1、應屆大學生入司培訓教材編號: TM-CU-070-A曝光機類型及對位機理培訓教材修訂日期: 2010/08/10FAPS700曝光機培訓學習資料一、 結構簡圖及主要構成組成：主要由對位系統、傳送系統、曝光系統、冷卻系統、抽真空系統，清潔機、電腦主機等組成。對位系統曝光系統出料區輸送系統對位系統：采用中心拍板對位方式，包括預對位和檢測區兩部分組成，每部分包含2個CCD；傳送系統：起板的輸送作用，包含從進板到出板過程中全部的傳送環節，分輪子傳動和吸盤傳動兩種方式；曝光系統：完成對PCB的曝光完成圖形轉移，由燈箱、冷光鏡、反光鏡、曝光玻璃等組成；冷卻系統：控制曝光室內的問題，防止由于溫度過高導致菲林

2、產生變形，采用水冷的方式，目前凍水供水壓力5Bar,溫度5，由凍水機、熱交換器、高效過濾器、循環管道組成；抽真空系統：曝光時抽真空及傳送過程中吸盤抽真空，主要由真空泵、真空吸盤等組成；清潔機：曝光前對板面進行一次清潔，防止灰塵對線路產生不良影響；電腦主機：實現自動控制的平臺。二、 工作過程1、 工作原理2、 基本操作：開機：打開壓縮空氣，、凍水閥門，打開總電源，按下綠色I健，機器啟動， 按下control on ，點燈，泵啟動，進入自檢，完成后進入下一步；裝菲林：按下load artwork,進入裝菲林頁面，用方向健手動將菲林靶點移動至屏幕大致中心位置，按下ENTER后機器自動開始裝菲林；裝好

3、后根據提示裝墊條；按parameters進入參數設置畫面，設置完成后按back返回或者按load/store進入程序選擇畫面，選擇需要的程序后按done返回假如機器內部出故障需要手動排除，按下remove，打開需要排除故障的部分，移走需要的板或菲林，按下continue按camera進入燈光設置區，設置完成后按back返回設置全部完成后按automatic,選擇endless mode開始做板假如需要進入手動操作狀態，按service進入關機：按下off，選擇yes,再次按下off，選擇yes,系統自動關閉，完成后手動關掉總電源；3、FAPS700的優點：采用單面曝光，有預對位生產效率高，自動

4、化程度高，旋轉燈罩不采用碳刷，采用不銹鋼材料制作不易掉油漆，使用能耗較低的5KW曝光燈等。三、 點檢項目1、 日常維護檢查項目1） 查各開關按鍵是否損壞；2） 密封條是否破損，玻璃盤是否有擦花、劃痕或破損；3） 開機前是否有燒焦等異味自機內發出；4） 檢查框架運行是否平穩，進出盤時是否有異響；5） 各程序設置鍵設置是否良好，各開關按健動作是否正常，急停鍵是否起到保護作用。2、 設備點檢項目1） 檢查有無漏冷凝水；2） 檢查抽真空是否達到要求（90%）；3） 檢查運作過程中有無異常聲音；4） 檢查各吸嘴是否完好；5） 檢查安全保護系統是否完整；6） 檢查真空泵有無異響；7） 檢查各參數設置是否正

5、確；8） 檢查冷卻系統運轉是否正常（202）；9） 檢查線路是否凌亂，并整理；10）檢查抽風管有無破損；11）檢查框架導軌是否松動，潤滑是否良好；四、 保養項目（括號內內容為保養基準）1、清潔機內灰塵、雜物（目視無塵、雜物）。2、檢查進出板盤傳送是否平穩，潤滑軸承及導軌（平穩、潤滑）3、檢查預對位臺動作是否順暢（順暢，無異響）。4、檢查支撐氣簧是否夠力，如不夠力則更換（夠力）。11 5、檢查抽真空是否良好，真空泵有無異常，每半年換一次真空泵油（菲林真空0.9-1.0bar,接觸真空0.4-0.6bar,吸板真空0.1-0.2bar）6、檢查曝光燈有無發黑、變形，如有需要則更換，清潔各反光罩(無

6、發黑、變形)7、檢查曝光燈快門開啟是否良好（及時，緩沖良好）8、檢查冷卻系統工作是否正常（202）9、檢查進風高效過濾器，如有破損或每年更換一次。10、檢查各感應器感應是否良好，調整或更換（手動逐個檢查）。11、檢查各電器元件是否良好，CCD對位是否清晰準確（做板測試）。12、檢查各安全開關是否完好有效（手動檢查）。13、測試能量均勻性，若能量偏差10%。測進行調整。 14、清理放板機真空發生器及各部件，調整并使吸盤吸板處于最佳狀態。15、清理放板機內外部，潤滑各運動部件。 16、檢查放板機各部件動作是否正常，必要時調整。17、檢查進出板段及清潔機傳送是否平穩，膠輪有無老化、破損及錯位，潤滑傳

7、送鏈條。五、 常見問題及處理1、 曝光不良在保證菲林沒問題的前提下，檢查曝光時抽真空是否正常，測試曝光能量均勻性是否在工藝要求范圍內。2、 對位對不上先判斷是在預對位對不上還是在檢測區對不上，假如在預對位對不上，檢查板和菲林的尺寸是否相配，菲林是否裝反，進板方向是否放錯，再檢查拍板是否順暢，CCD感應是否良好，靶點圖象是否清晰；在檢測區對不上位，檢查清潔菲林是是否有認為造成菲林移動，裝菲林過程中動作是否順暢，對位銷釘配合是否良好，吸板過程是否順暢。 3、其它故障列表PosErrorIndicationCause/action1Display:LOCKING ERRORNO COMPRESSED

8、 AIRLock cannot be opened or closed/No or too little(4bar)Compressed airCheck compressed air2Display:Rotate errorFrequency converter errorHas not traversed to the rotate positionCheck fuse F5Check Q1 motor over-current switchCheck service updates3Rotate drive not functioningRotate drive defectMotor

9、over-current Q1 rippedFrequency converter error:LEDs are not illuminated or are blinkingCheck fuses F4&F5Check Q1 motor over-current switch enable PLC outputO:4/8 Check service updates4Transport belt does not workA5 speed regulating rheostat defectiveM1 conveyor belt drive or M1.1 defectiveCheck fus

10、es F3,F6,F7&F8Exchange speed regulating rheostatCheck k7 enableCheck M1/M1.1 drivesCheck service updates5Output belt not functioningOutput belt not working Same as pos.4 but also check drive M4Check service updates6Display:turning errorW2 turning drive defective A6 speed regulating rheostat defectiv

11、eIs the lid closed?Check fuses F3,F6,F7&F8Check k9 enableCheck M2 driveCheck service updatesExchange speed regulating rheostat7Equipment cannot be switched onNo mains supplyReset emergency-stopCheck fuse F2Check K1 cut-outCheck service updates8PLC input signals missing Check fuse f5Check service upd

12、ates9PLC output signals missingCheck fuses F#,F6&F8Check service updates10No display on control panelCheck fuses F5Check service updates11Display:OUTPUT TRANSPORT MONITORING ERRORPCB has not left the turning unitIf possible, remove PCB Check sensot B1/B2Check service updates 12Display:INPUT TRANSPOR

13、T MONITORING ERRORPCB has not been transported completely inIf possible, remove PCB and acknowledge by pressing ENTER,Check sensor B1/B2Check service updates13Display:NO.1 OR NO.2 SUCCEEDING MACHINES NOT ERRORMake succeeding machine readyCheck service updates14Display:PROGRAM ERRORCheck parametersSelected program contains wrong parametersCheck var.1 to var.8 in screens 1&2 in parameters menuCheck service updates15Display:STAND BY15sec.waiting time for PCB expiredWill be activated by a new PCBPr