標準解讀
《T/CEMIA 036-2021 半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液》標準規定了用于半導體顯示領域的高堿濃度負膠顯影液的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存等方面的內容。該標準適用于液晶顯示器(LCD)、有機發光二顯示器件(OLED)等平板顯示制造過程中使用的高堿濃度負膠顯影液。
技術要求部分詳細列出了顯影液的外觀、pH值、密度、粘度、固含量、殘留量、顯影速率、分辨率等多項關鍵性能指標及其相應的測試條件與合格范圍,確保產品能滿足特定工藝需求。例如,對于pH值的要求可能涉及到控制在某個特定范圍內以保證化學反應的有效性;而顯影速率則直接關系到生產效率及最終產品的質量。
試驗方法章節提供了測定上述各項性能參數的具體步驟和技術手段,包括但不限于使用精密儀器如pH計、密度計等進行測量,并通過標準化實驗來評估顯影效果。這些方法旨在為用戶提供一個客觀公正且可重復性強的檢測依據。
檢驗規則明確了出廠檢驗與型式檢驗的不同要求及抽樣方案,確保每批次產品質量穩定可靠。此外,還對不合格品處理方式進行了說明,以維護消費者權益。
最后,在標志、包裝、運輸和貯存方面,標準給出了明確指示,比如標簽上應包含哪些信息、采用何種類型的容器盛裝、如何安全搬運以及適宜的存儲環境等,以此保障產品從生產到使用的全過程都處于最佳狀態。
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- 現行
- 正在執行有效
- 2023-11-06 頒布
- 2023-12-30 實施



文檔簡介
ICS31030
CCSL.90
團體標準
T/CEMIA036—2023
半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液
Highalkaliconcentrationnegativephotoresistdeveloperforsemiconductordisplay
2023-11-06發布2023-12-30實施
中國電子材料行業協會發布
中國標準出版社出版
T/CEMIA036—2023
前言
本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定
GB/T1.1—2020《1:》
起草
。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任
。。
本文件由中國電子材料行業協會提出并歸口
。
本文件起草單位福建省佑達環保材料有限公司福州大學福建華佳彩有限公司
:、、。
本文件主要起草人劉小勇侯琳熙姚慧君田博肖龍強黃曉莉黃子勗房龍翔陳澤生肖小江
:、、、、、、、、、、
邱小真葉鑫煌李叢香吳玲玲
、、、。
Ⅰ
T/CEMIA036—2023
半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液
1范圍
本文件規定了半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液的縮略語技術要求檢驗方法檢驗規則標志及
、、、、
包裝運輸貯存和安全事項
、、。
本文件適用于由氫氧化鉀表面活性劑和水組成其中氫氧化鉀的質量百分比大于的半導體顯
、,8%
示用高堿濃度負膠顯影液此半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液主要用于半導體制程中負性光刻膠的
。
顯影及薄膜晶體管液晶顯示器或有機發光二極管顯示器彩膜工藝光刻膠的
,(TFT-LCD)(OLED)
顯影
。
2規范性引用文件
下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文
。,
件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于
,;,()
本文件
。
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