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機電一體化信息科學機械學電子學SKXT-1200銑鏜鉆機床 傳 動系統圖m=3 z=46m=3 z=23m=3 z=58p=12p=12m=3 z=55d=37變頻調速電機d=71m=3 z=2388m=3 z=25 m=3 z=48交流伺服電機交流伺服電機8m=3 z=25 m=3 z=488交流伺服電機回轉工作臺m=3 z=46 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機電系統的縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機械，在歐洲被稱為微系統。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術，并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發展起來的高科技前沿學科。

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