附件：電子行業計量技術規范項目建議書建議項目名稱高低溫濕熱低氣壓試驗設備校準規范制定或修訂□制定█修訂被修訂計量技術規范號JJG(電子)31502-2008計量技術規范性質□檢定規程█校準規范計量技術規范類別□重點█基礎主要起草單位工業和信息化部電子第五研究所聯系人陳再舉聯系電務年限2申請經費10萬參加單位具備的特點□安全□節能□環保□自主創新█其他＿＿＿目的、意義和必要性目的、意義和必要性目的、意義和必要性目的、意義和必要性目的、意義和必要性目的、意義和必要性1、目的、意義及必要性、先進性高低溫濕熱低氣壓試驗設備、高低溫低氣壓試驗設備和熱真空試驗設備等綜合環境試驗設備（以下統稱綜合環境試驗設備）主要用于提供溫度、溫濕度、低氣壓或者高低溫低氣壓等模擬環境試驗條件，以確定設備、組件、元件或產品在以上環境條件下貯存、運輸或使用的適應性。目前，檢定校準該類綜合環境試驗設備可以依據的規程規范有JJG(電子)31502-2008《高低溫低氣壓試驗設備檢定規程》和JJF1101-2019《環境試驗設備溫度、濕度參數校準規范》，但是這2個技術依據都有一定的局限性，只能適用于該類綜合環境試驗設備部分參數的校準，不能覆蓋全部參數，具體情況如下：1）JJG(電子)31502-2008《高低溫低氣壓試驗設備檢定規程》：（a）只有工作空間冷板和輻射板表面溫度的測量方法，沒有工作空間溫度的校準方法；（b）低氣壓的測量范圍為（1×10-1～1×10-8）Pa，測量范圍沒有覆蓋常壓～1×10-1Pa；（c）沒有工作空間溫濕度的校準方法；（d）沒有氣壓爆降時間的校準方法；（e）沒有設備時間偏差的校準方法；2）JJF1101-2019《環境試驗設備溫度、濕度參數校準規范》：（a）只有工作空間溫濕度的校準方法，沒有冷板或者輻射板表面溫度的校準方法；（b）沒有低氣壓的校準方法，沒有升降溫時間/速率和升降壓時間/速率的校準方法；（c）沒有設備時間偏差的校準方法；針對以上存在的問題，為了保障設備制造商和用戶的綜合環境試驗設備量值準確可靠及環境試驗的可靠性，同時為了廣大計量機構校準該類綜合環境試驗設備時有統一的方法，特提出修訂該規程。該規程修訂前和修訂后的主要區別和修訂原因見表1。表1修訂前后區別及修訂原因序號參數修訂前修訂后修訂的主要內容及原因1溫度測量范圍（-70～180）℃（-80～200）℃現規程只有冷板和輻射熱板表面溫度的測量方法，結合實際需求，修訂后增加工作空間溫度的測量方法和溫度的測量范圍。2溫度偏差±3℃±2℃（常壓）；±（3～5）℃（溫度低氣壓綜合）結合GB/T10590-2006性能項目和技術要求對溫度偏差進行修訂。續表1序號參數修訂前修訂后修訂的主要內容及原因3溫度波動度≤2℃±0.5℃結合典型設備技術性能指標和相關標準修訂技術要求。4溫度均勻度≤4℃≤2℃（常壓）；≤（3～5）℃（溫度氣壓綜合）在氣壓低于一定的量值后，溫度主要是靠輻射傳熱，溫度均勻度比常壓下的均勻度要差，結合相關標準細化技術指標。5溫度指示誤差±2℃±2℃（常壓）；±（3～5）℃（溫度低氣壓綜合）在氣壓低于一定的值后，溫度主要是靠輻射傳熱，溫度均勻度比常壓下的均勻度要差，結合相關標準細化技術指標。6溫度變化速率符合試驗設備制造商的要求符合試驗設備制造商的要求修訂后參數名稱修改為“升降溫時間/速率”。7溫度過沖量≤3℃/現在的控制技術越來越好，一般不會出現過沖現象，擬刪除該參數。8溫度過沖恢復時間≤3min/現在的控制技術越來越好，一般不會出現過沖現象，擬刪除該參數。9濕度測量范圍/（10～98）%RH@（10～85）℃為了統一高低溫濕熱低氣壓試驗設備濕度參數的校準方法，增加該參數。續表1序號參數修訂前修訂后修訂的主要內容及原因10濕度偏差/±5%RH（≤75%RH時），±3%RH（＞75%RH時）為了統一高低溫濕熱低氣壓試驗設備濕度參數的校準方法，增加該參數。11濕度波動度/±3%RH為了統一高低溫濕熱低氣壓試驗設備濕度參數的校準方法，增加該參數。12濕度均勻度/≤7%RH（≤75%RH時），≤5%RH（＞75%RH時）為了統一高低溫濕熱低氣壓試驗設備濕度參數的校準方法，增加該參數。13氣壓測量范圍（1×10-1～1×10-8）Pa常壓～1×10-8Pa常壓～1×10-8Pa的設備占該類設備總數量的80%，根據需求修訂氣壓的測量范圍。14氣壓偏差±50%＜0.133Pa時：±80%；≥0.133Pa～≤133Pa時：±25%；＞133Pa～＜1000Pa時：±10%；≥1kPa～常壓：±0.1kPa或±5%（取較大者）；根據GJB1027A-2005和GB/T2423.21-2008的試驗要求，修訂氣壓偏差的技術要求。續表1序號參數修訂前修訂后修訂的主要內容及原因15氣壓指示誤差±25%＜0.133Pa時：±80%；≥0.133Pa～≤133Pa時：±25%；＞133Pa～＜1000Pa時：±10%；≥1kPa～常壓：±0.1kPa或±5%（取較大者）；根據GJB1027A-2005和GB/T2423.21-2008的試驗要求，修訂氣壓指示誤差的技術要求。16氣壓變化速率符合試驗設備制造商的要求符合試驗設備制造商的要求修訂后該參數名稱改為“升降壓時間/速率”；根據GJB150.2A和設備的校準需求，增加氣壓爆降時間的校準方法。17氣壓波動度//氣壓波動情況是體現設備氣壓控制性能的一個重要參數，增加該參數。18時間偏差//設備顯示器時間準確與否會影響整個試驗的持續時間是否準確，甚至會影響環境試驗的可靠性，根據需求增加該參數。根據修訂前后的對照表，主要修訂的內容如下：1）修訂了溫度和氣壓的測量范圍；2）增加了空間溫度和溫濕度的校準方法；3）增加了氣壓波動度的計算方法；4）增加了氣壓爆降時間的校準方法；5）增加了設備時間偏差的校準方法。2.社會效益及應用前景根據統計，近三年該類綜合環境試驗設備檢定校準的數量約1200臺，其中測量范圍在（常壓～1×10-1Pa）的試驗設備占總數量的80%，測量范圍在（1×10-1Pa～1×10-8Pa）的試驗設備占總數量的20%；帶有濕度參數的試驗設備占總數量的10%；需校準試驗設備工作空間溫度的設備占總數量的80%；需校準氣壓爆降時間的設備占總數量的5%；陸續有客戶提出設備時間偏差的校準需求。根據以上統計結果，該規程修訂后將為廣大計量工作者提供該類綜合環境試驗設備統一的校準方法和保障用戶的設備量值準確可靠和環境試驗的可靠性。3.查新結果用“低氣壓”、“真空”、“高低溫”、“溫度”和“溫濕度”等關鍵字查新，分別有“JJG(電子)31502-2008《高低溫低氣壓試驗設備檢定規程》、JJF1101-2019《環境試驗設備溫度、濕度參數校準規范》、JJF1062-2022《電離真空計校準規范》、GB/T5170.10-2017《環境試驗設備檢驗方法第10部分：高低溫低氣壓試驗設備》和GB/T10590-2006《高低溫/低氣壓試驗箱技術條件》。JJG(電子)31502-2008《高低溫低氣壓試驗設備檢定規程》和JJF1101-2019《環境試驗設備溫度、濕度參數校準規范》的局限性前面已有說明，不再贅述；JJF1062-2022《電離真空計校準規范》主要用于電離真空計的校準；GB/T5170.10-2017《環境試驗設備檢驗方法第10部分：高低溫低氣壓試驗設備》和GB/T10590-2006《高低溫/低氣壓試驗箱技術條件》主要用于設備的出廠檢驗檢測。范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性范圍和主要計量特性適用范圍該校準規范主要適用于高低溫濕熱低氣壓試驗設備、高低溫低氣壓試驗設備、低氣壓試驗設備和熱真空試驗設備的校準。計量特性2.1典型高低溫濕熱低氣壓試驗設備型號有：VW2470W，其外觀和技術要求如下：2.1.1設備名稱：高低溫濕熱低氣壓試驗設備2.1.2設備型號：VW2470W2.1.3溫度范圍：-70℃～﹢160℃；2.1.4氣壓范圍：常壓～0.5kPa；2.1.5濕度范圍：（20~95）%RH@（20~75）℃，氣壓≥54kPa時；2.1.6溫度波動度：≤1℃；2.1.7溫度偏差：±2℃（常壓、空載時）；2.1.8溫度均勻度：≤2℃（常壓、空載時）；2.1.9濕度偏差（常壓、空載時）：±5%RH（≤75%RH時），±3%RH（＞75%RH時）；2.1.10壓力偏差：±0.1kPa（≤2kPa時），±5%（2kPa~20kPa時），±1.0kPa（≥20kPa時）；2.1.11升溫時間：≤60min（常溫～﹢160℃）；2.1.12降溫時間：≤60min（常溫～-65℃）；2.1.13降壓時間：≤45min（常壓～1kPa）；2.1.14快速降壓（選購）：＜15s（75.5kPa～18.8kPa）;2.1.15爆炸減壓（選購）;＜0.1s（75.5kPa～18.8kPa）;2.2典型的熱真空試驗設備型號有：HS-ZP-ZK-003，其外觀和技術要求如下：2.2.1設備名稱：熱真空試驗設備2.2.2設備型號：HS系列2.2.3溫度范圍：-70℃~150℃；2.2.4真空范圍：A:1×10-3Pa，B:1×10-5Pa，C:1×10-7Pa；2.2.5溫度偏差：≤±2℃；2.2.6溫度波動度：≤±0.5℃；2.2.7溫度均勻度：±5℃；2.2.8升降溫速率：≥1℃/min；2.2.9真空抽氣時間：≤60min（注：常壓~1×10-3Pa，空載）2.3GB/T10590-2006《高低溫/低氣壓試驗箱技術條件》對高低溫低氣壓試驗設備的性能項目和指標要求如下：2.4GB/T2423.21-2008《電工電子產品環境試驗第2部分：試驗方法試驗M：低氣壓》中的試驗要求如下：2.5GJB150.2A-2009《軍用裝備實驗室環境試驗方法第2部分:低氣壓（高度）試驗》的試驗條件如下：2.6GJB1027A-2005《運載器、上面級和航天器試驗要求》的試驗條件如下：2.7主要計量特性參考以上典型設備、國家標準和相關試驗方法，高低溫濕熱低氣壓試驗設備等綜合環境試驗設備主要的計量特性為：2.7.1溫度測量范圍：（-80～200）℃；2.7.2溫度偏差：±2℃（常壓），±（3～5）℃（溫度低氣壓綜合）；2.7.3溫度指示誤差：±2℃（常壓），±（3～5）℃（溫度低氣壓綜合）；2.7.4溫度波動度：±0.5℃；2.7.5溫度均勻度：≤2℃（常壓），≤（5～10）℃（溫度低氣壓綜合）；2.7.6濕度測量范圍：（10～98）%RH@（10～85）℃；2.7.7濕度偏差：±5%RH（≤75%RH時），±3%RH（＞75%RH時）；2.7.8濕度指示誤差：±5%RH（≤75%RH時），±3%RH（＞75%RH時）；2.7.9濕度波動度：±3%RH；2.7.10濕度均勻度：≤7%RH（≤75%RH時），≤5%RH（＞75%RH時）；2.7.11氣壓測量范圍：常壓～1×10-8Pa；2.7.12氣壓偏差：＜0.133Pa時，±80%；≥0.133Pa～≤133Pa時，±25%；＞133Pa～＜1000Pa時，±10%，≥1kPa～101kPa時，±0.1kPa或±5%（取較大者）；2.7.13氣壓指示誤差：＜0.133Pa時，±80%；≥0.133Pa～≤133Pa時，±25%；＞133Pa～＜1000Pa時，±10%，≥1kPa～101kPa時，±0.1kPa或±5%（取較大者）；2.7.14氣壓波動度：實測值；

2.7.15升降溫速率/升降溫時間：符合設備技術規格書的要求；2.7.16升降壓速率/升降壓時間：符合設備技術規格書的要求；2.7.17時間測量范圍：（1～8）h；2.7.18時間偏差：±5%。3、主要測量標準主要測量標準及技術要求見表2。表2主要測量標準及技術要求序號主要測量標準技術指標用途1溫濕度測量系統溫度：（-80～200）℃，±0.2℃；濕度：（10～98）%RH@（10～85）℃，±1.5%RH測量試驗設備溫度參數和溫濕度參數。（測量冷板和輻射板溫度時采用表面鉑電阻傳感器）。續表2序號主要測量標準技術指標用途2數字壓力計氣壓：（1～110）kPa；準確度等級：0.02級；測量低氣壓、升降壓時間/速率。3真空計測量范圍：常壓～1×10-8Pa；測量不確定度：＜0.133Pa時，Urel=14%（k=2）；0.133Pa～133Pa時，Urel=7%（k=2）；133Pa～1000Pa時，Urel=3%（k=2）；測量試驗設備低氣壓、升降壓時間/速率。4秒表測量范圍：（0.1s～24h）；允許誤差±0.5s/d；測量升降溫時間/速率、升降壓時間/速率，校準設備顯示時間示值偏差。5示波器測量范圍：水平偏轉：4ns/div～8s/div；帶寬：1000MHz；技術指標：時基：5×10-4；上升時間：<0.35ns。測量氣壓爆降時間4主要計量項目和技術原理：4.1主要計量項目主要的計量項目有溫度偏差、溫度示值誤差、溫度波動度、溫度均勻度、相對濕度偏差、相對濕度示值誤差、相對濕度波動度、相對濕度均勻度、氣壓偏差、氣壓示值誤差、氣壓波動度、升降溫時間/速率、升降壓時間/速率和時間偏差。4.2校準點的選擇：溫度、溫濕度、氣壓、溫度氣壓綜合和時間校準點一般根據用戶需要選擇常用的點進行，或選擇設備使用范圍的下限、上限和中間點。4.3測量點位置4.3.1溫度、濕度測量點位置4.3.1.1校準工作空間溫度、溫濕度溫濕度測量系統的溫度和濕度傳感器布置在設備工作空間的上、中、下三個不同層面，中層布點為通過工作空間幾何中心，其他布點位置與設備內壁的距離為各各邊長1/10（見圖1和圖2），遇風道時，此距離可加大，但不應超過100mm。如果設備帶有樣品架或樣品車時，下層測量點可布放在樣品架或樣品車上方10mm處。傳感器測量點布放位置也可根據用戶實際工作需求進行布置。4.3.1.2校準冷板或者輻射板表面溫度時冷板或者輻射板表面溫度采用表面鉑電阻傳感器，布置在放置測試樣品的冷板或者熱板的平面上（見圖3和圖4），其中一個測量點位于平板的幾何中心點，其他測量點距離冷板或者熱板邊緣的距離為邊長的1/10；傳感器測量點布放位置也可根據用戶實際工作需求進行布置。4.3.2氣壓測量點位置測量點為試驗設備內任意點或試驗設備取壓口處。4.4測量點數量溫度傳感器測量點用1、2、3……數字表示，濕度傳感器測量點用A、B、C……字母表示。4.4.1工作空間溫度、濕度測量點數量設備容積≤2m3時，溫度測量點為9個，濕度測量點為3個，溫度測量點5、濕度測量點O位于設備工作空間中層幾何中心處，見圖1；當設備容積＞2m3時，溫度測量點15個，濕度測量點為4個，溫度點10、濕度測量點O位于設備工作空間中層幾何中心處，見圖2；圖1設備容積≤2m3時布點示意圖圖2設備容積＞2m3時布點示意圖4.4.2冷板或者輻射板表面溫度測量點數量平板面積≤1m2時，溫度測量點為5個，溫度測量點5位于平板平面幾何中心處，見圖3；當平板面積＞1m2時，溫度測量點9個，溫度點5位于平板平面幾何中心處，見圖4；圖3平板面積≤1m2時布點示意圖圖4平板面積＞1m2時布點示意圖4.4.3其他情況對于測試樣品放置在樣品架上的設備，當設備容積小于0.05m3或大于50m3時；對于測試樣品放置在冷板或者熱板上的設備，當平板面積小于0.05m2或大于50m2時，可根據實際需要或用戶需求減少或增加測量點數量并圖示說明。4.5溫度氣壓校準4.5.1常壓條件下溫度校準按照規定布放溫度傳感器，將試驗設備設定到校準溫度點，開啟運行，待試驗設備溫度到達設定值并達到穩定狀態后用溫度采集系統采集各測量點溫度，記錄時間間隔為1min,30min內共記錄30組數據，或根據設備運行狀況和用戶校準需求確定時間間隔和數據記錄次數，并在原始記錄和校準證書中進行說明。4.5.2常溫條件下氣壓校準按照規定布放氣壓（或真空）傳感器，將試驗設備設定氣壓校準點，啟動低氣壓降壓功能，在氣壓都達到穩定狀態后用數字壓力計或者真空計測量低氣壓，記錄時間間隔為1min,30min內共記錄30組數據，或根據設備運行狀況和用戶校準需求確定時間間隔和數據記錄次數，并在原始記錄和校準證書中進行說明。4.5.3高低溫低氣壓綜合校準按照規定布放溫度傳感器和氣壓（或真空）傳感器，將試驗設備設定到校準溫度和氣壓校準點，先開啟溫度運行功能，待試驗設備溫度到達設定值后再啟動低氣壓運行功能，在溫度和氣壓都達到穩定狀態后用溫度采集系統和數字壓力計或者真空計測量各測量點溫度和低氣壓，記錄時間間隔為1min,30min內共記錄30組數據，或根據設備運行狀況和用戶校準需求確定時間間隔和數據記錄次數，并在原始記錄和校準證書中進行說明。4.6溫濕度的校準按照規定布放溫濕度傳感器，將試驗設備設定到校準溫度、濕度，開啟運行，待試驗設備溫濕度到達設定值并且穩定后用溫濕度采集系統采集各測量點溫度、濕度，記錄時間間隔為1min,30min內共記錄30組數據，或根據設備運行狀況和用戶校準需求確定時間間隔和數據記錄次數，并在原始記錄和校準證書中進行說明。4.7升降溫時間/速率的校準升降溫時間/速率在常壓下測量，測量點為設備幾何空間中心點或平板表面幾何中心點；把試驗設備調節到要求溫度上，設備到達設定值并且穩定30min后，把試驗設備調節到另一要求溫度上，用秒表記錄溫度（以溫度測量系統示值為準）從溫度范圍的10%上升（下降）到90%所需的時間。4.8升降壓時間/速率的校準4.8.1常規升降壓時間/速率的校準把試驗設備調節到要求的氣壓點，設備到達設定值并且穩定30min后，把試驗設備調節到另一要求氣壓上，用秒表記錄測量點從要求的氣壓點升壓或降壓到另一要求氣壓點的時間。4.8.2爆炸降壓時間的校準將試驗設備上壓力變送器的信號輸出端正負極與示波器輸入端對應連接，再把試驗設備調節到要求的氣壓點，設備到達設定值并且穩定30min后，把試驗設備調節到另一要求氣壓點，在設備爆炸減壓過程中，根據壓力變送器輸出的電壓或者電流值相應突然變小的原理，然后使用示波器捕捉該脈沖信號，并且測量該脈沖信號持續的時間即可以得到爆炸降壓的時間。4.9時間偏差校準在顯示器時間顯示某時的整分鐘時刻，啟動秒表同時計時，在顯示時間到達校準點的時刻點時，迅速用秒表進行記錄，秒表實際測量的結果與時間校準點進行比較得到設備顯示器時間偏差。4.10數據處理4.10.1溫度偏差式中：—溫度上偏差，℃；—溫度下偏差，℃；—各測量點規定時間內測量的最高溫度，℃；—各測量點規定時間內測量的最低溫度，℃；—設備設定溫度，℃；4.10.2溫度指示誤差式中：—溫度指示誤差，℃；—試驗設備所有測量點在30min內的溫度測量平均值，℃；—試驗設備在30min內的溫度指示平均值，℃；4.10.3溫度波動度式中：—溫度波動度，℃；—測量點j在n次測量中的最高溫度，℃；—測量點j在n次測量中的最低溫度，℃；4.10.4溫度均勻度—溫度均勻度，℃；式中：—各測量點在第i次測得的最高溫度，℃；—各測量點在第i次測得的最低溫度，℃；—測量次數；4.10.5濕度偏差式中：—濕度上偏差，%RH；—濕度下偏差，%RH；—各測量點規定時間內測量的最高濕度，%RH；—各測量點規定時間內測量的最低濕度，%RH；—設備設定濕度，%RH；4.10.6濕度指示誤差式中：—濕度指示誤差，%RH；—試驗設備所有測量點在30min內濕度測量平均值，%RH；—試驗設備在30min內的濕度指示平均值，%RH；4.10.7濕度波動度式中：—濕度波動度，%RH；—測量點j在n次測量中的最高濕度，%RH；—測量點j在n次測量中的最低濕度，%RH；4.10.8濕度均勻度式中：—濕度均勻度，%RH；—各測量點在第i次測得的最高濕度，%RH；—各測量點在第i次測得的最低濕度，%RH；—測量次數；4.10.9氣壓偏差式中：—氣壓上偏差，Pa或kPa；—氣壓下偏差，Pa或kPa；—各規定時間內測量的最高氣壓，Pa或kPa；—各規定時間內測量的最低氣壓，Pa或kPa；—設備設定氣壓，Pa或kPa；4.10.10氣壓指示誤差式中：—氣壓指示誤差，Pa或kPa；—試驗設備在30min內氣壓測量平均值，Pa或kPa；—試驗設備在30min內的氣壓指示平均值，Pa或kPa；4.10.11氣壓波動度式中：—氣壓波動度，Pa或kPa；—各規定時間內測量的最高氣壓，Pa或kPa；—各規定時間內測量的最低氣壓，Pa或kPa；4.10.12升降溫時間/速率式中：—設備工作空間幾何中心或平板平面幾何中心測量點的升降溫速率，℃/min；—高的規定溫度，℃；—低的規定溫度，℃；—溫度自規定溫度范圍的10%上升（下降）到90%所需的時間，min；4.10.