1、水滴角測試試驗報告水滴角測試試驗報告深圳市瑞豐光電子股份有限公司 編制：馮俊2013-08-05 試驗目的 試驗項目 1.試驗不同清洗參數清洗后對材料的影響。 2.試驗不同的清洗參數清洗支架，尋找水滴角測試能低于30的清洗參數。 3.試驗我司其它支架水滴角測試能否低于30。 4.試驗縮短清洗時間，水滴角測試角度能否低于30。 一 驗證我司水滴角測試角度能否低于30。二 試驗項目一試驗項目一：試驗不同清洗參數對材料的影響。 實驗方法實驗方法：取2835材料，分別以不同功率、不同清洗時間清洗，以相同體積水滴測試水 滴角角度并檢查材料外觀。測試條件條件一（200W/2min）我司正常使用的6#程序條

2、件二（200W/4min）條件三（200W/6min）測試結果材料外觀發黃正常正常 試驗過程三測試條件條件四（350W/2min）我司正常使用的2#程序條件五（ 350W/4min）測試結果材料外觀發黃正常 實驗小結實驗小結：等離子清洗功率、時間參數過大會造成材料損傷，等離子清洗功 率、時間參數過參數過小會造成材料清潔程度不夠。 試驗過程三測試條件14#程序 （壓力60m Torr、功率300W、時間3min、氣體流量100sccm） 11#程序 壓力60m Torr、功率400W、時間3min、氣體流量100sccm）測試結果 試驗過程三 試驗項目二試驗項目二：試驗以不同的清洗參數清洗支架，

3、尋找水滴角測試能低于30的清洗參數。 實驗實驗1：抽取我司目前使用的程序進行清洗驗證，測試水滴角角度。.清洗條件2#程序 （壓力40m Torr、功率350W、時間2min、氣體流量60sccm） 6#程序 （壓力40m Torr、功率100W、時間2min、氣體流量40sccm）測試結果 試驗過程三實驗小結實驗小結：初步確認以11#等離子清洗程序清洗后水滴角測試角度小于30。清洗 條件壓力60m Torr、功率400W、時間3min、氣體流量100sccm測試 結果 試驗過程三 試驗項目二試驗項目二：試驗以不同的清洗參數清洗支架，尋找水滴角測試能低于30的清洗參數。 試驗試驗2：再次以我司等

4、離子清洗機11#清洗程序清洗2835支架，測試水滴角角度。.實驗小結實驗小結：再次以等離子清洗機11#清洗程序清洗2835支架，水滴角測試角度 小于30。清洗 條件壓力60m Torr、功率400W、時間3min、氣體流量100sccm測試 結果 試驗過程三 試驗項目三試驗項目三：試驗我司其它支架水滴角測試能否低于30。 實驗方法：實驗方法：以我司等離子清洗機11#清洗程序清洗3014支架，測試水滴角角度。. 實驗小結實驗小結：以等離子清洗機11#清洗程序清洗3014支架，水滴角測試角度低 于 30。清洗 條件壓力60m Torr、功率400W、時間3min、氣體流量100sccm測試 結果

5、試驗過程三 試驗項目四試驗項目四：試驗縮短清洗時間，水滴角測試角度能否低于30。 試驗試驗1：將11#離子清洗程序清洗時間縮短至1min，測試清洗后水滴角角度。 實驗小結：實驗小結：將11#等離子清洗程序清洗時間縮短至1min，水滴角測試角度低 于 30。清洗 參數壓力60m Torr、功率400W、時間3min、氣體流量100sccm測試 結果 試驗過程三試驗項目四試驗項目四：試驗縮短清洗時間，水滴角測試角度能否低于30試驗試驗2：將11#離子清洗程序清洗時間縮短至0.5min，測試清洗后水滴角角度 實驗小結實驗小結：將11#等離子清洗程序清洗時間縮短至0.5min，水滴角測試角度大于 301.離子清洗機功率、時間參數過大會造成材料損傷2.以11#離子清洗程序清洗支架，水滴角測試2835、3