1、電子級磷酸鹽簡介電子級磷酸屬于高純磷酸，廣泛用于大規模集成電路、薄膜液晶顯示器（TFT-LC陰微電子工業,主要用于芯片的清洗與蝕刻 ，其純度與潔凈度對電子元器件的成品率、電性能及可靠性有 很大影響，純度較低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板級，純度高的用于電子晶片生產過程的清洗與濁刻（稱為IC級）。電子級磷酸還可用于制備高純磷酸鹽，也就是高純有機磷產品的主要原料，另外還可用作超高純試劑與光纖玻璃原料等。產業鏈上游.中游江下游制作工藝電子級磷酸可由元素磷或磷的氧化物經化學反應得到，也可由成品磷酸7化精制而得制備的關鍵在于控制并達到所要求的堿金屬與重金屬雜質離子的含量與顆粒度。目前有如下幾種主要制

2、備工藝：1）用高純磷制備電子級磷酸；2）用高純三氯化磷制備電子級磷酸;3）用三氯氧磷制備電子級磷酸。提純工藝主要有：1）磷酸的凈化精制法；2）有機溶劑萃取法;3）冷凍結晶法；熔融結晶法；5） 其她凈化法其她的凈化方法有電滲析：電滲析法：膜分離。電子級磷酸的國際質量標準國際半導體設備與材料組織（SEMI）將電子化學品按應用范圍分為SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8與SEMI-C12四個等級。我國則劃分為 BV-I、BV-II、BV-出與BV- IV四個等級，BV- m級已達到國際 SEMI-C7質量標準，適用于018112dm工藝技術的加工制作，這就是目前 我國生產的較高水平的微

3、電子化學品。國內相關 試劑標準國際半導體 設備與材料 組織標準相對應IC集成 度對金屬雜 質要求控制微 粒要求控制微 粒指標主要用途BV I級SMEI-C1C264K<100 ppb1 um<25 個/適用于小規模集成電路及電子器件加工工藝，用于小于1、2um線寬電路蝕刻與液晶工 藝。BV III級SMEI-C74M<10 ppb0、5um<25 個/適附于較大規模集成電路及 薄膜液晶加工工藝，用于0、 8- 1、2um線寬電路蝕刻。BV IV 級SMEI-C8256M<1 ppb0、5 um<5個/適用于大規模集成電路加工 工，用于小于0、2- 0、6um

4、 線寬電路蝕刻。BV V級SMEI-C1216G< 0、1 ppb0、2 um協定適用于大規模集成電路加工 X2； ,MT小于 0、09- 0、20um 線寬電路蝕刻。國內外技術差別f工業級食品級初級電子級磷酸(BV I)1 I高純電子級磷酸(BV II、BV III、BV IV BV V)85%磷酸/（元/t）38004800我國能實現自主生產80001600030000我國處于研發階段，產品使 用依賴進口國內技術水平：目前國內市場所需 MOS級、BV電子級磷酸已有工廠生產 ，BVII級與BVIII電子 級磷酸仍處于研發狀態，所需產品依賴進口。國外技術水平：高純電子化學品的生產技術在國

5、際上尚處于高度保密與高度壟斷階段，生產技術主要由德國、日本與美國等少數幾個發達國家掌握，有關生產方法、工藝技術、實驗研究、產品質量指標體系的確立及分析方法、設備包裝材質的研究等等內容鮮見報道，國外技術擁有方甚至不進行實質性專利申請，技術研發機構很難檢索到有價值的技術文獻信息。 技術難點：高純電子化學品技術的研發必須依靠自主創新，建立完整的研發、生產、檢測及包裝體系，但在該技術的開發存在著工藝、設備、材料、控制等許多難題，技術開發與生產控制難度很高，研發投入大，即便就是建立一個小型實驗室，至少需要數百萬元的投入 ，如果建設中等規模的工業化裝置，總投資至少在數千萬元，甚至過億。我國電子磷酸市場現狀

6、(1)企業規模小，目前國內30多家，只有十幾家企業進行生產與銷售高純磷酸，且規模均不大，主要集中在江蘇、四川與貴州。(2)國內生產的產品只能達到高純磷酸低端產品要求，只能應用于電子工業的液晶顯示器生產上作清洗劑。(3)高純磷酸由于其專利技術等原因，致使我國IC、LED TFT-LCD亍業用的高純磷酸長期依賴進口，而目前我國市場上的高純磷酸供應商主要集中在日本、美國與德國。(4)我國電子級磷酸出口量遠遠大于進口量，這些出口的初級產品大多被用于再提純，生產更高級別的產品，又部分返銷回國內。(5)我國總體技術水平落后于發達國家，而且，原材料的消耗以及生產成本普遍高于國外研發高純磷酸新技術，提高國內高

7、純磷酸產品質量，使產品應用于IC、LED TFT-LC游行業，擺脫長期依賴進口,將就是我國高純磷酸發展的方向。電子磷酸市場規模（2005年我國電子級磷酸總產量約17、5kt,進口量約2kt,出口 14、5kt,表觀消費量為5kt左右。）云南化工2009 年 10 月第 36 卷第 5 期隨著我國信息產業與電子行業的高速增長,中芯國際、富士康等大型半導體與電子企業集團向中國市場轉移,國內電子級磷酸需求也快速增長。預計2013 年電子級磷酸需求量16 萬噸 ,其中面板級10萬噸（單彳7000元/噸）,IC級6萬噸（單價15000元/噸），市場合計16億元。電子磷酸下游需求來源近年來由于電子工業工業與液晶顯示電視迅速發展,用于半導體、液晶顯示器及其她電子設備作蝕刻劑的電子級磷酸需求增長強勁。目前我國已成為世界LCD 需求增長最快的國家 ,2011 年的轉移,特別就是武漢光谷、富士康、 中芯國際等大型電子產業在武漢的安家落戶,我國將成為世界重要的集成電路（IC）制造基地之一。我國電子專用超凈高純化學試劑需求量超過1萬t,年均增長率超過20%。2010年中國市場需求量達到15萬16萬t/a,市場規模已超過