1、 2.升壓加200KV5.檢查試片位置是否歸零3.確定SF6氣壓6.確定DV值為+0JEM-2010例行簡易操作步驟1.確定SIPVACUUM50K?調整BRIGHT-TILTCENTER是否YES1DEFX,丫使其呈最小的晃動 # #找到所需的位置放入 # #OLAPERTUREOLAPERTURE是否在CENTER?InDIFFMODE 調整OBJSTIGDEFX.Y至IMAGE最清楚TOC o 1-5 h z是否有OL像差No存在？.*-1叫.*電*、彳.電/調整適當的曝光時間、約24Sec.*並按下PhotoTwice”送片照相即可TEM例行操作(JEOL2010Alignment)儀

2、器及真空狀態之準備動作確定SIPVACUUM5X10-5Pa2-確定SF6氣壓FILAMENTON升壓加200KV檢查試片位置是否歸零確定DV值為+0（一）電子槍線圈傾斜校準（Guntilt,在FEG時為Anodewobbler）試片移開螢幕，倍率調至15K。2.Spotsize選用1，調整brightness鈕，將電子束縮為最小亮點，以GunshiftX,Y將亮點移至螢幕中央。（二）電子槍偏移校準（Beamshift）倍率仍設為15K，Spotsize換至3（or5）。以brightness鈕將電子束縮至最小，以Beamshift將電子束移至正中心。Spotsize換回1，以Gunshift

3、X,Y調整，將電子束移至正中心。重覆1、2、3步驟，直到不論Spotsize1或Spotsize3（或5）之電子束皆在螢幕正中心為止。（三）飽和電流校準（Currentdensitysaturation,建議以法2及法3作校正）法1：（正規但不建議：一般初學者常會因為不正常操作，導致電流值過大而減短燈絲壽命）先將Filament值降到零，從小Filament值開始調起，再慢慢加大電流值。當螢幕上有不對稱的燈絲投影形狀時，調整bias使燈絲在螢幕上呈現對稱的形狀，此時燈絲之電流為趨近飽和狀態。稍微加大電流值，使對稱的形狀消失而呈單一的亮點。固定Filamentscale的stopper。法2:調

4、Guntilt，注意小螢幕上之currentdensity值，當達到最大值時，此時得到最大亮度，意即達到飽和電流。法3:調Guntilt，目視螢幕上之spot亮度，當達到最大亮度時即為飽和電流。（四）聚焦鏡孔徑調整（Condenseraperture）1倍率調至15K，Spotsize調至1或3（或5）。電子束縮至最小並調至中心。調brightness鈕將電子束重複放大縮小，同時調整CondenserAperture位置使spot不隨電子束放大縮小而偏離圓心。（五）聚焦鏡像差調整（CondenserStigmatism）倍率調至15K，Spotsize調至3。調brightness鈕將電子束縮

5、至最小，以beamshift移亮點至中心。順時針及逆時針地旋轉brightness，此時亮點若呈橢圓展開時，則按下CondStig鍵，一邊旋轉brightness邊調整DEFX,Y鈕直到亮點呈圓狀。調整完後按CondStig鍵還原。（六）a.影像搖擺調整（Wobbler，功能在使調beamtilt時影像不會shift）倍率調至15K，調整focus使影像在infocus狀態。以brightness將spot縮成直徑約5mm之亮點，切Imagewobblerswitch至X，按右下鍵盤TILT鈕，調ImagewobbleradjX（左邊兩個）使兩亮點重疊在中央，切Imagewobblerswit

6、ch至Y，調ImagewobbleradjY（右邊兩個）使兩亮點重疊在中央。將Tilt鈕及Imagewobblerswitch還原。b.繞射點搖擺調整（Wobbler,功能在使調beamshift時影像不會tilt；此部分之操作條件不易變化）倍率調至15K。以brightness右轉到底，此時會聽到”嗶”一聲（代表已超越儀器之過焦狀態極限），調Difffocus使呈causticspot亮點（一般為逆時針方向），此時causticspot呈現一類似Benzu的mark形狀，切CONDDEFADJ至X,按右下鍵盤SHIFT鈕，調ImagewobbleradjX（左邊兩個,shift之X及DEF之

7、X）使causticspot亮點重疊，切CONDDEFADJ至Y,按右下鍵盤SHIFT鈕，調ImagewobbleradjY（右邊兩個，shift之Y及DEF之Y）使causticspot重疊。3將Difffocus,Brightness,SHIFT鈕及CONDDEFADJX,Y還原。（七）電流中心調整（Currentcenter）選擇試片緣尖端處，將最尖點移至中央，按下ImagX或ImagY，此時會見到影像成雙影，是為defocus狀態，以Z-V及Z-A調整stage高度，使雙影之影像重疊成單一影像，此時試片影像為in-focus狀態，以上為試片聚焦動作。2按WOBBLER-OBJ後，再按b

8、rightnesstilt鍵，調整Brighttilt-DefX,Y使尖端置於中央且最不易晃動的狀態。（八）中間鏡、投影鏡校準（INTstigandProjectalignment）調Brightness將spot散開，試片移開。壓DIF鈕，調整DIFfocus使繞射點變小（可加入ObjAperture輔助聚焦）。3壓STIGMATOR-INT，調整GunShift之DEFX,Y鈕，使繞射點成正圓。4壓DEFLECTOR-PROJ，調整GunShift之SHIFTX,Y鈕，移動繞射點至正中心。（九）電壓中心校準（Voltagecenter）如步驟（七）-1先將影像聚焦。倍率調至100K，調整影

9、像在infocus狀態。在試片上找一處尖銳處，將其尖端移至螢幕中央。4按下HT鍵（wobbler），觀察影像閃動時該尖端是否離開中心點。若是，則按下brightnesstilt鍵，調整DEFX,Y鈕使尖端在閃動時仍不偏離中心點。調整電子束至最小亮點，並將亮點移至中心。（十）物鏡像差調整（OBJStig）如步驟（七）-1先將影像聚焦。倍率調在200K。在試片上選擇一處邊緣厚度較均勻處，再搜尋一小洞或小突起物做為成像標的物。初步調整Focus鈕，使小洞或突起物影像一半在underfocus狀態另一半在overfocus狀態，注意：此時小洞或突起物之邊緣在underfocus邊會產生一道亮（白）線，

10、而在overfocus邊會產生一道暗（黑）線。按下OBJSTIG鍵，旋轉DEFX,Y鈕，使小洞或突起物邊緣均轉為亮線或均轉為暗線，再調整Brigh-Focus使小洞或突起物邊緣之明線或暗線同時消失，此時影像是在in-focus狀態。按除OBJSTIG鍵，去除Objectivestigmator校正功能。備註本機型之Condenseraperturesize除全開外共有五種，每置換一個Condenseraperture後必需重新alignment。不同之spotsize校正情況略有差別，一旦選定某一spotsize做校正後，若需換另一spotsize觀察時，需將alignment做微調。視使用者

11、之需要條件而定，若觀察影像倍率不大，可忽略”（十）物鏡像差調整”之校正。於上述每一步驟完成之後，需再回頭反覆確定之前校正的每一步驟之校正情況。拍照有兩種模式供應用a.自動模式：此時AUT0燈亮b.手動模式：由使用者自訂曝光時間，此時AUT0燈不亮；拍照之程序必須按AUT0鍵兩次（第一次進片，第二次才是曝光），建議調整降BeamCurrent以增加曝光時間為25分鐘（注意：BeamCurrent與ExpTime之乘績 Micro-areailluminationmode(EDS,NBD,CBD)alignment:TEMmodealignment做完押CBD,spotsize最大，a角順時針調最

12、大用shift(Brighttilt)將beam調中Mag50K押HTwobbler,調DEF(Brighttilt),使beam均勻收放HTwobbleroffNote:a.上述alignment調好後，變動spotsize時，beamcenter無太大變化，但變化a角則可能有較大變動b.EDS,NBD,CBD均有imagemode及Diffractionmode.且這三種通常在imagemodealignment好之後，在diffractionmode下得到data zEDSmode操作:執行micro-areailluminationalignmentFocusimage,選擇spots

13、ize切至diffractionmode,調INTstig&projectcenter選cameralength調brightness,利用shadowimage使target最大（Ronchigram單眼）此時beam為最小（可用EDS打Au/Cfilm,可確認是否打在Au上）可用Imageshift+DeforShift來微調sample位置EELS的單點分析亦可用EDSdiffractionmode來作 GeneralColumnAlignment(2010F)（1）InTEMmode，將倍率放大至40K，選擇SPOTSIZE1-3，用BRIGHTTILT-SHIFTX、Y,將光束移到螢

14、幕中央。（2）SPOTSIZE5-3，用BRIGHTTILT-SHIFTX、Y;SPOTSIZE1-3，用GUN-SHIFTX、Y,將光束移到螢幕中央；反覆調整直到切換此2種SOPTSIZE，光束都在螢幕中央。（3）ANODEWOBB，調整GUN-DEFX、Y，直到光束在螢幕中心做同心橢圓縮放。（4）Check，DV=0、OL=5.83、O-Stig.Current2.00及-0.90。調Z-Control聚焦。（5）左右轉動BRIGHTNESS，調CONDSTIG-DEFX、Y,校正CLStigma。將光束調至同心圓放大縮小。（6）CLApertureCentering。左右轉動BRIGHT

15、NESS，並調整CLAperture上的旋鈕，直到光束同心圓不會甩動。（7）把電子束縮至最小，按CONDDEFADJ之TILT。再扳TILT至X（Y），用SHIFTX（Y）、DEFX（Y），將光束調到重合。HRProcedure（1）找到要觀察的區域，在x100K下是透明的。（2）做GeneralColumnAlignment。（3）大略踩至接近正pole附近，並在100K下聚焦。（4）HTCenter:將光束調至比螢幕稍大，壓WOBBHT調整BrightTilt-DEFX、Y，直到影像不晃動。從100K往上一直做到要照相的最大倍率。（5）切換到SAM/ROCK，倍率150K（也將MAG1放到相同倍率），將SADAp.放到螢幕中央，欲選定的區域移到SADAp內。(6)切換到DIFFmode，開始踩正pole。並在隨時切換到SAM/ROCK狀態下，注意物及焦距是否跑掉。(7)放OBJAp.圈住至少九個繞射點，回到SAM/ROCK，拉開SAAp.。(8)回到MAG1並在高倍下聚焦。(9)照相時focus倒退四格。Image2s、Diffraction靠經驗。EDSProcedure(1)從TEMmode切換到EDSm