混合微電路技術(shù)：第九章 操做和凈化間_第1頁
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文檔簡介

1、第九章 操作和凈化間熟悉操作過程及相應(yīng)的凈化要求9.1操作工具清潔度凈化間：混合電路的制造、裝配和測試要在 100 000級或更好的凈化區(qū)域進行正常房間的空氣每立方英尺中約50萬個塵粒，室外空氣每立方英尺約含有100萬個塵粒。污染最大來源是人靜止坐立的工人每分鐘產(chǎn)生30萬塵粒行走每分鐘產(chǎn)生500萬塵粒化妝品也是站務(wù)的主要來源口紅能產(chǎn)生1.1*109直徑大于0.5m的塵粒描眉能產(chǎn)生3*109個塵粒人產(chǎn)生的有關(guān)塵粒的相對尺寸9.2靜電放電（ESD）A.靜電荷元件破壞或損傷吸引塵土失火或爆炸人體觸電B.兩種材料接觸后分開，電子從一個表面轉(zhuǎn)移到另一個表面，產(chǎn)生靜電荷金屬-耗散損失電荷非導(dǎo)體-長時間保持

2、電荷C.器件的靜電敏感性器件對靜電損傷敏感，500V也會造成損傷4000V人們能感覺，10000V才能產(chǎn)生噼啪聲或看到火花d.靜電損壞器件可以被靜電放電(ESD)產(chǎn)生的過高電壓或過高電流降級甚至失效介質(zhì)失效，圖1互連金屬化失效，圖2PN結(jié)失效靜電放電損壞的運算放大器集成電路放大5倍的圖片靜電損壞的MOS晶體管ESD對鋁金屬化造成的放電損壞正常時I/V特性曲線，每格5 A,在輸入端輸出上升時間約為8 sESD降級時I/V特性曲線，在輸入端輸出上升時間25 s對封裝蓋板500V放電的結(jié)果靜電防護員工教育培訓(xùn)，認識ESD危害人體接地腕帶串聯(lián)限流電阻接地,1M的電阻作為標準電阻使用前進行腕帶檢查混合電路存儲和運輸防靜電產(chǎn)品導(dǎo)電 材料表面電阻率最大為105/耗散靜電的 105/ 材料表面電阻率 109/抗靜電的 109/ 材料表面電阻率 1014/濕氣在低濕度（30%）區(qū)域，靜電放電損壞風(fēng)險比高濕度（50%）區(qū)域大得多標簽經(jīng)典靈敏元件和混合電路組件必須貼有警示標簽耗散靜電的工作臺表面所有桌子表面上必須具有抗靜電的材料或靜電耗散材料桌面通過250k10M接地，以1M作為標準起初使用

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