圖形轉移技術概要服從真理，就能征服一切事物圖形轉移技術概要圖形轉移技術概要服從真理，就能征服一切事物納米結構的圖形轉移技術PresentationPointEvaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL納米結構的圖形轉移技術PresentationPoint物理方法傳統方法化學方法光學光刻技術圖形轉移技術非光刻圖形制備技術納米結構的自組裝技術PresentationPointHerecomesyourfooterPage2Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL分數乘法應用題大致分為兩部分:一部分應用題中,已知數是分數,但數量關系和解答方法都與整數應用題相同;另一部分應用題是由分數乘法意義的擴展而新出現的求一個數的幾分之幾是多少的應用題。求一個數的幾分之幾是多少的應用題是一個數和分數相乘的意義的應用,它是分數應用題中最基本的、也是最重要的。基本的分數乘法應用題是學習分數除法應用題和稍復雜的分數應用題的重要基礎,因為解答分數除法應用題必須以分數乘法應用題的解題思路為依據,而稍復雜的分數應用題又都是在分數乘法應用題的基礎上擴展而成。由此可見,讓學生掌握這類應用題的解答方法具有重要的意義。結合自己教學分數乘法應用題的實踐,筆者認為在引導學生分析數量關系,掌握解答方法時應該注意到“讀、畫、說、寫”四個方面。一、讀――仔細讀題,審清題意讀題是解答應用題的第一步,也是比較關鍵的一步,教師要引導學生讀懂題目,審清題意,領會題目中所創設的現實應用性情境,理解題目中的條件與問題,初步從整體上把握數量關系。為了幫助學生深刻理解數量關系,教師可引導學生在題目中作一些適當的增減,所謂“不動筆墨不讀書”,在這里也同樣適用。例如:為舉行校慶,六(2)班要做180面校旗,已經做了■,還有多少面沒做?(義務教育課程標準實驗教科書六年級上冊第20頁習題)引導學生讀題時,教師追問題目中已經做了■,是做了()的■?讓學生根據題目的意思做適當的補充,有學生補充“已經做了(全部校旗)的■”,有的學生補充“已經做了(180面)的■”等,學生在補充的過程中加深對題目中數量關系的理解。學生在讀某些應用題題目時,教師也可以引導學生“縮句”,抓住本質,凸現數量關系。二、畫――借助線段,細致分析教師引導學生根據自己對題意的理解,用相應的線段(段數與長度)表示出應用題中的條件和問題,借助線段圖分析問題、解決問題,這是解答分數乘法應用題的一種重要的策略。特別是分數連乘應用題,數量關系相對復雜,教師引導學生正確畫出線段圖,借助線段圖分析數量關系顯得尤為重要。筆者在教學時,首先要求學生根據題目中的份率確定把哪一個量看作單位“1”,畫線段圖時先用一條線段表示單位“1”的量,然后根據題目中的數量關系再畫一條線段表示出相對應的量,并要求學生在線段上分別指出相應的條件和問題,進一步明確題意,使學生的思路更加清晰。例如:海象的壽命大約是40年,海獅的壽命是海象的■,海豹的壽命是海獅的■。海豹的壽命大約是多少年?(義務教育課程標準實驗教科書六年級上冊第19頁習題)教學中,讓學生先根據“海獅的壽命是海象的■”,把海象的壽命看作單位“1”,畫一條線段表示海象的壽命,并將表示海象壽命的線段平均分成4份,海豹的壽命就有這樣的3份;再根據“海豹的壽命是海獅的■”,用相應的線段表示出海豹的壽命。海象:海獅:海豹:這樣,學生不僅很容易理解40×■=30(年)表示海獅的壽命,30×■=20(年)表示海豹的壽命,而且從線段圖中也能直接地看出海豹的壽命是海象的■×■,這樣,學生對題目中3個數量之間的關系可以理解得更為深刻。三、說――思維外化,加以剖析在讀懂題目的基礎上,教師引導學生結合所畫的線段圖分析數量關系,說出自己的解題思路,展現學生思考的過程。讓學生將自己的思維過程外化為語言,教師借助學生的語言敘述抓住學生的思維,加以剖析,分析學生思維存在的優勢和缺陷,及時反饋與指導,對學生的數學語言加以引導與規范,在此過程中發展學生的數學思維。分數應用題中總有一個表示份率的分數,這個分數不表示一個具體的量,而表示題目中兩個數量之間的關系,是兩個數量比較的結果。在引導學生說解題思路時要緊扣這個份率,理解兩個數量之間的關系。例如:小軍的飛機模型在空中飛行6分鐘,小峰的飛機模型飛行時間比小軍的短■。小峰的飛機模型飛行了幾分鐘?(義務教育課程標準實驗教科書六年級上冊第22頁習題)教師可引導學生有條理地說出自己的思維過程:這道題中“小峰的飛機模型飛行時間比小軍的短■”與“小軍的飛機模型飛行的時間”進行比較,以“小軍的飛機模型飛行的時間”為標準,所以把“小軍的飛機模型飛行的時間”看作單位“1”,求“小峰的飛機模型飛行了幾分鐘”就是求小軍的飛機模型飛行的時間(6分鐘)的(1-■)是多少。通過這樣的訓練,教師能及時地了解學生解題的思考過程,并加以剖析與指導,這樣的訓練也使學生的思維變得更深刻,更有條理,同時在潛移默化中發展了學生理解和運用數學語言的能力。四、寫――正確書寫數量關系式,集中體現思維過程教師引導學生正確畫出線段的思路,并借助線段圖理解數量關系,說出自己解題的思路,而數量關系式是學生解題思路的集中體現。在分數乘法應用題教學中,訓練學生根據題目中的相關條件寫出相應的數量關系式――通過一個算式準確表達兩個數量之間的關系,不僅有助于學生加深對數量關系的理解,而且能夠促進學生以數學的簡潔方式概括數量之間的關系。例如:三班修補的圖書本數比二班少■,(義務教育課程標準實驗教科書六年級上冊第27頁習題)是()與()進行比較,以()量為標準,把()量看作單位“1”;少■是減少()的■;接著引導學生用等量關系式的形式對數量關系進行概括:二班修補的圖書本數×■=三班比二班少修補的圖書本數。這樣的訓練也為學生學習分數除法應用題作了有效的鋪墊。在接著學習分數除法應用題時同樣要進行寫數量關系式的訓練,而分數除法應用題的數量關系式是從分數乘法應用題的數量關系式變化而來的,如上面的關系式可變化為:三班比二班少修補的圖書本數÷■=二班修補的圖書本數。由此可見,這樣的鋪墊是學習分數除法應用題必不可少的。總之,在分數乘法應用題教學時,教師應引導學生仔細讀題,根據題目中的相關條件正確畫出線段圖,并借助線段圖分析數量關系,說出思考過程,寫出數量關系式,這樣不僅能幫助學生理清數量關系、正確解題,而且能有效地訓練學生的思維,為學生的后繼學習作有效的鋪墊。第一部分課題的提出一、問題提出概念綜述：留守學生是指父母一方或雙方離開農村前往城市務工，孩子卻留在農村由爺爺奶奶或外公外婆照顧的學生；單親家庭學生是指父母離異、父母一方死亡或離家出走，生活起居由父親或母親單獨照顧的學生。教育策略就是如何幫助這些孩子樹立良好的世界觀、人生觀，價值觀，形成良好的心理素質和行為習慣，取得較好的學習效果的相應對策。社會背景：隨著社會經濟的發展，越來越多的農村青壯年進城務工，他們的子女成為留守學生；隨著離婚率的不斷上升，單親家庭孩子也隨之增多，“隔代教育”現象突出。現實背景：留守學生和單親家庭學生存在消極、孤獨、自卑、逆反、報復等不良心理問題，已成為制約學校進一步提高教育教學質量的瓶頸。鑒于以上背景，我們的研究課題《農村高中“留守學生”和“單親家庭學生”群體的教育策略研究》應運而生。二、課題界定本課題研究的內容主要是農村高中――臨澧縣一中“留守學生”和“單親家庭學生”群體的教育策略。三、研究綜述當前國內外對留守和單親家庭學生的教育現狀問題已有四方面的研究：①介紹了國內外的概況。②對他們教育存在問題進行了認真的梳理。③教育問題的成因。④教育對策的研究。四、研究意義1.實踐意義通過該課題的研究，有利于消除和解決留守學生和單親家庭學生在學習、行為、生活、心理等方面存在的諸多問題；有利于豐富、完善和發展相關理論，促使學校問題學生大面積減少。2.研究價值該課題的研究，可以實現對留守學生和單親家庭學生群體中的后進學生的轉化，培養和增強他們的學習興趣和自信心，給其他學校乃至全國留守和單親家庭學生問題的研究提供借鑒。第二部分理論依據一、新課程改革的核心理念在情感上平等對待留守學生和單親家庭學生的同時，注重個性差異，有針對性地進行教育和管理。二、羅杰斯的人本主義教育理論要使學生成為健全的人，不僅要做到“傳授知識”，而且還要通過傳授知識去實現“人格的建設性變化”。以人為本、面向全體、受益終身。三、馬克思主義哲學中共性和個性關系原理任何事物都是一個矛盾體，既是一系列對立統一關系的集合，事物之間可能存在矛盾的共性，同時又各有自己的個性，二者在一定條件下可以相互轉化。第三部分研究目標與內容一、研究目標通過本課題的研究，建立科學規范的學校教育管理機制，提高學校教育教學質量，形成優良的校風、學風、教風，實現“學生成才、家長放心、社會滿意”的目標。二、研究內容1.調查、統計學生群體的家庭背景、學習狀況、理想信念、道德品質、法紀意識、心理狀況等情況，分析現狀。2.制定、完善學生群體的思想道德評價量表，分析不良行為習慣、心理形成的原因。3.探究學校教育與家庭教育之間的關系，建立健全的社會、學校、家庭三位一體的德育教育網絡。4.針對學生群體存在的各種問題，探究良好行為習慣的形成和心理健康教育的模式。5.分析實施有效教育策略過程中可能出現的制約因素，探究預防和處理學生各種問題的有效措施，健全管理制度，形成有效的教育管理模式。第四部分研究的措施與做法一、研究方法主要有文獻研究法、調查研究法、經驗研究法、行動研究法、經驗總結法等。二、研究過程第一階段：前期準備階段（2010年10月―2011年4月）啟動、籌備、組建隊伍，設計總體方案并組織論證，確定課題研究方案，制定第一階段具體研究方案。第二階段：實施階段（2011年5月―2013年10月）本階段是研究的關鍵階段，必須抓好每一個環節。這個階段收集到的資料和得到的結論，對整個研究是否能達到預期目標具有重要意義。第三階段：課題總結驗收階段（2013年11月―2014年5月）聘請專家進行終端結題論證，接受上級對本課題研究的評估，進一步完善研究成果，并使之在臨澧縣乃至常德市各中學推廣，發揮其社會價值。三、措施與做法1.加強理論學習，明確指導思想我們采用了個別鉆研、集中校本培訓與學習、專題報告、會議交流等方法，狠抓教育理論與新課程標準理論、新課改理念的系統學習和外出培訓學習。2.收集整理課題相關資料，形成案例每學期，課題組專門給每一位教師配發一個筆記本，進行業務筆記的記載。同時，學生科給班主任發放一個德育工作手冊，要求班主任對他們的教育情況進行全方位的記載，形成案例資料。3.“四個結合”保證了課題研究的有效實施（1）把“行動研究法”“個案研究法”“經驗總結法”“調查研究法”等四種教育科研方法有機貫穿于研究的全過程。（2）按照“整體―分塊―整體”的整合思路，規劃實施研究的具體步驟。（3）把“個人研究”與“集思廣益”結合起來，發揮每一個研究教師的研究潛能。（4）把每周星期四的學科常規教研活動與課題研究活動結合起來，科學安排研究時間。4.豐富多彩的教育教學活動是課題研究的保障和經驗來源（1）通過個案研究、追蹤記載留守學生和單親家庭學生的學習情況，利用校園網絡信息傳輸，搭建“教師―學生，學生―學生，教師―教師”的互動平臺，“教室―網絡，教師―網絡，學生―網絡”的聯系平臺，“教師―家長，學校―家長，學生―家長”的溝通平臺。（2）開展課題組教師研究經驗交流會，每周星期四下午為交流會時間。（3）課題組把課題研究中積累的或多或少或大或小的經驗，放到校園網“燭光專輯”欄目。第五部分研究結果與結論一、課題研究的內容方面了解農村高中“留守學生”和“單親家庭”群體的學習、行為、生活、心理等現狀，按照群體、性格、成績行為、心理健康程度等方面總結了這一群體后進生的類型及表現形式，按照家庭、學校、社會等方面總結出問題形成的原因。二、課題研究的策略方面1.掌握了較為科學的研究、教育方法，初步形成了一套操作性較強、具有實效性的教育策略，即分類指導、目標激勵、榜樣引領、自我管理、親子溝通等五項策略。2.通過研究，建立了農村高中留守學生和單親家庭學生檔案制度、家長培訓制度、教育評估制度、教育幫扶制度、學校寄宿制度、家訪制度等六種制度。3.形成了優化留守學生和單親家庭學生的心理健康教育、評價激勵教育、文化氛圍教育、分層教育、專題主渠道教育等五類教育措施。三、課題研究的成果方面培養了一支較高素質的專業教師隊伍，撰寫了一些較高質量的教育教學案例、論文和報告。第六部分研究成果及反響一、研究成果1.課題的研究明顯改善了留守學生和單親家庭學生群體的人生態度和價值觀念。課題的研究使學生體會到了成功的樂趣，改善了學生的人際關系，在近三年學校學考、高考中學科成績優秀率、合格率均進入了常德市先進水平。2.構建了破除留守學生和單親家庭學生問題的教育轉化體系。課題組根據研究內容總結出了留守學生和單親家庭學生問題的社會、家庭、學校三大方面的原因，提出了五項策略、六種制度和七類措施的綜合教育轉化體系。3.撰寫了大量論文、案例，形成了一個留守學生和單親家庭學生優化的研究資料庫。課題研究期間課題組成員發表并獲獎的論文共有105篇，并形成了論文集。撰寫了留守學生和單親家庭學生成長的教育案例與故事個案近百篇，并形成教研資料庫。二、社會反響1.校內反響（1）教師反響。增強了教師關于如何教育好留守學生和單親家庭學生的研究意識，為推動教師行動研究常態化提供了新的途徑。（2）學生反響。本課題的研究，使學校留守學生和單親家庭學生在全體學生中受到普遍關注，這一弱勢群體不再受到忽視，而是受到同學學習和生活上的照顧。2.校外反響（1）兄弟學校反響。幾年來，我們接待來自省、市各級領導及石門一中、常德市二中、七中、漢壽一中、桃源一中、澧縣一中、慈利一中、田家邴實驗中學等兄弟學校專家、教師200多人次來我校參觀取經。（2）家長反響。通過“家校通”網絡平臺，由班主任向留守學生和單親家庭學生的家人進行聯系，使遠方的家長能及時了解各自的孩子在學校的真實表現，并相互交流教育體會和經驗。（3）各界反響。愛心人士積極支持學校的教育措施，如我縣佘市鎮一位張姓農民，自己的女兒早已從我校考上西南政法大學，但他的這種愛心行動一直在延續。第七部分問題討論一、學校與社會在解決單親家庭學生和留守學生問題上如何合理配合從國家、政府、社會組織的角度如何轉化單親家庭學生和留守學生群體中的問題學生？如何劃分社會（政府）、家庭與學校在該問題上的責任與義務？二、課題組研究過程中存在的問題與困惑1.課題組教師所掌握的材料有限，視野比較狹窄，理論高度并不高。2.對學生群體在新的社會環境中的表現形式理解不夠深入，研究工作停留于表層。3.將重點局限于這兩類學生中的后進生，對于表現正常甚至優秀的學生反而有所忽視。4.消除這類學生群體的行為、心理障礙是全面提高教育教學質量的關鍵，但學校缺乏專業的心理輔導老師。納米結構的圖形轉移技術PresentationPointEvaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL納米結構的圖形轉移技術PresentationPoint物理方法傳統方法化學方法光學光刻技術圖形轉移技術非光刻圖形制備技術納米結構的自組裝技術PresentationPointHerecomesyourfooterPage2Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL傳統的光學光刻技術PresentationPoint光刻是制造半導體器件和集成電路光刻膠微圖形結構的關鍵工藝技術,思路起源于印制技術中的照相制版,屬于平面工光學平面印制工藝分為兩步:掩曝光源膜的制備和圖形的轉移PresentationPointHerecomesyourfooterPage3Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL傳統光刻技術遇到的困境:PresentationPoint最小特征線寬(MinimumFeaturesize,MFS)決定不僅與曝光光源波長以及光學系統有關,而且還與曝光材料等工藝細節有關MFS=K2/NA式中:k1是為工藝因子;λ為曝光波長;NA為投影光刻物鏡的數值孔徑。1)降低工藝因子(k)OA|(離軸照明)M(移相掩模)及OPC(光學鄰近效應校正)等2)縮短曝光波長(λ436mm(g線)→365nm(線)→248nm(KrF)→193nm(ArF)→157nm→NGL(下一代光刻術)3)提高物鏡的數值孔徑(NA)非浸沒式:0.28→0.42→0480.600.680.750.780.82-0.85(極限)浸沒式:1.3(2003)-144(04-06)→1.64(2007)PresentationPointHerecomesyourfooterPage4Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL新一代光刻技術和納米制造PresentationPoint曝光波長限制了光學光刻技術向更小尺寸器件的應用,進入01m以下的光刻必須采用新一代光刻技術,如X射線光刻(XRL)、極紫外光刻(E∪VL)、電子束光刻(EBL)和離子束光刻(BL)等但是由于短波長光源的獲得,以及新的透鏡材料、更高數字孔徑光學系統的加工,還有大部分材料都強烈的吸收深紫外而被破壞而且,光刻設備所花費的巨大成本,均成為了光刻技術的瓶頸。PresentationPointHerecomesyourfooterPage5Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL電子束光刻(ElectronBeamLithography)PresentationPoint在顯微鏡的基礎上發展起來的。其研究始于20世紀60年代,由德意志聯邦共和國杜平根大學的GHollenstedt和R.Speide提出用電磁場將電子束聚焦成微細東輻照在電子抗蝕劑上,由于電子束可以方便地有電磁場偏轉掃描,所以可以將復雜的電路圖形直接寫到硅片上而無需掩模版優點:高分辨、長焦深、無需掩模(即電子束直寫)、可以在計算機控制下直寫任意圖形缺點:曝光速度慢;生產效率比較低;難以實現高精度的對準和套刻電子東光刻中使用的曝光機一般有兩種類型:直寫式與投影式。直寫式就是直接將會聚的電子束斑打在表面涂有光刻膠的襯底上,不需要光學光刻工藝中最昂貴和制備費時的掩模;投影式則是通過高精度的透鏡系統將電子束通過掩模圖形平行地縮小投影到表面涂有光刻膠的襯底上PresentationPointHerecomesyourfooterPage6Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL幾種電子束曝光系統的性能系統型號JEOL9300FSVB6UHRRaith,e-Line源類型熱場發射熱場發射熱場發射加速電壓50kv,100kv50kV-100kv100V-30kv圖型發生器20bit50MHz20bit50MHz16bit10MHz掃描尺寸500pm2Imn2mm最高分辨率<20nm3~5nm20nm疊層精度25nm25nm40nm拼接精度25nm60nm可加工最大晶片尺寸12inch4inchPresentationPointHerecomesyourfooter7Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL極紫外光刻和X射線光刻PresentationPoint采用波長在01~10nm的X射線或者波長在10~70m的軟X射線(即紫外光)進行光刻,縮小特征線寬的極限■傳統的透鏡對極紫外光不是透明的,也不能聚焦Ⅹ射線,而其能量輻射會很快地破壞掩模和透鏡用的材料最顯著的特點是采用Mo/Si多層材料構成布拉格反射器,而非傳統光學光刻中的球面透鏡,用做掩模的材料是可以吸收極紫外線的TaN,Cr,W等XRL的優點:高分辨力;大焦深和大像場等;分辨力可達40nm,它可用于ULSI納米加工和MEMS等。XRL的缺點:采用大型的、昂貴的同步加速器,巨額耗資,對量產IC工藝難以接受;高集成的1倍掩模版難制作;與光學光刻機相比,生產效率極低。制作所需的設備將是非常昂貴PresentationPointHerecomesyourfooter8Evaluadononly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2004-2017AsposePtyL離子