1、.無塵室潔凈度之維持和控制，除了硬設備之配合投資外，也需要良好的軟件管理制度來搭配，方能維持良好的潔凈度。無塵室內之微污染來源，作業人員占約80%，作業人員進出無塵室時塵埃有顯著增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。.無塵室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體、給水、溶劑等；而內污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。.無塵室適當之正壓保持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設

2、置。隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、制程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養和清掃、制程設備四周應留有空間 .換氣次數應足夠，適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當 ，再加上日常是清潔維護.無塵室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及無塵室內所用東西等加以探討，并依計劃（planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作(Action)之PDCA循環步驟執行。 前以提及在無塵室內污染來源80%來自作業人員,因此若能使作業人員依無塵室管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的

3、產生可說已減大半。現就進入無塵室的作業人員之管理和注意事項說明如下：.（1）進入無塵室之人員，必須要具備有達成高潔凈度標準，并要維持最好狀態之觀念。（2）作業人員進入無塵室數目以維持最小限度原則（愈少愈好），并須依無塵室進出標準流程進出無塵室，如圖3所示。出則相反方向進行，唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。（3）對作業人員必須經常講解無塵室管理之數據，并加以教育與訓練，內容如無塵室管理之一般常識、無塵室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無塵室內之步行方式等，并經考試合格者方能進入無塵室工作。（4）在無塵室作業人員須經常保持自己各方面的干凈與清潔。.（5）在

4、無塵室內之作業人員或其它人員之移動或動作均為發塵源，其直接影響制程，同時亦會影響氣流之擾動，為防止與控制上述情形，基本上須注下列事項：a.不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其它作。b.不必要之動作盡量避免以防止亂流發塵。c.與作業無關的私心談話盡量避免。d.為控制發塵量，人員步行及作業要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發塵量。e.作業要在潔凈之工作柜或工作桌進行。f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中，并置放一定的場所。.（6）作業人員須經常保持干凈之手，除了常洗手、剪指甲外，手并應保養，以防皮膚之剝離，男性須每天刮胡子。（7）潔凈衣要經常保持著衣之狀態。（8）下列所述者不能進入無塵

5、室：a.非作業人員或事先未得許可者。b.未照規定穿著潔凈衣者。c.剛做激烈運動流汗者。d.吸煙或吃東西后，尚未經過半小時以上者。圖4為吸煙和未吸煙者微塵產生量與時間之比較圖，由圖上很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍，直至30分鐘后才降至15倍，此為為何無塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準進入的原因所在。故針對在無塵室作業人員之招募，若能選擇不吸煙者為對象，將可帶來甚大利益。 .a)沒有經過清潔過程之器材、零件物品、測定器等各種物品。b)紙箱及未經特別處理之記錄或筆記用紙、影印數據等。c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。d)香煙、化妝品、衛生紙、飲食品等。e)作業員個人用品如打火機

6、、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個人物品等。無塵室潔凈度維持之最大控制對象為作業人員，因此對于作業人員之數目、行動狀態、進出規則之制定與執行，提高無塵室內作業人之潔凈度意識、反復教育，均為必須，因作業人員之動作而產生污染的增加倍率。 .除了人員進出無塵室須予于規范管理外，愿物料及設備之進出也必須經過潔凈程序，方不至于影響無塵室之潔凈度。其進無塵室之流程如表4所示。至于搬出則反方向而行，但不須經潔凈程序。原物料及設備進出用無塵室為無塵室等級1000或10000級之房間，工作人員于其室內清潔設備或物料時必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布，清潔劑除了使用

7、超純水之外，并加入35濃度的IPA或丙酮化學品，以增強去污能力，由于IPA及丙酮具揮發性，故此房間之排氣效果須特別考慮。搬運設備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。.無塵室內用品除了進出無塵室用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質，另外經過磨擦不產生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。.頭罩材質為無塵

8、紙或無紡布制成，帽子材質則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發亦不能露出來。無塵室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質部分則采用與潔凈服相同材質即可，鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Viny1），在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。 .潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在無塵室內進行。并以純水配合清潔溶劑，并經

9、約0.2m之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定，在高潔凈區（CLASS1）為23天，其它區域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應立即密封。潔凈衣之置放場所亦須為無塵室，備用品或新品存放柜內，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。桌椅一般以不銹鋼材質，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環氧樹脂（Epxoy）加工以防表面發塵。工作桌最好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時，則要準備腳踏環。桌及椅子之腳最好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。.a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。b.化學纖維或

10、有機溶劑等化學藥品有過敏性體質者。c.容易出受汗者。d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。e.化妝或涂口紅者。f.有重大精神病、神經過敏或閉瑣恐懼者。g.因哮喘、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。.a.做事細心有耐性者。b.勤于整理整頓，經常自己注意身邊清潔的人。c.經常留意自己之健康者。.無塵室內系統除了通稱的空調系統之外，制程設備也包括在內，以下將對該二系統之運轉維護及保養做一概略說明.1.生產設備之選擇、布置與保養：a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備，尤其須注意活動部分之發塵b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。c.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故

11、應配備過濾裝置。d.規劃各設備之配置空間時，事先宜考慮不易積累微塵之結構，規劃各并以容易清潔為原則。e.真空泵等容易產生污染物的這類設備，應設置在無塵室外面或回風區，并加裝排氣管線排氣。f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時，其構造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。.a.磨損、切削均為發生微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。b.易產生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。c.在操作時，盡量減少接觸零件或產品。d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。

12、.1.建筑物之維護管理：a.建筑物內定期檢查清潔。b.地板之清掃管理及損壞更新。c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。d.窗戶及門之保養等。2.環境測定與管理：無塵室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測，以確實掌握質量，若有數據異常，可立即做緊急處理。.3.防塵空調設備之維護管理：a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測儀器應做定期校正檢驗，若有設備移動或施工時須做局部測量。b.過濾網之管理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網之檢查及更換周期。c.空氣調節器管理：定期檢查隔板接縫及內部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象。d.送風機之管理：定期檢查送風機運轉狀況。如表7所示為送風機之各項檢查內容及周期。e.風管及出風口之管理：檢查風管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。.f.測試