1、 計 算 機 集 成 制 造 系 統 表 產 品及 加 工 流 程 信 息 第 卷 計算 該設 備 的約束權 重 。部分設 備 的約束權 重如表 所 示 。 表 部 分 設 備 的 約 束 權 重 值 本 文依據 該 軟件 建 立 了相 關 仿 真模 型 ， 圖 如 所 示為仿 真軟件 的運 行界 面 。 為得 到最優 的在制 品水 平差 額 上 限 ） 和下 限 ， ） ， 者 選 取 了 個 水 平 和 個 平 。 通 ， 筆 水 過 組實 驗 ， 比較 了每 種 參數 組 合 的 結果 ， 中 當 其 為 為 一 或 一 ， 時 實 驗 結 果 最 好 。 表 給 出了不 同參數組 合下

2、 的系 統平均 生產 周期 。 表 不 同上 限 和下 限 組合 下 的 實驗結果 （ 生產 周 期 ） 圖 仿 真 界 回 模 型仿 真時 間為 因為前 期仿 真階段 在制 品 ， 數 量較低 ， 系統狀態 不穩 定 （ 圖 。所 以 ， 初期 如 ） 在 采 用 簡單 的先 進 先 出 （ ， 規 ） 則調度， 當系 統 穩 定 時 ， 采 用 本 文 提 出的 。 再 忽 略前 三個 月的數 據 ， 為生成 運行 環境所需 時 間 。 作 算 法 比較 在仿 真實驗 時 ， 別設 定 的值 為 分 ， 值為 。為驗 證 算法 的有效 性 ， 本文 另外采用 緊 迫 系數 （ ） （ ，

3、， ， ） 最 短 加 工 時 間 （ ， ， 。這幾種 算 法 是 當今 晶 圓廠 在 實 際 生 ） 圖 仿 真生成 賴行 階段 設備 約束權 重及 其他參 數確定 產 中普遍 采用 的 調 度算 法 。在 算 法 的 比較 試 驗 中 ， 采用 上 述 仿 真 模 型 以及 四個 評 價 指 標 ： 產 周 期 生 按照式 （ ）通 過仿 真實驗 考察設 備可用 性對 系 ， 統績效 的影 響程度 ， 以此 確定 不 同設 備 的瓶 頸權 重 ， 其 中各 個指 標 的權 重分 別取 。通過 延 長設 備 的 值 ， 每 種 設 備 的可 用 性 與 原 值 相 比 下 降 使 ， 比較

4、 因此 引起 的系統 績 效 改 變 ， 運 用 式 （ ） 并 （ ， ） 按 期 交貨 率 （ ， ） 產出率 （ ， ） ， ， 和 。從表 可 以看 出 ， 算法 在 各 項 指標 上 均 比其 他 算法 要 本 好 。特別 是在 縮短 生產周 期 和降低 在制 品水 平上較 方法 都有 以上 的提 高 。 同時要 注意 的是 第 期 胡 鴻 韜 等 ： 導體 生 產 線 動 態 在 制 品水 平 控 制 方 法 半 方法 由于過 于注 重 交貨 期 使 得 按 期 交 貨 率 和 在制 品水平 反 而不如 。而 方法 在生產 周 期這 一指標 上 的結果 也不令 人 滿意 。 表 調

5、 度 算 法 比 較 ， （ ， ） ： ， ， （） ， ： ， ， ： （ ） ， ， ： ， ， （ ） ： ， ， 結 束 語 本文 針 對半 導 體 芯 片制 造 的特 點 ， 出了一 種 提 基 于 約 束 權 重 和 產 品 制 程 的 調 度 方 法 。該 方 法 主 要 ： ， ， （ ） ： ， ， 有 以下幾 點的 改進 ： 用 約束 權 重 描 述 設 備對 系統 ： ， ， ： ， ： 績效 的約束 大小 ； 通 過設 備 約束 權 重 和 產 品加 工 參數 設定 和分 配在 制 品水 平 分 布 ； 設 備 依據 實 際 在制 品水平 高低 動 態選 擇 產 品加

6、 工 ， 制 不 同產 品 控 不 同 階段 的在 制 品數 量 。仿 真 表 明 ， 方 法適 用 于 該 穩 定投料 的多 品種 大 批 量 的半 導 體 芯 片 制造 過 程 。 但 文 中某 些參 數還 需 要 靠經 驗 取 值 ； 外 設 備 約束 另 權 重是 離線仿 真確 定 的 ， 是 實 際生 產 中系 統狀 態 但 變化 多端 ， 如何 動 態調 整 設 備 約束 權 重 以及 相應 的 調度 目標和規 則還有 待進 一步 研究 。 參考 文獻 ： ， ， ： ： ， ，（ ： ） ， （ ） ， ， ）： （ ， ， ， ， ）： ， （ 李 （ ） 莉， 喬 非， 姜 樺 ， 半 導體 生 產 線 等 動 態 調 度 方 法研 究 計 算 機 集 成 制 造 系 統 ， （ ） ， ： ， ， ： ， （ ： ， ） ， ， ： （ ） （ ） 張 懷， ， ， 江 志斌 ， 乘 濤