1、流體機械及工程專業優秀論文渦輪分子泵抽氣性能及臨界轉速的研究關鍵詞：渦輪分子泵性能測試理論計算模態分析臨界轉速真空泵摘要：渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子和 間配置來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片 的形狀設計，加工方法，動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很 大。本課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦 輪分子泵水平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產 tmp1500和萊寶公司牛產的tmp340m進行抽氣性能的理

2、論驗證，通過與實測抽速 的結果對比可以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不 容忽視的問題。因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件 進行模態分析求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超 出不發牛共振的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行時有可能發牛共振，提出了該 渦輪分子泵的結構改造方案，以避免共振的發生。正文內容渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間 配置來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的 形狀設計，加工方法，動靜

3、葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。 本課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣 性能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵 水平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500 和萊寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對 比可以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的 問題。因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態 分析求出前15階振型及固有頻率（臨界轉

4、速），此柔性軸的設計轉速超出不發牛 共振的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行吋有可能發生共振，提出了該渦輪分子 泵的結構改造方案，以避免共振的發生。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。 木 課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500和萊 寶公司生產的tm

5、p340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態分析 求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超出不發生共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行時有可能發生共振，提出了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發牛。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的形狀 設

6、計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。 本 課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500和萊 寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達兒萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此木課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態分析 求岀前15階振

7、型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超岀不發生共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行時有可能發生共振，提岀了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發生。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。 本課題基丁現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500和萊

8、 寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態分析 求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超出不發牛共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行吋有可能發生共振，提出了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發生。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，

9、每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。木課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500和萊 寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態分析

10、求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超出不發生共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行時有可能發生共振，提出了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發牛。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。本課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp

11、1500和萊 寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達兒萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此木課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態分析 求岀前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超岀不發生共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行時有可能發生共振，提岀了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發生。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子和間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分

12、子泵的轉速，每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。 本 課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差界和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500和萊 寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。 此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分 鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansy

13、s軟件進行模態分析 求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超出不發牛共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行吋有可能發生共振，提出了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發生。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。木課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對

14、兩款樣泵：國產tmp1500和萊 寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態分析 求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超出不發生共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行時有可能發生共振，提出了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發牛。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒

15、傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。本課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500和萊 寶公司生產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達兒萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此木課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系

16、統用ansys軟件進行模態分析 求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速），此柔性軸的設計轉速超出不發生共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行時有可能發生共振，提岀了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發生。渦輪分子泵是一種動量傳輸式真空泵，它靠高速旋轉的渦輪轉子和定子相間配置 來工作，其定子和轉子葉齒傾角方向相反，渦輪分子泵的轉速，每級葉片的形狀 設計，加工方法,動靜葉片的排列方式對抽速、壓縮比等性能參數影響很大。本課題基于現有渦輪分子泵的研究情況，通過實驗比較國內外渦輪分子泵的抽氣性 能，分析結構差異和設計、制造理念的不同，進而提出了提高我國渦輪分子泵水 平的研究方向可以向整體轉子方向轉

17、變的設想。對兩款樣泵：國產tmp1500和萊 寶公司牛產的tmp340m進行抽氣性能的理論驗證，通過與實測抽速的結果對比可 以進一步驗證此理論驗證方法的正確性。此外，渦輪分子泵的轉子轉速每分鐘高達幾萬轉。泵長期在高速下運行，其工作可靠性和穩定性是不容忽視的問題。 因此本課題結合實際一款渦輪分子泵對其轉子系統用ansys軟件進行模態分析 求出前15階振型及固有頻率（臨界轉速）,此柔性軸的設計轉速超出不發牛共振 的轉速范圍要求，該渦輪分子泵運行吋有可能發生共振，提出了該渦輪分子泵的 結構改造方案，以避免共振的發生。特別提醒九正文內容由pdf文件轉碼生成，如您電腦未有相應轉換碼， 則無法顯示正文內容

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