1、.ATHLETE植球機新程序的建立一， 準備工作1， 將機臺TABLE改成我們所需要的尺寸，如BL6212為8寸產品，就需要將TABLE更換成8寸，詳細見改機清洗規范2， 檢查球具是否是我們所需要建立程序產品的球具，若焊球成分，大小都相同則無需更換；只要其中有一樣不同就需要更換球具，具體見改機清洗規范3， 更換相應的STENCIL，具體見改機清洗規范wafer上左右兩個特殊點相對于MAP中心點的坐標；3，MAP中心點分別相對于stencil上左下角球和右下角球的坐標左下角最外側一個球中心為測量STENCIL上第一個對位點二， 建立程序1， 手自動開關旋至MANUAL檔，按“HOME”進行原點復

2、位2，按“STOP”進入停止狀態 NEW TYPE3，選擇“FILE”右側顯示功能菜單，選擇“NEW TYPE”來進行6或8產品原程序的COPY，例如：TI8YRZI8是8寸產品，NEW6是6寸產品4，選擇一個作為拷貝程序后進行程序新建命名，如：輸入BL03EVS85，選擇“Recipe Editor”，然后選擇右側“TYPE CHANGE”選擇剛剛所創建的新程序，按“OK”保存，系統載入新程序三，參數的輸入與修改1，將“TYPE DATA”打開，選擇 “OPERATION DATA”2，選擇WAFER尺寸和設置片厚參數3，保存參數設置4，選擇“WAFER RECOGNITION POINT”

3、4，選擇“PRINTING MOVEMENT SETTING”9，GAP BTW WAFER AND MASK和GAPGAP BTW WAFER&MASK和GAP BTW SUPPORT&MASK這兩個參數值跟膠量有關，新建程序時可以不改，涂膠后根據膠量而改。5，在“TYPE DATA”界面底下選擇“PAGE DOWN”進入下一頁，然后選擇“BALL RELEASE SETTING”來進行球量設定。6，因為COPY的是8寸程序，所以“BALL RELEASE SETTING”只需修改一片WAFER的球數由2個植球BRUSH來分配，由于片子是-135°放置，左邊BRUS

4、H分配總球數X40%，右邊BRUSH分配總球數X60%四，WAFER與MASK的位置和圖像識別1，將WAFER手動模式傳遞到TABLE上，具體見操作規范2，返回MANUAL操作的主界面，選擇第三項“TYPE REGISTRATION”。3，選擇“RECOGNITION POINT TRANSFER &REGISTRATION”4，選擇“WAFER RECOGNITION POINT TRANSFER”進行WAFER上識別點位置的移動5，先移動到前面一個識別點的認識位置6，觀察左邊顯示器是否已經移動到我們在CAD圖上標識的識別點位置。如圖所示已經在特殊DIE（即識別點）附近。7，如果顯示

5、屏上沒有顯示識別點，則需要去觀察識別WAFER的CAMERA當前所在位置，靠近人一側的為識別FRONT點的CAMERA，靠后的是BACK點的CAMERA，見下圖。8，觀察識別點與CAMERA偏差位置后，選擇軟件“TABLE JOG MOVE”9，根據偏差距離，選擇適當的JOG量（小鍵盤5為JOG量+，0為JOG量-），然后移動TABLE上（Y+），下（Y-），左（X-），右（X+）。10，利用上述JOG MOVE，將白色十字線移到識別點的標識位置，如圖11，在“TABLE JOG MOVE”中記下當前的X,Y坐標值，如圖 X：1145.107 Y：84.66012，CANCEL“TABLE J

6、OG MOVE”，再次選擇“WAFER RECOGNITION POINT TRANSFER”中的FRONT POINT，打開此時的“TABLE JOG MOVE”，記下當前的x,y坐標值，例如x：1144.107，y：83.660 X軸方向的偏差量A=X-x=1145.107-1144.107=1同理Y方向的偏差量B=Y-y=84.660-83.660=1。然后選擇“TYPE DATA”中的“WAFER RECOGNITION POINT”，將FRONT POINT的X,Y坐標值分別減去A.，B，保存退出。13，再選擇“WAFER RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“

7、FRONT POINT TRANSFER”去檢查下補正參數后的識別點位置是否正確，若正確則進行下一步，反之則再進行以上步驟校準。14，選擇“WAFER RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“BACK POINT TRANSFER”15，同樣方法找到BACK POINT的正確位置16，按“PAGE DOWN”進入下一界面，選擇“RECOGNITION PATTERN RECOGNITION”17，選擇“WAFER RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“FRONT TRANSFER”18，待移動到wafer FRONT識別點后選擇“【REGISTR】WA

8、FER RECOGNITION PATTERN”，并選擇“FRONT”19，需要用鼠標進行圖形的識別， 確定鍵 SET20，選擇“ENTRY”21，先選擇“CENTER”將“+”移至識別DIE頂角中心22，然后選擇“PTN STRAT”定義識別范圍的起始位置23，“PTN SIZE”定義識別范圍的終止位置，即尺寸大小。要求所框圖形是唯一的24，然后按按“EXECU”執行25，選擇“EXECUTE WAFER RECOGNITION”中的“FRONT”進行檢查26，檢查顯示屏左上角的SCORE值是否大于9000，若小于則需要按上述步驟重新調整27，選擇“WAFER RECOGNITION POI

9、NT TRANSFER”中的“BACK”28，同樣方法進行“BACK”識別點的圖像登錄和檢查29，返回到此界面，選擇“PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”30，選擇“LEFT”移動到涂膠MASK的左邊對位點31，觀察機臺CAMERA的位置左邊對位點 目前CAMERA位置32，利用“TABLE JOG MOVE”移動到對位點位置33，記下當前“TABLE JOG MOVE”中X,Y坐標值，如圖X:433.510 Y:167.28134，選擇“TYPE DATA”中的“MASK RECOGNITION POINT”35，將X,Y坐標值輸入進PT MASK RECO

10、G,.LEFT中的X,Y36，再次選擇“PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“LEFT”檢查位置是否正確。若不正確則需要按上述重新調整。37，點擊“【REGISTER】PRINTINT MASK RECOGNITION LEFT，按OK讓軟件記住位置38，選擇“PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“RIGHT”39，同樣方法找到RIGHT對位點的正確位置，記下當前“TABLE JOG MOVE”的坐標值，例如：x:529.490 y:167.192，那么補正值A=x-X=529.490-433.510=95.980；B

11、=y-Y=167.192-167.281=-0.08940，將補正值輸入“TYPE DATA”中“MASK RECOGNITION POINT”“PT MASK RECOGNITION RIGHT”中的X,Y坐標值。41，按“PAGE DOWN” 進入下一界面，選擇“RECOGNITION PATTERN RECOGNITION”42，選擇“PT MASK RECOGNITION POINT TRANSFER”中的“LEFT”43，選擇“【REGISTER】PRINTING MASK RECOGNITION PATTERN44,選擇“LEFT”45，利用鼠標選擇“ENTRY”46，處理方法與W

12、AFER RECOGNITION POINT相同。47，登錄完以后選擇“EXECUTE PRINT MASK RECOGNITION”中的“LEFT”進行驗證檢查48，查看顯示器左上角SCORE值是否大于9000，若沒有達到則需要按上述方法重新調試49，同樣方法先移動到“RIGHT”對位點位置，然后登錄圖像50，同“PT MASK RECOGNITION”，相同方法處理“MT MASK RECOGNITION”的“LEFT”和“RIGHT”五，CHECK POINT1，返回到此界面，選擇“MOUNTING POINT CORRECTION”2，選擇“MOUNTING MASK RECOGNIT

13、ION”3，選擇“WAFER RECOGNITION”4，選擇“MOUTING POINT TRANSFER”5，等片子貼上植球MASK，檢查圓片MAP與MASK MAP的重合情況利用“TABLE CORRECTION JOG MOVE進行粗調，方法同“TABLE JOG MOVE”。有角度偏移，按照“順+逆-”原則。6，粗調完畢后，將第二個顯示器切換到LINE B7，選擇“MT POINT CORRECTION VAUEL AUTOMATIC INPUT”保存植球補正量8，選擇“MOUNTING POINT CHECK POINT TRANSFER” 9，其中植球CHECK POINT有4個

14、（1，2，3，4），建議使用2移動到MAP邊緣10，選擇“MOUNTING ROBOT JOG MOVE” 11，將CHECK CAMERA移動到CHECK POINT 2的上邊緣12，觀察顯示器上的圖形，選定一球13，利用“TABLE CORRECTION JOG MOVE”將球在MASK開口中移正14，CANCEL，利用“MOUNT ROBOT JOG MOVE”將JOG調至10MM倍率，向下移動5次，即CAMERA50MM行程，觀察顯示器上的球與開口位置15，從2圖位置比較可以看出，存在著順時針角度偏移，需要逆時針方向調整，利用“TABLE CORRECTION JOG MOVE”按照“

15、順+逆-”原則進行角度調整，并調整X,Y方向將球處于開口中心16，選擇“MT POINT CORRECTION VAUEL AUTOMATIC INPUT”保存植球補正量17，選擇“MOUNT ROBOT JOG MOVE”向上移動50MM返回原來位置，觀察現在球與開口位置情況，如果還是存在偏移，繼續用此方法調整，直到Y方向無變化，X方向同理，時時注意保存。18，選擇“TYPE DATA”中的“PRINT/MOUNT POINT SETTING”19，將P PT CORR(WHOL OR F)和P PT CORR(B SQUEE)里參數改成與MOUNT POINT CORRECTN相同。20，返回至此界面，選擇“PRINTINT POINT CORRECTION”21，選擇“PRINTING MASK RECOGNITION”22,選擇“WAFER RECOGNITION”23，選擇“PRINTING POINT TRANSFER”24，選擇“PRINTING CHEC