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油擴散泵的工作原理.概述油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流 來攜帶氣體以達到抽氣的日的，故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。不 同點是擴散泵工作在高真空區域，其工作壓強范圍為10-210-6pa。 廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業部門中。.油擴散泵的工作原理與結構圖3是擴散泵的結構示意圖。U3油擴技賓堵構示意圖當油蒸汽從傘形噴咀（如I級噴咀）以超音速噴出后，其速度逐漸增 大，壓力及密度逐漸降低，射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽 射流中擴散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B，在B處，工作蒸汽大部 分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油鍋中循環使用，而被抽氣體在B處堆 積、壓縮，最后被下級射流攜帶走，以達到逐級壓縮，最后被前級泵 抽走。其抽速特性曲線如圖4所示。C31C31K-ao&二 Ms療二 =!T7W=K icua k wrr TOC o 1-5 h z k-J&、i K】 r *.的咨X；J50的 00_、fc-ta _i B, h KI _ :a ”h T- m L .1r1.33X1* l.aJXJOrffi l油矛散榮披氣庶率與大口底力的美氛曲我

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