有限公司Co.,Ltd.文件名稱文件編號潔凈區塵埃粒子檢測操作規程版本狀態V1.3頁碼第1頁有限公司Co.,Ltd.潔凈區塵埃粒子檢測操作規程文件編號：HM-WI-SYS-0026版次：V1.3生效日期：20XX年4月15日分發號：文件變更記錄序號更改原因更改內容更改后版本更改人/日期1新編制全部V1.02第一次修改增加受控的記錄表格編號V1.13第二次修改修改4內容V1.24第三次修改格式調整V1.3潔凈區塵埃粒子檢測操作規程目的：檢測潔凈室（區）中懸浮粒子（塵埃粒子）的數量，以驗證其潔凈環境是否達到規定的級別，為生產合格產品和檢測準確性提供保障。

范圍：適用于本公司十萬級、萬級和局部百級潔凈區塵埃粒子檢測。職責：品質部負責該規程的制定，潔凈區環境監測人員負責執行檢測。內容：懸浮粒子（塵埃粒子）：用于空氣潔凈度分級的空氣懸浮粒子尺寸范圍在0.11μm～1000μm的固體和液體粒子。測試方法：靜態法，通過塵埃粒子計數器來測定潔凈環境空間內單位體積空氣中大于或等于某粒徑的懸浮粒子數，來評定潔凈環境內的懸浮粒子潔凈度等級。儀器設備4.3.1激光塵埃粒子計數器測試要點儀器開機后，預熱至穩定后，方可按照使用說明書的規定對儀器進行校正。（自檢、自校、零計數）采樣管口置采樣點采樣時，在確認計數穩定后方可開始連續讀數。采樣管必須干凈，嚴禁滲漏。采樣管的長度應根據儀器的允許長度。除另有規定外，長度不得大于1.5m。計數器采樣口和儀器的工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產生測量誤差。必須按照儀器的檢定周期，定期對儀器作檢定。（視儀器本身特點、使用頻率、使用環境等決定。）測試條件測試狀態測試前：被測試潔凈室（區）的溫濕度須達到規定的要求，靜壓差、必須控制在規定值內。被測試潔凈室（區）已消毒。測試狀態有靜態和動態兩種，并在報告中注明測試狀態。測試人員：測試人員必須穿戴符合環境潔凈度級別的工作服。靜態測試時，室內測試人員不得多于2個人。測試時間對單向流，如局部百級潔凈工作臺，測試應在凈化空調系統正常運行不少于10min后開始。對非單向流，如10000級、100000級以上的凈化房間，測試應在凈化空調系統正常運行不少于30min開始。塵埃粒子計數最少采樣點數目：可按表1確定，每個采樣點重復采樣三次。表1塵埃粒子檢測最少采樣點數目面積X（㎡）潔凈度等級10010000100000X<102--32210≤X<2042220≤X<4082240≤X<1001642100≤X<20040103200≤X<40080206注：對于100級單向流潔凈室（區），包括100級潔凈工作臺（bench），面積指的是送風口的表面積；對于10000級以上的非單向流潔凈室（區），面積指的是房間面積。采樣點的布置：工作區測試點位置離地0.8～1.5m左右（略高于工作面）?？稍陉P鍵設備或關鍵工作活動范圍處增加測點，采樣點的布置應力求均勻，避免采樣點在某局部區域過于集中，某局部區域過于稀疏。記錄：測試報告中應記錄房間溫度、相對濕度、測試狀態及測試數據。4.6.4檢測操作：4.6.4.1用激光塵埃粒子計數器進行采樣：當采集≥0.5μm粒子時，百級/100級潔凈區采樣量大于5.66L/次，萬級/10000級和十萬級/100000級大于2.83L/次；當采集≥5μm粒子時，百級/100級、萬級/10000級和十萬級/100000級潔凈區采樣量大于8.5L/次。4.6.4.2采樣完成后，用激光塵埃粒子計數器直接進行計數，打印檢測結果。潔凈區內的塵埃粒子必須低于所選定的評定標準（見表2）。表2不同潔凈級別潔凈區塵埃粒子合格標準潔凈度級別百級/100級萬級/10000級十萬級/100000級要求值≥0.5μm≤3500≤350000≤3500000≥5μm0≤2000≤20000行動限值≥0.5μm35003500003500000≥5μm0200020000警戒限值≥0.5μm32001000001000000≥5μm——170015000結果評定和措施要求每個獨立潔凈室（區）的每個檢測點的塵埃粒子平均數低于要求值，且該潔凈室（區）的全部檢測點平均值的95%置信上限（即UCL值）也低于要求值時，為合格。2）塵埃粒子數超過警報限值時，要求進行調查研究，采取措施保證過程和環境處于受控狀態下。3）塵埃粒子數超過行動限值時，即為不合格，要求立即進行調查研究，并馬上采取行動措施進行糾正