中科科儀分子泵產品介紹

錢浩

0中科科儀分子泵產品介紹

錢浩0內容中科科儀分子泵發展歷程分子泵原理、結構分子泵應用及選型分子泵使用及維護1內容中科科儀分子泵發展歷程1分子泵大全

2分子泵大全21977年：研制成功國內第一臺立式F450渦輪分子泵，通過科學院鑒定。1983年：F110渦輪分子泵通過中科院鑒定，首批應用于正負電子對撞機。1986年：FF500復合型分子泵。1993年：F1500渦輪分子泵，F150檢漏儀用渦輪分子泵。2019年：

F3500渦輪分子泵。2000年：

FF620復合分子泵進入市場。一、中科科儀分子泵的發展歷程31977年：研制成功國內第一臺立式F450渦輪分子泵，通過科2019年：系列防腐蝕分子泵進入市場。2019年：FF1200復合分子泵進入市場。2019年：系列任意角度安裝分子泵進入市場。2019年：抗沖擊（整體渦輪轉子）分子泵。2019年：FF700任意角度安裝分子泵。2019年：FD-II電源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安裝分子泵。2019年：FF1800脂潤滑分子泵，1800磁懸浮分子泵樣機。一、中科科儀分子泵的發展歷程42019年：系列防腐蝕分子泵進入市場。一、中科科儀分子泵的二、分子泵原理、結構分子泵原理分子泵是一種動量型真空獲得設備，在分子流態下，氣體分子與高速運動的表面發生碰撞獲得一定方向的動量，從而使氣體分子得到逐級壓縮，最后被抽除。5二、分子泵原理、結構分子泵原理5二、分子泵原理、結構

分子泵結構6二、分子泵原理、結構分子泵結構6按抽氣特性結構分類渦輪分子泵渦輪級動、靜葉列復合型分子泵渦輪級+拖動級按使用特點分類風冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蝕性氣體二、分子泵原理、結構

分子泵結構7按抽氣特性結構分類二、分子泵原理、結構分子泵結構7按制造結構分類油潤滑脂潤滑磁懸浮二、分子泵原理、結構

分子泵結構8按制造結構分類二、分子泵原理、結構分子泵結構8精密的轉子制造精密的動、靜間隙配合高精度的軸系加工高精度軸承精密的整機平衡可靠的阻尼減振系統高效的變頻電機、冷卻系統二、分子泵原理、結構

分子泵結構9精密的轉子制造二、分子泵原理、結構分子泵結構9連續抽除氣體節省能源可獲得清潔的真空對被抽氣體無選擇性，對各種類氣體，抽速變化不大起停機時間短振動小，噪音低操作維護方便，免維護周期長復合型分子泵在較高壓強工作段仍有較大抽速三、分子泵應用及選型

分子泵特點10連續抽除氣體三、分子泵應用及選型分子泵特點10油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。脂潤滑分子泵：油脂量極小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環境。三、分子泵應用及選型

分子泵特點11油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。三復合型分子泵的特點在1Pa左右的高壓強工作段，與同類型的渦輪分子泵比較，有較大的抽速，有利于某些工藝過程。前級耐壓能力提高，可配某些類型的干泵，如膜片泵，可縮小前級泵的規格，節省投資。三、分子泵應用及選型12復合型分子泵的特點三、分子泵應用及選型12復合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應用及選型13復合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應用及選型13KYKY分子泵型號及意義F

F-×××/×××

□

特征代號（空、T、N、F、Z……）抽氣速率,L/s抽氣口通徑,mm復合代號分子泵代號三、分子泵應用及選型14KYKY分子泵型號及意義FF-×××/×××KYKY分子泵種類

渦輪泵按結構分復合泵油潤滑潤滑方式脂潤滑風冷冷卻方式風水兩用泵水冷普通泵功能防腐蝕泵分子泵系列FF160/620CF-100/150FF-250/1800FF-200/1200F-100/110FF-200/1300F-250/1500FF-250/1600F-160/500FF-400/3500FF-160/700三、分子泵應用及選型15KYKY分子泵種類渦輪泵分子泵性能參數、意義及測試抽速：分子泵入口氣體的體積流率三、分子泵應用及選型`16分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型`16分子泵性能參數、意義及測試抽速測量裝置三、分子泵應用及選型調節閥

G1,DL-7

G2,

DL-7

溫度計，T1

分子泵

前級泵溫度計，T2

17分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型調節閥G1,分子泵性能參數、意義及測試分子泵的極限壓強ISO5302標準中稱最低工作壓強分子泵加裝標準測試罩，經48小時烘烤，降溫48小時后，所測得的壓強值。

一般說來，分子泵的極限壓強范圍為：10-4Pa~10-9Pa三、分子泵應用及選型18分子泵性能參數、意義及測試分子泵的極限壓強三、分子泵應用及選極限壓強測量裝置極限壓強與入口法蘭形式、前級泵種類等有關

G1,真空計分子泵

前級泵溫度計，T2分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型19極限壓強測量裝置G1,真空計分子泵前級泵溫度計，T2分子分子泵的壓縮比分子泵加裝標準測試罩，在泵入口無氣載的情況下，所測得的分子泵出口、入口壓強之比。分子泵對大分子壓縮比比較大對小分子壓縮比比較小分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型20分子泵的壓縮比分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型分子泵壓縮比測量裝置

G2,真空計

調節閥

G1,真空計

分子泵

溫度計，T2

分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型前級泵21分子泵壓縮比測量裝置G2,真空計調節閥G1,真空計分最大入口壓強分子泵連續工作時所能承受的最高入口壓強取決于分子泵的冷卻條件，對于風冷一般小于0.1Pa；對于水冷，一般小于5Pa最大可持續前級壓強：分子泵連續工作的最高前級壓強，一般為十幾帕，或幾十帕。分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型22最大入口壓強分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型2分子泵性能參數、意義及測試其他技術參數

出入口法蘭形式、規格入口法蘭分LF和CF兩種，大小有110、160、200、250和400四種；出口法蘭為KF，大小有25、40、50和100四種建議前級泵規格

對于110/150L/s泵，建議采用2~4L前級

對于500~1000L/s泵，建議采用6~12L前級

對于

>1000L/s泵，建議采用>12L前級

冷卻條件風冷環境溫度<32℃水冷環境溫度32℃以上，水溫≤25℃三、分子泵應用及選型23分子泵性能參數、意義及測試其他技術參數三、分子泵應用及選型2分子泵的應用一般來講，分子泵用來獲得高，或超高真空。廣泛應用于：工業工藝過程（裝飾、ITO、PVD、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空爐排氣）儀器、設備科研、軍工裝備半導體工業三、分子泵應用及選型24分子泵的應用三、分子泵應用及選型24三、分子泵應用及選型25三、分子泵應用及選型25制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應用及選型26制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應用及選型26柔性太陽能電池設備三、分子泵應用及選型27柔性太陽能電池設備三、分子泵應用及選型27科研裝備三、分子泵應用及選型28科研裝備三、分子泵應用及選型28產品的生產與制造過程調試裝配入庫平衡調試設計加工檢測KYKY執行嚴格的生產流程，保證產品的高品質加工生產流程29產品的生產與制造過程調試裝入平衡設加檢KYKY執行嚴分子泵選型及注意事項滿足系統的抽氣要求，工作節拍在對系統的氣載、工作節拍有較清楚計算的基礎上，考慮配泵的大小，數量。同時還要考慮到前級泵的大小，以及分子泵在高壓強段有效抽速降低等因素。對于大的工作腔室，要考慮配羅茨泵機組，使得系統盡快地渡過高壓強工作段三、分子泵應用及選型30分子泵選型及注意事項三、分子泵應用及選型30分子泵選型及注意事項滿足系統的本底壓強（極限）的要求系統的極限壓強除與分子泵的極限壓強有關外，與排氣時間、腔室材料、法蘭連接形式、清潔程度、是否烘烤等諸多因素有關。同一型號的分子泵在極限指標方面有微小差異，差異一般不會高于半個量級。安裝方式方面的考慮三、分子泵應用及選型31分子泵選型及注意事項三、分子泵應用及選型31分子泵選型及注意事項注意分子泵正常工作時所需的入口、出口壓強等工作條件在高壓強段（1Pa左右）需較大排氣能力時，可考慮選用復合型分子泵若關心對某種氣體的抽除能力（如該種氣體的分壓強值），還要注意分子泵對該氣體的抽速、壓縮比等參數。

三、分子泵應用及選型32分子泵選型及注意事項三、分子泵應用及選型32四、分子泵的使用及維護使用——總體安裝注意安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞。打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉子，應轉動靈活，無異常現象。安裝環境應符合技術要求和真空衛生要求。確認防護網已安裝，特殊情況下定做特殊防護網。確認已裝入潤滑油。安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平；油潤滑：豎直方向±5°范圍內；脂潤滑：任意角度33四、分子泵的使用及維護使用——總體安裝注意33使用——油池安裝拆下注油油量控制油池衛生，防顆粒對好、對稱上緊螺釘，防止有漏四、分子泵的使用及維護34使用——油池安裝拆下注油四、分子泵的使用及維護34四、分子泵的使用及維護使用——進出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：對正、對稱擰緊泵出口：防止錯位冷卻水：無漏水入口水壓0.2MPa水溫20±５℃水質澄清無沉淀高真空口對稱均勻擰緊高真空口對稱均勻擰緊前級擰緊無泄漏循環水不滴漏注意：環境溫度風冷需小于32℃;水冷可至40℃入口壓強強制風冷<0.1Pa;自然風冷<0.01Pa35四、分子泵的使用及維護使用——進出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：四、分子泵的使用及維護使用——電纜安裝對正槽口插入用螺母擰緊，邊插邊擰檢查到位電纜線擰緊不松動36四、分子泵的使用及維護使用——電纜安裝對正槽口插入電纜線擰四、分子泵的使用及維護使用——分子泵啟動a.啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度b.啟動時間：同時啟動——小系統，防前級泵油上返。延遲啟動——系統容積過大,先啟動前級泵，至系統壓強P=200Pa時，啟動分子泵。37四、分子泵的使用及維護使用——分子泵啟動a.啟動條件：37四、分子泵的使用及維護使用——烘烤a.10-4Pa的真空系統，原則上不必烘烤。b.10-6Pa的真空系統，系統本身需要烘烤。c.最好用分子泵本身附帶的加熱裝置。若要自己纏加熱帶烘烤，注意溫度要小于100℃d.烘烤應在分子泵運轉情況下進行。e.烘烤時間>4h。

38四、分子泵的使用及維護使用——烘烤a.10-4Pa四、分子泵的使用及維護使用——振動隔離、沖擊防護分子泵振動極小，可直接接于被抽系統。對于高精密儀器的應用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器，以便最大可能的減少振動。沖擊防護：高速旋轉、間隙很小、柔性支撐機械振動（預抽泵、前級泵、機械動作等）氣體振動（氣量突變、壓強突變）意外振動（掉入異物、碰撞等）注意：沒有對泵進行必要防護，容易造成分子泵嚴重的破壞、甚至碎泵。39四、分子泵的使用及維護使用——振動隔離、沖擊防護分子泵振動極使用——振動隔離、沖擊防護四、分子泵的使用及維護40使用——振動隔離、沖擊防護四、分子泵的使用及維護40四、分子泵的使用及維護使用——振動隔離、沖擊防護41四、分子泵的使用及維護使用——振動隔離、沖擊防護41四、分子泵的使用及維護使用——振動隔離、沖擊防護42四、分子泵的使用及維護使用——振動隔離、沖擊防護42四、分子泵的使用及維護使用——大氣載、熱氣體、突變氣載a引起問題：溫度升高動靜片變形轉子上移

潤滑失效5℃原則軸承失效b.措施：加大水冷增加冷卻裝置縮短換油時間43四、分子泵的使用及維護使用——大氣載、熱氣體、突變氣載a四、分子泵的使用及維護使用——磁場屏蔽旋轉的轉子在磁場中產生渦電流，將使轉子發熱，將產生如下問題：轉子與定子間隙越來越小，造成碎片；轉子溫升過大造成磁性電機轉子退磁；由于發熱會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；轉子發熱，改變轉子和軸的相對位置，造成碎泵。分子泵在磁場中運轉時，徑向和軸向磁場強度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。44四、分子泵的使用及維護使用——磁場屏蔽旋轉的轉子在磁場中四、分子泵的使用及維護使用——耐腐蝕泵a.保護性氣體b.保護氣體的流量16~20sccmc.必須使用防腐油d.開、關機前必須通保護氣體45四、分子泵的使用及維護使用——耐腐蝕泵a.保護性氣體45備用泵使用注意事宜：更換后問題泵及時返修。46備用泵使用注意事宜：46謝謝大家！47謝謝大家！47謝謝謝謝中科科儀分子泵產品介紹

錢浩

49中科科儀分子泵產品介紹

錢浩0內容中科科儀分子泵發展歷程分子泵原理、結構分子泵應用及選型分子泵使用及維護50內容中科科儀分子泵發展歷程1分子泵大全

51分子泵大全21977年：研制成功國內第一臺立式F450渦輪分子泵，通過科學院鑒定。1983年：F110渦輪分子泵通過中科院鑒定，首批應用于正負電子對撞機。1986年：FF500復合型分子泵。1993年：F1500渦輪分子泵，F150檢漏儀用渦輪分子泵。2019年：

F3500渦輪分子泵。2000年：

FF620復合分子泵進入市場。一、中科科儀分子泵的發展歷程521977年：研制成功國內第一臺立式F450渦輪分子泵，通過科2019年：系列防腐蝕分子泵進入市場。2019年：FF1200復合分子泵進入市場。2019年：系列任意角度安裝分子泵進入市場。2019年：抗沖擊（整體渦輪轉子）分子泵。2019年：FF700任意角度安裝分子泵。2019年：FD-II電源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安裝分子泵。2019年：FF1800脂潤滑分子泵，1800磁懸浮分子泵樣機。一、中科科儀分子泵的發展歷程532019年：系列防腐蝕分子泵進入市場。一、中科科儀分子泵的二、分子泵原理、結構分子泵原理分子泵是一種動量型真空獲得設備，在分子流態下，氣體分子與高速運動的表面發生碰撞獲得一定方向的動量，從而使氣體分子得到逐級壓縮，最后被抽除。54二、分子泵原理、結構分子泵原理5二、分子泵原理、結構

分子泵結構55二、分子泵原理、結構分子泵結構6按抽氣特性結構分類渦輪分子泵渦輪級動、靜葉列復合型分子泵渦輪級+拖動級按使用特點分類風冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蝕性氣體二、分子泵原理、結構

分子泵結構56按抽氣特性結構分類二、分子泵原理、結構分子泵結構7按制造結構分類油潤滑脂潤滑磁懸浮二、分子泵原理、結構

分子泵結構57按制造結構分類二、分子泵原理、結構分子泵結構8精密的轉子制造精密的動、靜間隙配合高精度的軸系加工高精度軸承精密的整機平衡可靠的阻尼減振系統高效的變頻電機、冷卻系統二、分子泵原理、結構

分子泵結構58精密的轉子制造二、分子泵原理、結構分子泵結構9連續抽除氣體節省能源可獲得清潔的真空對被抽氣體無選擇性，對各種類氣體，抽速變化不大起停機時間短振動小，噪音低操作維護方便，免維護周期長復合型分子泵在較高壓強工作段仍有較大抽速三、分子泵應用及選型

分子泵特點59連續抽除氣體三、分子泵應用及選型分子泵特點10油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。脂潤滑分子泵：油脂量極小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環境。三、分子泵應用及選型

分子泵特點60油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。三復合型分子泵的特點在1Pa左右的高壓強工作段，與同類型的渦輪分子泵比較，有較大的抽速，有利于某些工藝過程。前級耐壓能力提高，可配某些類型的干泵，如膜片泵，可縮小前級泵的規格，節省投資。三、分子泵應用及選型61復合型分子泵的特點三、分子泵應用及選型12復合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應用及選型62復合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應用及選型13KYKY分子泵型號及意義F

F-×××/×××

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特征代號（空、T、N、F、Z……）抽氣速率,L/s抽氣口通徑,mm復合代號分子泵代號三、分子泵應用及選型63KYKY分子泵型號及意義FF-×××/×××KYKY分子泵種類

渦輪泵按結構分復合泵油潤滑潤滑方式脂潤滑風冷冷卻方式風水兩用泵水冷普通泵功能防腐蝕泵分子泵系列FF160/620CF-100/150FF-250/1800FF-200/1200F-100/110FF-200/1300F-250/1500FF-250/1600F-160/500FF-400/3500FF-160/700三、分子泵應用及選型64KYKY分子泵種類渦輪泵分子泵性能參數、意義及測試抽速：分子泵入口氣體的體積流率三、分子泵應用及選型`65分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型`16分子泵性能參數、意義及測試抽速測量裝置三、分子泵應用及選型調節閥

G1,DL-7

G2,

DL-7

溫度計，T1

分子泵

前級泵溫度計，T2

66分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型調節閥G1,分子泵性能參數、意義及測試分子泵的極限壓強ISO5302標準中稱最低工作壓強分子泵加裝標準測試罩，經48小時烘烤，降溫48小時后，所測得的壓強值。

一般說來，分子泵的極限壓強范圍為：10-4Pa~10-9Pa三、分子泵應用及選型67分子泵性能參數、意義及測試分子泵的極限壓強三、分子泵應用及選極限壓強測量裝置極限壓強與入口法蘭形式、前級泵種類等有關

G1,真空計分子泵

前級泵溫度計，T2分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型68極限壓強測量裝置G1,真空計分子泵前級泵溫度計，T2分子分子泵的壓縮比分子泵加裝標準測試罩，在泵入口無氣載的情況下，所測得的分子泵出口、入口壓強之比。分子泵對大分子壓縮比比較大對小分子壓縮比比較小分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型69分子泵的壓縮比分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型分子泵壓縮比測量裝置

G2,真空計

調節閥

G1,真空計

分子泵

溫度計，T2

分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型前級泵70分子泵壓縮比測量裝置G2,真空計調節閥G1,真空計分最大入口壓強分子泵連續工作時所能承受的最高入口壓強取決于分子泵的冷卻條件，對于風冷一般小于0.1Pa；對于水冷，一般小于5Pa最大可持續前級壓強：分子泵連續工作的最高前級壓強，一般為十幾帕，或幾十帕。分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型71最大入口壓強分子泵性能參數、意義及測試三、分子泵應用及選型2分子泵性能參數、意義及測試其他技術參數

出入口法蘭形式、規格入口法蘭分LF和CF兩種，大小有110、160、200、250和400四種；出口法蘭為KF，大小有25、40、50和100四種建議前級泵規格

對于110/150L/s泵，建議采用2~4L前級

對于500~1000L/s泵，建議采用6~12L前級

對于

>1000L/s泵，建議采用>12L前級

冷卻條件風冷環境溫度<32℃水冷環境溫度32℃以上，水溫≤25℃三、分子泵應用及選型72分子泵性能參數、意義及測試其他技術參數三、分子泵應用及選型2分子泵的應用一般來講，分子泵用來獲得高，或超高真空。廣泛應用于：工業工藝過程（裝飾、ITO、PVD、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空爐排氣）儀器、設備科研、軍工裝備半導體工業三、分子泵應用及選型73分子泵的應用三、分子泵應用及選型24三、分子泵應用及選型74三、分子泵應用及選型25制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應用及選型75制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應用及選型26柔性太陽能電池設備三、分子泵應用及選型76柔性太陽能電池設備三、分子泵應用及選型27科研裝備三、分子泵應用及選型77科研裝備三、分子泵應用及選型28產品的生產與制造過程調試裝配入庫平衡調試設計加工檢測KYKY執行嚴格的生產流程，保證產品的高品質加工生產流程78產品的生產與制造過程調試裝入平衡設加檢KYKY執行嚴分子泵選型及注意事項滿足系統的抽氣要求，工作節拍在對系統的氣載、工作節拍有較清楚計算的基礎上，考慮配泵的大小，數量。同時還要考慮到前級泵的大小，以及分子泵在高壓強段有效抽速降低等因素。對于大的工作腔室，要考慮配羅茨泵機組，使得系統盡快地渡過高壓強工作段三、分子泵應用及選型79分子泵選型及注意事項三、分子泵應用及選型30分子泵選型及注意事項滿足系統的本底壓強（極限）的要求系統的極限壓強除與分子泵的極限壓強有關外，與排氣時間、腔室材料、法蘭連接形式、清潔程度、是否烘烤等諸多因素有關。同一型號的分子泵在極限指標方面有微小差異，差異一般不會高于半個量級。安裝方式方面的考慮三、分子泵應用及選型80分子泵選型及注意事項三、分子泵應用及選型31分子泵選型及注意事項注意分子泵正常工作時所需的入口、出口壓強等工作條件在高壓強段（1Pa左右）需較大排氣能力時，可考慮選用復合型分子泵若關心對某種氣體的抽除能力（如該種氣體的分壓強值），還要注意分子泵對該氣體的抽速、壓縮比等參數。

三、分子泵應用及選型81分子泵選型及注意事項三、分子泵應用及選型32四、分子泵的使用及維護使用——總體安裝注意安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞。打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉子，應轉動靈活，無異?，F象。安裝環境應符合技術要求和真空衛生要求。確認防護網已安裝，特殊情況下定做特殊防護網。確認已裝入潤滑油。安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平；油潤滑：豎直方向±5°范圍內；脂潤滑：任意角度82四、分子泵的使用及維護使用——總體安裝注意33使用——油池安裝拆下注油油量控制油池衛生，防顆粒對好、對稱上緊螺釘，防止有漏四、分子泵的使用及維護83使用——油池安裝拆下注油四、分子泵的使用及維護34四、分子泵的使用及維護使用——進出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：對正、對稱擰緊泵出口：防止錯位冷卻水：無漏水入口水壓0.2MPa水溫20±５℃水質澄清無沉淀高真空口對稱均勻擰緊高真空口對稱均勻擰緊前級擰緊無泄漏循環水不滴漏注意：環境溫度風冷需小于32℃;水冷可至40℃入口壓強強制風冷<0.1Pa;自然風冷<0.01Pa84四、分子泵的使用及維護使用——進出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：四、分子泵的使用及維護使用——電纜安裝對正槽口插入用螺母擰緊，邊插邊擰檢查到位電纜線擰緊不松動85四、分子泵的使用及維護使用——電纜安裝對正槽口插入電纜線擰四、分子泵的使用及維護使用——分子