。H2：供給爐管設備燃燒造成濕氧環境，POLY制程中做H2BAKE之用，W-PLUG制程中作為WF6之還原反應氣體及其它制程所需。He：供給化學品輸送壓力介質及制程芯片冷卻。

不銹鋼管鋼管是一種中空的長條鋼材，大量用作輸送流體的管道，如石油、天燃氣、水、煤氣、蒸氣等，另外，在抗彎、抗扭強度相同時，重量較輕，所以也廣泛用于制造機械零件和工程結構。也常用作生產各種常規武器、槍管、炮彈等。

鋼管的分類

鋼管分無縫鋼管和焊接鋼管（有縫管）兩大類。按斷面形狀又可分為圓管和異形管，廣泛應用的是圓形鋼管，但也有一些方形、矩形、半圓形、六角形、等邊三角形、八角形等異形鋼管。不銹鋼管材分類不銹鋼管依管材等級區分可分為EP、BA&AP,MP管材等級:AP：酸洗管(Annealtreatment&Passivation)MP:機械研磨處理(MechanicalPolish)BA：光輝燒鈍處理(BrightAnnealtreatment)EP：電解研磨處理(ElectroPolish)影響管子價格之因素為最重要之決定因素在表面處理之方法，其價格之高低順序EP＞BA＞MP>AP

一般BULKGAS（GN2、CDA、Ar、H2、O2），其中GN2、CDA選用BA級其余之BULKGAS及APECIALTYGAS皆用EP級之管材，材質為SUS316L，有時，業主亦因成本之考量GN2、CDA如用在PUMP之動力源，會考慮使用SUS304。BA&MPEP&EP製程介紹冷間加工colddraw機械研磨Mechanicalpolish光輝燒燉Brightannealing電解研磨Electropolish高精密洗淨HighPrecisionCleaningBApipeMPEPpipe管件電解研磨ElectropolishEPpipe不銹鋼的耐蝕性取決于鋼中所含的合金元素。鉻是使不銹鋼獲得耐蝕性的基本元素，當鋼中含鉻量達到12％左右時，鉻與腐蝕介質中的氧作用，在鋼表面形成一層很薄的氧化膜（自鈍化膜），可阻止鋼的基體進一步腐蝕。除鉻外，常用的合金元素還有鎳、鉬、鈦、鈮、銅、氮等，以滿足各種用途對不銹鋼組織和性能的要求。不銹鋼通常按基體組織分為：①鐵素體不銹鋼。含鉻12％～30％。其耐蝕性、韌性和可焊性隨含鉻量的增加而提高，耐氯化物應力腐蝕性能優于其他種類不銹鋼。②奧氏體不銹鋼。含鉻大于18％，還含有8％左右的鎳及少量鉬、鈦、氮等元素。綜合性能好，可耐多種介質腐蝕。③奧氏體-鐵素體雙相不銹鋼。兼有奧氏體和鐵素體不銹鋼的優點，并具有超塑性。④馬氏體不銹鋼。強度高，但塑性和可焊性較差。

不銹鋼材中各主要元素之作用說明：

碳：在金屬中為硬化元素。錳：能增加金屬硬化能及強度。矽：在於改善鋼材的衝擊抵抗性及延展性，是金屬冶煉中的除氧劑。磷與硫：金屬冶煉中是屬於不純物，如果含量多時會使鋼材延展性降低。鉻：在合金鋼中形成安定、硬化，耐磨損之碳化物，鉻在高溫時亦很安定。鎳：增強鋼材的低溫韌性及延展性，填加鎳元素亦可大大的改善腐蝕抵抗。鉬：主要用途在於改善高溫時的抵抗強度及潛變抵抗和改善鋼材的硬化能。鋁：主要目的在於控制鋼材組織晶粒之大小。氧、氫：燃燒與助然性氣體是金屬冶鍊中不可缺少之燃劑。

型號301—延展性好，用于成型產品。也可通過機械加工使其迅速硬化。焊接性好。抗磨性和疲勞強度優于304不銹鋼。

型號302—耐腐蝕性同304，由于含碳相對要高因而強度更好。

型號303—通過添加少量的硫、磷使其較304更易切削加工。

型號304—通用型號；即18/8不銹鋼。GB牌號為0Cr18Ni9。SUS304L

型號309—較之304有更好的耐溫性。

型號316—繼304之后，第二個得到最廣泛應用的鋼種，主要用于食品工業和外科手術器材，添加鉬元素使其獲得一種抗腐蝕的特殊結構。由于較之304其具有更好的抗氯化物腐蝕能力因而也作“船用鋼”來使用。SS316則通常用于核燃料回收裝置。18/10級不銹鋼通常也符合這個應用級別。SUS316L型號321—除了因為添加了鈦元素降低了材料焊縫銹蝕的風險之外其他性能類似304。

400系列—鐵素體和馬氏體不銹鋼

型號408—耐熱性好，弱抗腐蝕性，11%的Cr，8%的Ni。

型號409—最廉價的型號（英美），通常用作汽車排氣管，屬鐵素體不銹鋼（鉻鋼）。

型號410—馬氏體（高強度鉻鋼），耐磨性好，抗腐蝕性較差。

型號416—添加了硫改善了材料的加工性能。

型號420—“刃具級”馬氏體鋼，類似布氏高鉻鋼這種最早的不銹鋼。也用于外科手術刀具，可以做的非常光亮。

型號430—鐵素體不銹鋼，裝飾用，例如用于汽車飾品。良好的成型性，但耐溫性和抗腐蝕性要差。

型號440—高強度刃具鋼，含碳稍高，經過適當的熱處理后可以獲得較高屈服強度，硬度可以達到58HRC，屬于最硬的不銹鋼之列。最常見的應用例子就是“剃須刀片”。常用型號有三種：440A、440B、440C，另外還有440F（易加工型）。

500系列—耐熱鉻合金鋼。

600系列—馬氏體沉淀硬化不銹鋼。

型號630—最常用的沉淀硬化不銹鋼型號，通常也叫17-4；17%Cr，4%Ni。SUS304（18Cr-8Ni）材料特性

作為一種用途廣泛的鋼，具有良好的耐蝕性，耐熱性，低溫強度和機械特性。沖壓、彎曲等熱加工性好，無熱處理硬化現象（無磁性，使用溫度-196℃~800℃）SUS304L（18Cr-8Ni低碳）材料特性

作為低C的304鋼，在一般狀態下，其耐蝕性與304鋼相似，但在焊接后或者消除應力后，其抗晶界腐蝕能力優秀。在未進行熱處理的情況下，亦能保持良好的耐蝕性，一般在400以下使用（無磁性，使用溫度-196℃~800℃）不銹鋼檢測合金分析儀（專業）工作原理：采用X射線熒光（XRF）技術進行多元素分析分析元素：TiVCrMnFeCoNiCuZnZrNbMoAgPdSnHfTaWRePbBiSeSb應用范圍：各種高低合金鋼、不銹鋼、工具鋼、鉻/鉬鋼、鎳合金、鈷合金、鎳/鈷耐熱合金、鈦合金、銅合金、青銅、鋅合金、鎢合金等；可通過對其它合金元素的測定，實現對鋁、鎂輕合金的牌號鑒定。不銹鋼檢測不銹鋼化學成份檢測藥水（適用）不銹鋼檢測藥水實際是檢測不銹鋼內的鎳和鉬的含量,通過藥水中的化學物質跟不銹鋼中的鎳和鉬反應生成特定顏色的絡合物,從而得知不銹鋼的內鎳和鉬的大概含量.比如304的藥水,當被測的不銹鋼內的鎳大于8%時,就會顯示顏色,但因為316,310等材質的不銹鋼的鎳含量也大于8%,所以如果用304的藥水檢測310,316的不銹鋼也會顯示顏色,所以如果想在304.310.316里分辨,還要再用相應的藥水,另外,不銹鋼現場檢測藥水只能檢測不銹鋼內的鎳和鉬的含量,而不能檢測出不銹鋼中其它的化學成分的含量,比如鉻,所以如果想了解不銹鋼中的各個化學成分的精確數據,還得送到專業的檢測化驗室檢測!!!

將該分析測定夜滴一滴于鋼表面，用9V電池，正極搭鋼，負極搭測定液珠上面，通電氧化后呈紅色，則證明它的含鎳量≥7%，若不呈紅色則證明該不銹鋼中含鎳量小于7%

使用方法例：一般藥水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸銅等

TUPE和PIPE的主要區別

Tube管管壁較薄、一般采用管子外徑稱呼、以英寸（inch）作為計量單位，目前來說，常用的管徑為1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”等等，這是一種實際尺寸，可以直接由英寸和公制毫米換算，即1/4”=6.35mm；

但是作為Pipe管管壁較厚，一般會采用日制的A系列作為管徑表示方式，多少A只是一個系列的等級，不表示實際的內徑或外徑，如15A、50A和100A等等；外徑就分別為21.3mm、60.3mm和114mm，所以不可以直接對應換算。

不銹鋼管件與閥門一：所有管件按長短分有長徑和短徑：

1、長徑一般用于自動焊。

2、短徑一般用于手動焊.（長徑也可以用手動焊，但短徑不可以用來自動焊）。二：所有管件按接口方式可分為卡套式、焊接式、絲口式：

1、卡套式一般用于小管徑，（1/8”~~1/2”)2、焊接式一般用于中大管徑（1/2”~~12”)3、絲口式一般用于中管徑（1/2”~~2”)卡套式管件閥門的分類不銹鋼的施工二：主要連接的方式1：焊接式2：卡套式

3：絲口式一:施工機具介紹施工機具焊接式先拆卸一端封套，并連接氬氣。拆卸要焊接端封套，并沖吹干凈。焊接式連接后將一端之管帽鉆小孔使之成出氣端。焊接式開始點焊及全接口式的焊接。焊接注意事項1.電源a.使用前確認電壓b.使用220V的場合要確認結線。c.接地線要用熔接機單獨使用者。2.氬氣氬氣純度達99.999以上才予使用。原則上使用液化氬氣。熔接時氧化膜無法去除時要更換氣體。3.鎢Tungsten研磨時不能偏頗。產生熔接聯珠或蛇行是鎢研偏所致，要重磨。研磨時使用研磨專用機。若使用SUS304時，如為卡套接管則厚度需為SCH10S以上CDA潔淨管路材料規範一.管材、管件、閥件規格：1.CDA管材、管件材質為SUS304LAPS管內焊道需經清潔、脫脂＆洗淨及包裝，5S無縫(自動焊)。1.1材質基準SUS304L，JISG3459/ASTMA312GR，規範要求較嚴格者以規範為主。1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。1.3PARTICLE測定：≦5PCS/FT3大於(等於)0.3μｍ(10MIN)。1.4油份測定：MAX0.1㎎/FT2(禁油處理)1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形)1.6標記(MARK)：請註明如何標記。1.7尺寸：JISASIZE。1.8環境：無塵室包裝環境。1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。2.CDA閥件材質為SUS304LPTFEGASKET，三片式球塞閥，200A以下(含200A)使用對焊2.1操作壓力：0~10㎏/㎝2。2.2PARTICLE測定：≦5PCS/FT3大於(等於)0.3μｍ(10MIN)。2.3油份測定：MAX0.1㎎/FT2(禁油處理)2.4包裝：請註明如何包裝(防止管材變形)2.5標記(MARK)：請註明如何標記。2.6環境：無塵室包裝環境。3.廠牌：KUTZ、OHNO、HABONIM、IHARA。使用BallValve(禁油處理、進口品)。二.管材、管件、閥件均必須提供產地證明文件。1.VALVEOUTLETPURGEPORT一律為SWAGELOK型式含PLUG及GASKET。2.管線焊接前需檢測管內的含氧及水分以確保焊接品質，設備由承攬商自備。3.有關材料之檢驗費用一律由承攬商負責，業主不再另行支付相關費用。4.焊工需有合格之的證照。5.CDA管材(Pipe+Fitting)規格管徑PIPE100A以下原素材KOBE、SUMIKINSeamless(無縫)ColdDraw外表加工霧面,酸洗管內加工酸洗+脫脂+鈍化+精密洗淨Ra<0.4μm,Rmax<5μm(cutoff=0.25mm,length=1.25mm)供應商:KUZE、大甲、強新6.檢驗方式：檢查項目檢查標準抽樣標準目視檢查內部有刮傷判定為不良有變形判定為不良有毛邊判定為不良內部有水痕判定為不良每一支表面粗糙度＞100A：RA﹤0.4μMRMAX﹤5μM≦100A：RA﹤0.5μMRMAX﹤5μM每10支/一次一支油脂檢測﹤0.1㎎／FT2每200支/一次一支或不足200支者以一批/一次一支微粒測試大於等於0.3μMPARTICLE≦5PC/ft3每200支/一次一支或不足200支者以一批/一次一支離子溶出試驗0.5MΩ-CM每200支/一次一支或不足200支者以一批/一次一支白布測試白色之無塵布上不得有目視髒污每一支外徑公差壁厚公差<=200A+-1%,250A~+-1.5%<=200A+-10%,250A~+-10%管:10支測一支管件:10PCS測一個1工程材料進廠時程、數量另由業主規定。2業主有權清點承包商之材料，並請包商提報每週材料庫存表。3材料訂購接收到時，須知會業主會同抽檢。4每批材料均需附出廠証明、材質証明，於材料入廠時交予業主，並備份存檔備查。5材料到廠的處理：檢查包裝狀況，拆箱必須小心，以免傷到管材。將每批送貨單、出廠測試報告及相關証明文件彙整收集清楚交給業主。材料須包裝完整，兩邊加管帽，並分類存放於無污染處，業主可隨時做抽檢。6承包商必須備有專職材料倉管人員負責管理，熟悉Word、Excel，並能隨時提供即時材料庫存量備查。7各廠牌須符合業主之材料規範及PartNo.須先送審經奇美認可，點料時需會同業主人員進行驗收，確定規格及數量。8已入廠之管線及閥件非經業主同意，禁止攜出廠外。9存放於無塵室內之管材，須做好清潔工作及端面之包封。管子需存放在適當跨距之管架上，避免變形。材料接收的程序施工中應注意重要事項1、CDA管進無塵室時管外保護套應完好、兩邊管帽也一樣.2、焊接之前應做修邊，接口處理乾淨，管焊接好后接機臺前應進行吹掃、送氣時閥門應由小到大逐漸開啟,不要一下子打開.3、閥門采用對焊時，最好選用長徑閥門，防止由于過熱燒壞鐵氟龍，影響壽命.4、焊道不良、管路歪斜時，需切除重焊；不同尺寸之焊接需用標準大小管轉換焊接.5、SUS管路焊接時，管內須以氮氣或Ar做Purge。配管使用之砂輪片、鋼刷、銼刀等工具需與C.S.或鍍鋅材分開避免焊道污染

.6、直管：4米標準管4米以內不可有焊道或接頭，禁用兩段銜接，否則拆掉重焊，6米標準管亦同；所有預製完成之管件，從預製區移入無塵室過程中，開口端須加管帽防護，整支管件需外覆PVC布.7、保壓測試(Pressuretest):STEP1.測試壓力2kg/cm2,保壓時間2hr.STEP2.測試壓力需大於7kg/cm2,保壓時間需8hr.purge4hr以上.(送氣前cyclepurge5次以上).8.ＧＡＳ氣體標簽有左右方向，不能混用（只有箭頭方向正確，是不合規范的）。氣體標簽要貼正，貼牢管路標示貼紙其方向、字體、種類需正確不可馬虎了事。黏貼樣式依業主要求不同的管徑選擇不同尺寸的管路標示貼紙及粘貼距離。9.各式SWG及VCR接頭不可先行鎖緊，僅需稍加施力，以免破壞管材。管路施工，水平垂直誤差應小于5%，如有不符，即需重新施作。

10.彎管要用５倍或１０倍彎管器，如現場有特殊情況.不要隨意施工,禁止在焊道處作彎管動作。

11.附表則為管路支撐間距表。

NO

SIZE

DISTANCE1

<1/2＂

2M2

15A-50A

3M3

>50A

4M異常事件預防及處理

1.高架地板下方欲施工管路規劃在其它機臺下方，或常有無法施工的情形發生。預防措施:在看單一機臺施工圖面時，應確實將四周機臺分怖狀況及環境一并入考慮，以免占到附近機臺的盤面位置，上洞口，影響旁邊機臺的施工。施工人員必須了解各系統施工方式及制作之特性各種基礎座的形式，真空管路傾斜角度及路徑是否與基座沖突。自動焊接與手焊材料使用上差異與現場施工空間之影響。

2.施工初期現場環境常與圖面不符，造成和其它系統沖突。在Hookup初期，此種情形很難避免不發生。最好應施工前至現場確認圖面的正確性。同時必須建立與廠務，設備，制程及一次側信息的暢通管道，提高施工圖的正確性。

3.對于設備需求不了解，無法判斷業主給予的信息正確性，常發生規劃使用點不理想，造成路徑太遠或二次施工，浪費材料成本。設計人員與監工必須要有較強的專業知識，以判斷機臺資料的正確性與否。在會勘的時候與機臺裝機廠商多次確認與核對現場機臺與機臺需求表是否存在差異，沒有的話我們就施工；有差異的話，一定要盡可能確認后，再施工；盡量減少錯誤施工，反復施工的機會。CDA送氣程序

預製(prehook_up)機臺movein前10天開始預製.機臺movein前1天,,預製至機臺附近2M)機臺定位Hook_up機臺movein並定位後,製程工程師將接點標示清楚,二次配開始Hook_up與機臺點銜接.

保壓測試(Pressuretest)STEP1.測試壓力2kg/cm2,保壓時間2hr.STEP2.測試壓力需大於7kg/cm2,保壓時間需8hr.purge4hr以上.(送氣前cyclepurge5次以上)二次配點驗punch二次配完成後進行完工點檢(linecheck,焊道QC標籤,掛牌,流體標籤,support固定,測試報告…等)

送氣二次配、製程工程師會同承包商方可共同啟動閥門。

△P(kg/cm2)

△P(kg/cm2)

SCH5SIDV(m/s)Re@100mQ(slpm)Q(Nm3/hr)@100mx1.1Q(Nlpm)1/4"0.1712612.00025939.246.413935280.4010264.5643047.055328776.071743/8"0.29645712.00044901.713.0895131240.920113.676853.3984644227.947481/2"0.40236212.00060942.32.0713073443.7975225.194042.278438419.900733/4"0.65236212.00098807.621.10986561166.616466.227921.22085221103.798615A0.72440912.0001097200.97069731438.529381.66421.0677671361.070120A0.94094512.000142516.70.69600972427.0509137.78180.76561062296.363525A1.20866112.000183064.40.50735194004.6063227.33840.55808713788.973732A1.55118112.000234943.90.37102466595.9222374.44540.40812716240.757140A1.78346512.000270125.80.31172458719.2571494.98550.3428978249.758650A2.25196913.000369509.90.272793515060.426854.96880.300072814249.4865A2.83858315.000537419.20.271194527609.