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文檔簡介

VLSI超純水站設計摘要:介紹了清華大學微電子所VLSI超純水站工藝設計思想及設備選型,并闡明了對關鍵設備選型及材質的技術要求。

關鍵字:超純水站設計工藝設備選型清華大學微電子所超純水站產水用于超大規模集成電路(VLSI)的清洗工藝,其產水量為10m3/h(24h運行)。超純水站原水溫度≥13℃,壓力為0.2~0.5MPa,原水水質見表1,產水水質(超濾出口)見表2。舍表章1贏沃原渡水泊水傳質童施指燒標奏數冊值暴指驗標高數匹值鋤K弱+蹄(沉m編g舒/迅L盡)愁2乞.木5剪1刮H桿C密O旦3緊-膽(騾m刃g摸/育L雁)換1漠2蒸7渠.名3與1酬N尼a犁+委(甲m株g花/異L根)乎1暈9咳.塌1權4傘C牲l且-諒(串m破g肆/糕L傭)德2錘3橫.昌1葵C羨a竹2桿+攪(加m扁g娘/傅L然)夾3友7躍.遲5禮F列-網(頓m漸g欣/且L疊)秤0肉.擁5專5證M像g河2防+餓(輸m木g印/倆L蘆)季1患5粗.橋5字0紫S澤i肌O潔2拋(矮m費g婦/駛L滴)蠻1豬8果.秤1秩F吩e躬2脈+祥、嘉F賠e隊3痕+冠(信m飾g虎/敞L袋)簽0下.掌0躲5拉C票O飾2含(煮m脾g娘/陰L棋)床4估.極4堆3置Z準n似2連+論(惰m信g爺/恭L點)側0矮.沉0翁4撞總臨硬鈴度魔(閣德勇國序度柴)懂9僅.脆3什M脅n消2起+貨(泡m粥g必/擴L荷)勻0奴.目0斤2新C傻O洽D分(擔m蟲g偷/琴L蚊)求2延.趨2房9晶6短p煙H灑7芒.橫6音6扔兵押西媽表險2茅重出席水引水俊質芹眨項拾目謙數底值莫電才阻柜率攻(資M始Ω紡·蘆c萄m經,壤2綱5喉℃悼)醋≥斥1庭8控微拘粒貢>助0驕.飼1滿贏μ箏m遭(閘個逢/活m敞L晉)鏈≤惰5毅微椅量混離蟻子徹如希K煉+蘋、脈N筑a梅+芹、咳C舒a茶2跑+親、收M修g炸2攏+拒、甘M冤n君2濟+巾、科F辭e到2壞+想、理F槐e吵3欄+筋、慕Z留n假2汽+樣、腥C奧l愧-班(冊μ再g唐/偶L孔)烈≤贈0山.樹5繡總懼金企屬希(絡μ圾g團/灣L唱)隨≤鄰1茶細彼菌限(山個已/飼m奏L塊)膝≤除0寒.盲0全1唉S施i音O攤2圍(汪μ賺g街/肝L粘)僻≤稀5揪T書O曾C幻(類μ稻g嗽/票L妖)叼≤糞1仍0忘溶雹解那氧銳(怒μ甲g覺/期L夠)宏≤受3決0真出道水虛水豆壓潑(織M面P園a挖)牲≥查0象.虛2勾51工藝流程及設備選型根據出水水質要求,采用過濾器、兩級反滲透(RO)加EDI裝置的新工藝,其中EDI裝置為國內第一次使用。系統工藝流程如下:原水→水箱→多介質過濾器→254nm紫外線(UV)殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧膜組裝置→氮封純水箱→185nm除TOCUV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點該工藝設計與傳統工藝的不同之處在于精處理工藝使用了EDI裝置。傳統的混床離子交換再生時消耗大量酸堿,操作管理不便,勞動強度大且污染環境,而電滲析是一項新型膜法水處理技術,它處理含鹽量為500~30000mg/L的水時,比離子交換法經濟。填充床電滲析又稱電脫離子法(Electrodeionization),簡稱EDI,它利用電滲析過程中的極化現象對離子交換填充床進行電化學再生,集中了電滲析和離子交換法的優點,克服了兩者的弊端。EDI裝置比傳統DI混床技術先進:(1)屬于環保型,基本無化學廢物排放;(2)可連續再生;(3)啟動、運行和維護簡單;(4)出水純度高,其電阻率≥16.8MΩ·cm;(5)回收率高,降低了SiO2和TOC指標,且不受入口水質波動的影響;(6)占地面積小;(7)性價比高;(8)無滲漏設計,組件更換容易,無須停機;(9)多種組合,適應各種流量范圍;(10)適應惡劣環境的工業化設計;(11)技術成熟,在國外應用廣泛。繩砌面根亭據螞各滿工及段貝的孕作累用避機庭理地,爪該疼工杜藝匪流選程偉可燦分攔成笨預途處匆理并系肚統療、慘二斷級彩(蘆R賀O敘)亡脫鞏鹽售系生統云、坊E匙D貞I哨去勁離桐子石系筑統默、下脫誘氧泳膜桿除分氧謙系偶統脂及簽循關環除精室處輔理蚊系年統病。脂懸盒1晶.調1須預集處溝理扯系笑統臥捏臟預宰處現理桃系岸統疏包丈括笨原鴿水壟箱準、啦水慢泵轟、易絮壩凝逮劑買加稍藥慎泵創、艘管森道茶混菊合報器球和叛多賽介桃質乖過之濾頂器味及暖反奉洗省水弓泵鎖等炮設嗎備機及兵其蜘相光關表的袍管營道屑和稈儀軍表稠。踩為容調管節律原贊水逼的曉供合應依、朱穩謙定激系肚統朝的無進錢水片壓匹力格,播采失用趨1班5犯m臨3婚還F窮R變P計水球箱棚一盞臺疼。最水奇泵箱為慕預礦處計理篇工廉段詞提移供花動脖力掉,斧采缺用以立悼式齒多竹級隆泵閥,慣共巾2微臺話,抽一褲用絞一幻備陷,碌單可臺唱額醉定仰流狼量被Q暫=舍1粘7野.造5疫m捆3蹈/像h且,叮H搬=柄5獵3誤9搞凍k原P蹤a贊。終洞模絮那凝漸劑皆加記藥慕系騙統掉采忠用蝴P井A怒C將絮壺凝妄劑般,買設液計種投艷加悉量傳為匯1啄0予攔m婚g芝/隱L屠,細質紀量慧分田數侮為范5壇%逼。帆絮據凝雷劑絕計曬量林泵動選奪用訓電榆磁湖驅親動卻隔蓬膜夫計欣量筆泵學。迷管影道我混何合哭器悠使圍原蝴水窮與此絮菜凝息劑撓快之速團充始分賄混彎合嫩。知陶遙多愿介暢質車過替濾枕器宗主纏要襪去束除息水扁中汗的盤懸眨浮兄物衫和瞎膠藥體拳。擱通戶過列在檢進藥水夏管違道尺投奪加在絮祖凝和劑珍,岡采候用買直偵流好凝笨聚河方優式霸,全使拒水風中莊大案部帖分反懸生浮芽物呀和礙膠賠體蛇變狹成鞏微餡絮蘇體品在漁多逝介疊質渣濾挪層陶中得截緞留叫而亮去危除羞。戲多拍介革質嘩過素濾作器妹共培2可臺暴,逢每爪臺熟規蹲格斤為優1稠野5售0神0屢,榜每臉臺鉛過咽濾癢量哄為貴1槐7廊.拔6桑m西3農/堅h碧,篇一逐用貢一謠備畝,卡濾郊速哄為關8脅蠶m裳/回h校,桐反炕洗那強阿度憤為趙1蘇2澤L滅/植(頭m瞇2繩·戰s姓)傅。盒爹周多惜介畏質脾過蹦濾宅器功的困反萬洗肥可粱根排據姻累延計鄰流禽量加來載決罰定有,抱反利洗鎮水床采務用后原赤水枕,承反然洗督泵涼采芹用殃立縱式淡多腹級緩泵慈(貓1懷臺棋)嬸,槽每急次劫反民洗東時旺間假為厲1年0蹈橡m叢i襲n段。太免冰預懲處響理望系語統截應豈保界證扔出章水坡S曠D偉I查值待(鞭微求粒共濃慧度藍指尸數診)噸<忘5歐。碑沃劃1沿.桶2礙扶R幅O飲系旨統降蛛鉗包次括笨兩還級免R油O生裝扇置縮、嘉清雄洗泉系府統誰和怒中氧間遲水釘箱送。胸燃把R臨O絡主辭要賭去洗除卸水帝中懷溶貧解打鹽疫類跪,翠同廉時夢去指除閱一會些宗大財分判子轟和配前覺階郊段躍未狡去撈除迷的準小岔顆勻粒祝等扔。宰選孔用轟E惕S役P菊A憂3職膜似并片采電用循兩菜級輪R迅O壩工寨藝識可堵有逆效災去在除俯水桿中姨離遺子充,稅同衡時費使寫出暈水救滿槳足吳后愈續家E桃D砌I樂裝葵置恐工螞藝運進搜水飄要膽求萍。徑R很O池裝貨置涉包里括堂1殿臺增5山柜μ豬m雁過可濾役器瓶,吹2搏臺擱高奸壓化泵哲和您5亞根屑壓直力援容爆器毛,捕每還根腰壓炸力慰容鋸器里裝異有明5南支豎膜溫,灶一砍級舍R銅O灰按駕2娃∶捆1跡排葡列久,裕二見級宰R伴O情按受1麻∶禮1犁排洲列安。治一服級月R感O扮裝艙置愉產偽水友量榆為筆1兩3瞇.惰2點m獨3法/挎h骨,濁回嚴收澡率愛7滴5享%忙;勝二由級呼R腫O擔產另水本量贏為忌1騙1志.憲2雹m什3穴/婆h緒,癥回葵收細率瑞為搜8曾5淋%扛。綿殊撫為膏確節保大R叉O冬裝物置極的襖穩用定辣運繁行溪,游在敲R虹O假前售設惱置途了字U乎V徐消回毒時器鋼和阻阻溝垢攏劑掘加黎藥墨系莊統糞。陪U煎V率消剩毒繪器虜1授臺配,險處攻理似量圈為社1曲7堪.蹤6看m斑3態/寨h屈,愁主善要短作筒用荷是繭殺文死禽水外中紙的包細盛菌陽,澡避救免奏R擾O罰膜愁受蠶到稱污雕堵榮。鎮紫認外扔燈逮發臥射至波惑長狂為孔2遣5犬4浸殊n名m天,今強辰度吧為紅3洪0談0地0堤0凱滾μ討W外s言/見c爐m焦2繭,室殺屆菌避率憤為拿9基9陳%廳。拆懷磁為氧防吩止計R幟O穴裝懇置游中謠濃獨水居側合結賺垢家,迅須帽在換進滔水竭中杜投或加席阻柔垢怒劑害,漂阻岸垢捐劑諸采供用遵F智L蔑O齊C汪O綱N溫2嘆6侵0酸,跡設斥計蹲投榮加惰量磁為榴2年.榆4致鋸m菌g葉/勵L背。紀或磁采央用塵P感T扎P守0膜1愧0艘0伶阻禾垢富劑筑,丑設放計柱投原加弓量覽為銳1窗虹m效g喉/賠L肢。浸炕洽為脹去汁除壁水返中籌的逝C中O啟2科,均在扁兩騎級寺R念O由之賤間筆投至加縫N撒a零O謹H齡調未節莊一案級碧R風O符出增水妙的喚p哲H禿值粱為童7逆.相8肢3深,我N般a孕O牙H獅的暈設擦計沙投宿加昂量意為冶4作.膨5輩憂m敲g獨/船L龜。錄菊備R凱O怨清穿洗仇系探統拋為秒撬腰裝監設唇備放,霧包昂括賽清弦洗效箱章、欲5恒悶μ孔m鳥過槍濾遺器乞和所清謠洗調泵伙。別當宮R茅O亮系趨統電發嘉生董結林垢己或錄污胡堵叨時巴可等對夸R度O混裝仇置窗進圍行愉清紗洗敢,扶同延時掙也弦可拍清依洗堂E站D撐I籃。對夏袍中庸間魯水禿箱熟的菠功艦能色為角儲浴存槽R端O烘產注水至、骨調軌節緊水憂量辭,傘使太系墨統星運析行勉可敗以階靈旨活電調樣節趁。狠踐肆兩施級社R沉O塌系瀉統己產渡水睡的沉電寶導廢率豆<獲1某0蘋趨μ恭s鳴/塊c濤m目,竊S懇i捐O嚼2短含豪量傲<鈔5反0壁0志支μ爐g拴/劑L杯,頂T槐O疾C孕<幻5忠0警添μ嗚g怠/帆L蝴。暫臘瓣1巧.匪3添追E憐D面I懶去箏離擁子企系財統惜和折脫師氧脂膜祝系堆統哄斥芳包激括焰中杠間守水軌泵互、桑E圈D摸I蒼裝井置憑、判脫光氧放膜榜組辯、秘真謎空匪泵猾。尚究閘中叮間源水婚泵頁為驗E吐D碼I睬裝咱置饅和太脫圾氧旱膜給組藝提屬供奸動秋力吐。絞采瓦用適立青式缺多悉級冶泵映2致臺銳,翼一綠用跪一駕備唯,猴單雀臺敵流謊量暑Q撞=籌1永1到.尾2價m尸3輩/圣h控,山H歷=前4克9偏0尼障k暈P佳a愈。稠毀偵選削用商流礦量清為扣1飽1趕.夕4勻6拾m拼3振/堂h聾的福E縱D慌I伴機逆組饅,律產瞧水饅量堡為抖1蹦0蓮.欣7棗m開3量/艦h撒,星回溫收湊率需為辣9瓶5華%貓,輩產腸水逢電沸阻宗率編穩辱定喚在苦1帳7精.胖5港緞M妙Ω臨·身c桑m越以嬌上尾,帽S頂i占O蒜2鞠<除2憂0胖唐μ仙g奸/午L綠。澇悅井系午統級設偵有夏一枕臺去脫惡氧籌膜健組當,鍬產六水墳量爹為配1把0往.罪7鼓m底3所/勾h尺,衣包金括胖6陪根腥脫綢氧擠膜喬元品件超,已脫栽氧蠢膜求元癢件賓為墓4概×低2扇8歐—茅X漆4派0煉型齊,閑分粗成溫兩壓組姑,午每圓組買三鈴級垃串干聯僚,掙除吊氧沃率拜為何9燥9謊.偉5超8膽%刑,甜出霜水腔含襯氧涌量伯<雁3野0狹暈μ板g墻/麻L拳,著脫隱氧插膜鴿配趁有清一填臺佩2屢B職V理5擁型錢液鞏環旅式反真再空將泵訪,啞真螞空鑒值污為鋒6若.劈6齒5亦依k裁P頁a裝,特抽匆真斧空戀體遺積汽流悶量輛為烈1訪2蒜0凡m卻3穗/桿h畢。皆錫秧1沈.先4賀循木環擺精沒處瘋理啟系繡統傲傳棉循孝環鴨精兆處議理阻系肚統莫包喉括貓超帝純緊水春箱頃、搭超攜純串水磨泵涼,覽去袖除樂T騾O卻C印的暑1嶺8兩5勇刊n召m下U乞V攜裝插置倆、盡超裁純遲水眼拋央光戲混觀床商,忠超尸濾填裝鎖置雄、爺回圓水紗U蛾V魯殺丸菌怒燈笨、量回察水瀉背勺壓果閥棋等丈。爭竄桃超武純削水悲泵偶采啦用返立掉式圣多浪級傅泵鐮共嫩2定臺估,宇一煉用子一熟備摸,戀單豈臺鉛流舉量雖Q功=須1升3說.根8掉m黎3粥/畢h劉,粘H班=熊7私3魯5萌宰k確P文a雁。史根臟據害用隙戶占用弱水玻量掉的井變糕化綠,憶采午用康變贊頻洪裝踩置歐調譽節蛇水圓泵卡的捆轉東速它恒役定媽,蕩供燒水盟壓筆力蔽保朗持恐在走0爪.水2壤5痰矩M忽P素a蜻。銀去告除強T曾O早C唯的啞U泰V況殺堂菌符燈圖單君臺娛處檢理謝量劈為仿1童3員.騾8夢飛m溪3零/嗓h控,與照帝射徒強錢度孟>薪1側8男0煮鞋0兩0凱0棄滿μ焦W綱s膏/泰c掙m叢2餡,化出度水度T冊O牌C津<訴1稿0支量μ扔g胖/覆L使。受超速純高水辛拋稅光備混法床族共岸6鉤臺伯,瓶分廚兩堅級潤,反每梳級熔3股臺球串質聯福,擾單時臺晚產椒水越量海為脈5紛m悉3艙/管h掠,孔設膛計籃流伶速受為咱4泳0話屆m貓/或h閣,者出示水秘電濟阻討率賞>存1酸8丑趙M姥Ω積·憲c盡m盟。憑闖鑒終懲端鬼采盤用客超麥濾健裝案置修可抱保肅證寬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