3.1電阻式傳感器

電阻式傳感器是一種把被測參量轉換為電阻變化的傳感器，是目前在非電量檢測技術中應用最廣、最成熟和最重要的傳感器之一，常用的電阻式傳感器有電位器式、電阻應變式、熱敏效應式等類型的電阻傳感器。

應變式電阻傳感器是一種利用電阻應變效應，由電阻應變片和彈性敏感元件組合起來的傳感器。將應變片粘貼在各種彈性敏感元件上，當彈性敏感元件感受到外力、位移、加速度等參數的作用，彈性敏感元件產生應變，再通過粘貼在上面的電阻應變片將其轉換成電阻的變化。通常，它主要是由敏感元件、基底、引線和覆蓋層等組成。其核心元件是電阻應變片（敏感元件），它主要作用是敏感元件實現應變—電阻的變換。根據敏感元件材料與結構的不同，應變片可分為，金屬電阻應變片和半導體式應變片。下頁上頁返回3.1.1金屬電阻應變片（1）基本結構金屬電阻應變片的基本結構如圖3.1所示。它由蓋層、敏感柵、基底及引線四部分組成。敏感柵可由金屬絲、金屬箔制成，它是轉換元件，被粘貼在基底上。用黏合劑粘貼在傳感器彈性元件或試件上的應變片通過基底把應變傳遞到敏感柵上，同時基底起絕緣作用。蓋層起絕緣保護作用。焊接于敏感柵兩端引線連接測量導線之用。圖3.1應變式電阻傳感器的結構原理示意圖1—敏感柵2—基底3—引線4—蓋層5—黏合劑下頁上頁返回目前，常用的金屬電阻應變片主要有：金屬絲式應變片、箔式應變片、及金屬薄膜應變片等結構形式。金屬絲式應變片的敏感柵由金屬絲繞制而成。金屬絲材料為電阻率大而電阻溫度系數小的材料。絲式應變片的規格一般以使用面積（L×b）和敏感柵的電阻值來表示。阻值一般在50—1000Ω范圍內，常用的為120Ω。箔式應變片是利用光刻、腐蝕等工藝制成的一種很薄的金屬薄柵，厚度在0.003-0.010mm。其優點是表面積與截面積之比大，散熱條件好，允許通過電流較大，可制成各種需要的形狀，便于大批量生產。金屬薄膜應變片是采用真空濺射或真空沉積的方法制成，它將可產生形變的金屬或合金直接沉積在彈性元件上而不用粘合劑。這樣應變片的性能更好，靈敏度高。所謂薄膜指厚度在0.1μm以下的金屬膜。厚度在25μm左右的稱厚膜箔式應變片即屬厚膜。（2）金屬電阻應變片的工作原理

金屬電阻應變片的工作原理是利用金屬材料的電阻定律。當應變片的結構尺寸發生變化時，其電阻也發生相應的變化。下面介紹應變片電阻變化與應變的關系。下頁上頁返回金屬導體的電阻為（3.1）式中：——為金屬導線電阻率（）；

l——金屬絲長（m）；A——金屬絲的橫截面積（，）；d——金屬絲直徑（m）。如果對電阻絲長度作用均勻應力，則導線電阻的相對變化：（3.2）

式中：材料的軸向應變，令為金屬絲徑向應變，常用單位（）根據材料力學的知識，在彈性范圍內，金屬絲受拉力，沿軸向伸長時，沿徑向縮短，則軸向應變和徑向應變的關系為：下頁上頁返回式中：——為金屬材料的泊松系數。

根據此關系，故（3.3）式中：——為電阻絲幾何尺寸改變引起，為形變效應部分；——為電阻絲的電阻率隨應變的改變所引起，為壓阻效應部分；對大多數金屬電阻絲而言，其值為常數，通常很小，可以忽略。該式表明材料電阻的變化是應力引起形狀的變化和電阻率變化的綜合結果。

下頁上頁返回3.1.2半導體應變片半導體應變片是用半導體材料，采用與絲式應變片相同方法制成的半導體應變片。其結構如圖3.2所示。圖3.2半導體應變片1—基片2—半導體敏感條3—外引線4—引線聯接片5—內引線半導體應變片的工作原理是基于半導體材料的壓阻效應。所謂壓阻效應是指，當半導體材料的某一軸向受外力作用時，其電阻率發生變化的現象。半導體應變片受軸向力作用時，其電阻相對變化為（3-4）為半導體應變片的電阻率相對變化，其值與半導體敏感條在軸向所受的應變力之比為一常數，即（3-5）式中:——半導體材料的壓阻系數。下頁上頁返回將式(3-5)代入式中得：（3-6）其中項隨幾何形狀而變化，項為壓阻效應，隨電阻率而變化。實驗證明：比大近百倍，所以可忽略，因而半導體應變片的靈敏系數為：（3-7）半導體應變片最突出的優點是體積小，靈敏度高，頻率響應范圍很寬，輸出幅值大，不需要放大器，可直接與記錄儀連接使用，使測量系統簡單；但它具有溫度系數大，應變時非線性比較嚴重的缺點。下頁上頁返回3.1.3應變片的命名應變片的命名標準號為GB／T13992-92，其內容如下。(1)每種應變片產品命名型號，型號由漢語拼音字母和數字組成共7項。(2)由左至右依次排列，第Ⅰ項字母表示應變片類別。(3)第Ⅱ項字母表示應變片基底材料。(4)第Ⅲ項數字表示標稱電阻值，單位為Ω，帶括號的規格不推薦采用。(5)第Ⅳ項數字表示應變片柵長，小于lmm時小數點省略。(6)第V項由兩個字母組成表示應變片結構形狀，表3-1中只列出常用的代表字母。(7)第Ⅵ項數字表示應變片的極限工作溫度，對常溫應變片此項省略。(8)第Ⅶ項括號內數字表示溫度自補償應變片所適用試件材料的線膨脹系數。下頁上頁返回舉例：BH350－3AA150(16)為單軸箔式環氧基底用于線膨脹系數16×10－6/℃的材料，最高工作溫度150℃，柵長3mm的溫度自補償應變片。

下頁上頁返回表3-1型號命名表3.1.4電阻式傳感器的測量電路由于機械應變一般都很小，要把微小應變引起的微小電阻值的變化測量出來，同時，要把電阻相對變化轉換為電壓或電流的變化，因此，需要設計專用的測量電路，常用橋式測量電路。下面具體討論有關電路和這幾項指標。（1）直流電橋平衡條件直流電橋的基本形式如圖3.3所示。R1，R2，R3，R4稱為電橋的橋臂，RL為其負載（可以是測量儀表內阻或其他負載）。

下頁上頁返回當時，電橋的輸出電壓應為：（3-8）當電橋平衡時，，由上式可得到

R1R4＝R2R3或（3-9）式(3-9)稱為電橋平衡條件。平衡電橋就是橋路中相鄰兩臂阻值之比應相等，橋路相鄰兩臂阻值之比相等方可使流過負載電阻的電流為0。（2）電壓靈敏度如果在實際測量中，使第一橋臂R1由應變片來替代，微小應變引起微小電阻的變化，電橋則輸出不平衡電壓的微小變化。一般需要加入放大器放大。由于放大器的輸入阻抗可以比橋路輸出電阻高得多，所以此時電橋仍視為開路情況。當受應變時，若應變片電阻變化為△R1，其他橋臂固定不變，則電橋輸出電壓。下頁上頁返回

（3-10）設橋臂比，由于,分母中可忽略，并考慮到起始平衡條件，由式（3-10）可得（3-11）電橋電壓靈敏度定義為：（3-12）下頁上頁返回由式（3-12）可知：①電橋電壓靈敏度正比于電橋供電電壓，供橋電壓愈高，電橋電壓靈敏度愈高，但是供橋電壓的提高，受到應變片允許功耗的限制，所以一般供橋電壓應適當選擇。②電橋電壓靈敏度是橋臂電阻比值n的函數，因此必須恰當地選擇橋臂比n的值，保證電橋具有較高的電壓靈敏度。下面分析當供橋電壓E確定后，n應取何值，電橋電壓靈敏度才最高。由來求的最大值，由此得：（3-13）當n=l時，為最大。這就是說，在供橋電壓確定后，當R1＝R2，R3＝R4時，電橋的電壓靈敏度最高。此時，式（3.1-10）、式（3.1-12）、式（3.1-13）分別簡化為：下頁上頁返回由此可知，當電源電壓E和電阻相對變化一定時，電橋的輸出電壓及其靈敏度也是定值，且與各橋臂阻值大小無關。

（3）非線性誤差及其補償的方法減小或消除非線性誤差的方法有如下幾種：1）提高橋臂比2）采用差動電橋半橋差動電路時全橋差動電路時下頁上頁返回

下頁上頁返回3）采用高內阻的恒流源電橋半橋差動電路全橋差動電路恒流源電橋3.繁1.粒5剩電裁阻式什傳感緩器的糞應用電阻耕應變行片應忌用可依分為練兩大液類：莫一種跟是將訂應變撕片粘壤貼在吊彈性飾敏感譜元件躬上，圓由彈疤性元困件在垃被測娛物理泡量(隆如力灰、壓什力、患加速鄙度等共)的惡作用建下，卷產生醫一個指與之判成正獅比的吵應變鐵，然族后由昨應變券片作于為傳訂感元蜘件將超應變詳轉換煙為電笛阻變遮化，浸通過今測量屆電路飾檢測袍出被碗測物牙理量舒，這賠樣就牙可以住組成讀各種賀專用倦的應籍變式柱傳感浩器，唱在目孩前的楚傳感錫器中梢，尤己其是碎在稱父重測屬力傳抱感器倡中占炭有重燥要的移地位魚；另攀一種滴是直覽接將洲應變嚷片粘勺貼在振被測換構件針上，控然后拴將其壺接到胃應變短儀上謝就可彼以直心接從鴉應變臺儀上唱讀到冬相應摸的應文變值黎，例巨如電嬌阻應轉變儀懲就是襖這種沸應用或的一策個例現子。（1迎）柱達式力苗傳感無器柱式年力傳歸感器乘的彈蹄性元跑件有章實心斃柱與吼空心辦柱兩銀種，家以實雀心柱許為例歲。下頁上頁返回下頁上頁返回（2宏）電乞阻應訊變儀電阻在應變菌儀是公專門四用于知測量月電阻樹應變么片應層變量到的儀程器。度實際煮測量右時，失只要怎將應緣瑞變片珠貼于呈被測語點上傻，然冒后將傘其接叨入應桑變儀私的測推量橋稻路中懼，這昆樣就輩可通掀過應昌變儀著直接性求得離被測弱點的斷應變如值。秀電阻尊應變壤儀有短靜態草、動彈態二靜大類密。如魚：(1伏)通靜態脾電阻延應變斧儀。攀靜態幅電阻餓應變站儀能鉛測量本頻率旁為0椅～1搞5H銷z的告應變預。例祥如：慎國產取型號寫有Y散J-畝5，令YJ徑B-伏I，喊YJ腔S-救14叉等。(2館)約靜動虜態電餓阻應早變儀之。靜歷動態生電阻噴應變猶儀用著于測麥量靜雁態或旋幾百頂Hz撐以下魯的應商變，礙國產劇型號既有Y能JD坦-1神，Y智JD泰-7槍等。(3印)暴動態挖電阻也應變躍儀。貪它用帆于測嚴量頻枯率為訂5k眉Hz肯以下秀的應平變，蒜如Y棟4D悲-l優，Y犯6D逆-2飼，Y梁D-墾15案等；(4植)榜超動小態電叼阻應獻變儀武。它嫁可以蔬測量截頻率境從零糖至幾蠶十k果Hz稀的動雅態應要變，盯如Y雙6C撕-9吧等。(5稻)臥遙測診應變理儀。冊它用埋于解嗎決無絨法用限有線趁傳輸喚信號情時的飼應變坐測量鼓，如渴測量范旋轉河件、估運動櫻件等蛇的應越變。3.校2潔電尋容式督傳感愧器電容泉式傳耍感器查是利始用將面非電挨量的何變化室轉換拿為電遙容量企的變挺化來混實現剃對物強理量察的測蘭量。電容需式傳佳感器貼廣泛羅用于鏡位移緩、角冷度、供振動門、速宏度、遼物位伶、壓甜力、啦成份乒分析探、介塊質特抬性等畏方面斑的測貧量。3.且2.殿1陪電容哥式傳社感器麗的特鑼點（1群）受剪本身稈發熱帖影響浩小（2意）僑靜態淡引力懶小（3銷）缸動態慈響應氧好（4側）而結構件簡單婚，適進應性茶強（5辟）惡可以朝進行掛非接核觸式剛測量電容道傳感破器有刷如下音不足升之處（1它）輸桃出阻閉抗較瘡高、鼻帶負建載能斷力差（2誘）寄甜生電硬容影品響大下頁上頁返回3.詞2.夫2鈔基本胡工作股原理敵和結和構以平偶行板酬電容竟為例孤（如模圖3槐.1筒0）吧，如證果不痛考慮放其邊傷緣效汁應，詳其電蠅容量太為（3禽.2菊6）式中趴：潮—橡—極至板間注介質烘的相狹對介浴電常揀數，拴空氣尚介質凡；——畫真空敢介電捧常數竟；——蠟二平皺行極經板覆葵蓋面大積；——儀極板修間距漫離。下頁上頁返回圖3棵.1竟0范平昌板式螞電容做器顯然風，電壩容量餓是啦、鐮、寇的擁函數嬸。如賣果保牛持其訂中兩吊個參惑數不廈變，左只改廣變其橋中一私個參衛數，猴就可葉把該據參數飾的變交化轉劑換為扁電容恢量的扇變化號。因賓此，結電容匪式傳惡感器序分為康極距閥變化副型，燒面積鈔變化膝型，濃介質差變化競型三碌類。下頁上頁返回（1箱）變狗極距弊型電丟容式貸傳感糕器下頁上頁返回當極委板面敞積和吼介電轟常數啟為常球數，隙而平厲板電致容器餡的極遲間距泡為變崖量的只傳感百器稱為慮變極懇距型鎖電容紅式傳忌感器(如圖3.健10揮)。由濟式（3-平26）可償知，晃電容肝量C與極悠板距對離d不是假線性職關系喊，而批是雙掌曲線懷關系英（如泊圖3.敗10所示愁）。脂若電收容器甜極板稈距離擊由初錦始值l0縮小第為△，極克板距勁離分悄別為和，其垂電容拒量分班別為C0和C1，即在實融際應菌用中磁，為五了提械高傳軍感器慎的靈磨敏度奴和克件服某鋸些外誼界因孟素（麻例如彩電源冶電壓坊、環待境溫萍度等爐）對碼測量俯的影島響，萍常常憶把傳魯感器糊做成撕差動些的形銳式（寸即為氏變極映距差針動型消電容供傳感寶器）金，其狠結構鋒原理儲如圖悉3.惕11杯所示立。差動歸電容倉傳感研器的膽輸出搖特性旦曲線僚如圖咬3.螞12衰所示孫。在姥零點帆位置擠上設許置一最個可酒動的煉接地膚中心耐電極敬，它炒離兩繼塊極練板的非距離靈均為假，疤當中居心電頸極在披機械蘿位移贊的作伶用下春發生魚位移兇時，躁則傳繭感器減電容葛量總堡的變冒化為除：下頁上頁返回電容退量的河相對討變化溜為：平板賤型差償動電貿容傳昨感器容的靈吼敏度蔥為：（2蔥）變奸極板慢面積導型電坡容傳都感器當極易板間縱距和豈介電肢常數豈為常沈數，承而平圾板電雁容器蠶的面駱積為勉變量連的傳露感器濃稱為歇變面燥積式撤電容斷傳感竟器。粱變極呢板面驅積型唯電容限傳感混器有闖線位盛移和勁角位標移兩多種。仁線位燦移型持電容屈式傳催感器暫又分銳為平莊面線汽位移僅和圓因柱線癢位移貍兩種畏。圖3飄.1網4a對為平梁面線澡位移匆型傳陳感器勻，電通容量毒為：下頁上頁返回靈敏內度為婦：常數早（愈3.愿47門）圖3喉.1奮4b啄為圓椅柱型農線位勵移傳凳感器傅，電膠容量狡為：（3慎.4待8）靈敏杠度為脆：常數領（3千.4攝9）圖3澤.1螺4c板所示薄為角沫位移扎型傳儀感器擁，電咳容量下頁上頁返回因為故度（賠3.校50古）靈敏晌度為宮：捎常嗓數揮（3鉤.5脆1）下頁上頁返回變面嘗積式瓶電容傻傳感傭器的盾輸出緞與輸盲入呈咐線性欣關系窗，但議靈敏緒度比隔變極候矩形瘦低，可適用拔于較影大為墊線位襲移和格角位爐移測同量。俯變面銷積式優電容糟器通課常也辛采用世差動獻形式殊，傳麻感器賄的輸主出和更靈敏壘度可芳提高芒一倍攪。（3日）介廊質變完化型擱電容朝傳感境器圖3別.1裝5為歌介質阿變化榮型電鵝容傳折感器納，在瓣固定統兩極獨板之研間加藏入空鈔氣以膛外的志其他規被測風固體逮介質昆，當充介質洲變化齊時，烈電容閣量也碑隨之胸變化勸。忽喜略邊烘界效喉應，叫假設駱空氣惜相對棒介電辟常數供為削，其固體匯介質礎相對味介電灶常數膊為足，全電容長量為（3單.5衡2）假設蜓兩極賠板間偉距離雕為館，擇則個，規電容帥量為首：（3兼.5攏3）下頁上頁返回由式拉（3草.5茅3）猛可得叉，當幫極板星面積告和權極板仔間距箱一定像時，瓦電容撕量大盜小和傻被測鐮固體社材料哄的厚鹿度姐和線被測壞固體稍材料水的介睬電常疫數有播關。拼如果炮已知衰材料鴉的介紹電常柏數，灑可以倚制成豪測厚我儀，視而已該知材踐料的槳厚度疫，可芽制成抹介電立常數繪的測堵量儀貧。下頁上頁返回3.少2.牌3算電戴容式我傳感不器測績量電焰路與電埋容式即傳感咱器配差用的退測量斬電路蓄很多毯，常涉用的揚有橋肺式電遇路、挎調頻限振蕩紛電路小、運膨算放鴉大器懸式電碰路和吸脈沖缸調寬叛型電稻路等醋幾種魔。（1少）調坡頻電遮路轉酸換信料號這種幸電路居是把愈電容焦傳感絮器作纖為振濱蕩器扶電路次的一皆部分潔，當耳被測認量變極化而級使電啦容量啟發生蕩變化午時，巨能使省振蕩以頻率偶發生樓相應悠的變霸化。做由于敘振蕩辟器的屢頻率娘受電遇容傳遞感器狀的電鉛容調促制故謎稱為粥調頻唯電路勉。圖內3.獸15慢所示數就是爬這種預測量餅電路曉的原偉理框叢圖。下頁上頁返回（2魂）運算月放大鉤器式導電路運算慚放大光器的源特點懇可以照作為暢電容御傳感漆器的謝比較陣理想蔑的測講量電著路，修其電涌路如翅圖3橡.1憐6柱所示下頁上頁返回由式乳可知謙，運越算放杯大器犯的輸伯出電金壓與箏動極處板機揮械位詠移（即誘極板遙距離院）成送線性貨關系求，運杠算放舉大器溪電路拐解決券了單亮個變聯極板逼距離扔式電上容傳遍感器琴的非際線性蹤蝶問題叛。（3納）脈肯沖調弓寬型支電路（3舉）脈沖匠調寬禍型電展路圖3.雀17所示殖為脈錦沖調誘寬型荷電路嗽。脈沖綢調寬蚊型電長路中鞭C1肝、C古2是販差動全電容祥傳感捧器的雜兩個晉變極爛距d陽式電萬容傳斗感器結，電對路結搖構可虧分為允比較辭器，鍛RS逆觸發撫器，價RC奔充放彼電回貿路，甲低通潤濾波盈器。（1局）比抱較器豈IC癢1、于IC狹2中者，燥當U什＋>鳴U-沉_時滑，輸蜂出高魚電平連；當捏U＋塞<U秩-_漲時，厘輸出養低電普平；（2攝）R囑S觸豎發器膠。R痰S觸雜發器務的功讓能如終表3唉-2帆；（3念）R戲1、司D1占、C杯1構劑成一肥RC過充放嘴電回熱路；韻R2車、D餅2、濃C2栽構成宜另一謝RC絨充放輛電回宣路；當Q冒為高膛電平收，貴為低樣電平獅時，席C1午充電洋回路把為：朝地，石C2臘放電揚回路秩為楊。下頁上頁返回當Q為低郵電平鎖，渡為棕高電慈平時櫻，C1放自電回旁路為解：免，淚C2灣充電音回路副為增地。（4化）低言通濾呈波器旅：電訪壓經腿低通爹濾波祖器后為，獲舍得輸妄出電抹壓平辭均值綁。下頁上頁返回表3-2RS觸發器功能表SRQ00保持原態0101101011不允許出現3.壞2.接4肺電容上式傳糧感器歡的應肌用（1桃）電漏容測炎厚儀圖3罪.1翁9為晴電容食測厚傘傳感候器的冶系統踐原理株框圖凈。當暈被軋捷板材食的厚宴度相對于振要求膝值發貪生變陳化時塵，則儲發危生變暴化。風增絞大，脹表示信板材獄厚度變厚尼；尿減修小，蠟表示陶板材研厚度燙變薄路。啄的灰變化哨經過姓電橋吹調節戶后，拉由耦合活電容美輸出輔給運諷放進僵行放熱大，駐再經仙過整紗流濾屬波和疾差動禽放大要后，私一方面鄙由顯頂示儀誦表讀隙出板忽材厚俗度，滴一方放面通習過反結饋回卷路將士偏差鑰信號釋送給壓賞力調喂節器遷，使疑板材挺厚度強控制賀在規客定范滋圍內獎。下頁上頁返回（2聲）電飛容式消傳感饑器測晌量電爛纜的袋偏心圖為徒測量抗電纜嫁芯的恨偏心保原理揉圖，頂在實必際應停用中身是用壟兩對秩電容保傳感崖器，息分別誦測出舊在x方向獸和y方向氣的偏申移量仍，再綠經計年算得攏出偏控心值鍵。（3盼）石竄英撓租性伺播服加相速度喇計石英漢撓性捐伺服補加速皺度計禿是由逃固有原頻率礎很低壺的電壞容式滔加速縣度計邁和伺狀服回輔路兩震大部東分組終成，著并形音成一殼個閉永環的扮自動棋控制突系統敘，具肉體結俊構與卵原理敵如圖抖所示踏。下頁上頁返回（4名）電口容式砍壓力鍬傳感棍器圖3特.2傻1所米示為察兩種樸電容扇式壓柱力傳芝感器粱結構鳳圖。圖3撿.2找1伙(a)為程單只開變極惕距型并電容駐傳感講器，錘用于身測量占流體古或氣日體的驗壓力立。流局體或忠氣體懼壓力顯作用貓于彈其性膜愧片(背動極劑片)弱，使嗽彈性暮膜片講產生茄位移篇，位蹤蝶移導掩致電琴容量宅的變盡化，韻從而童引起梁由該自電容喘組成僵的振肺蕩器若的振漠蕩頻嫩率變右化，伶頻率樹信號催經計綿數、邀編碼勉、傳搏輸到土顯示辦部分莊，即偶可指定示壓輪力變蠻化量坐。下頁上頁返回圖3倒.2床1倘(b)為望一種激小型花差動爽式電脈容壓消力傳楊感器休。它剝由金風屬彈宅性膜盛片與盞鍍金衣凹型孔玻璃摘圓片榜組成抬。當抵被測凡壓力P通過財過濾盲器進柳入空克腔時仿，由泳于彈孔性膜擾片兩躁側的變壓力料差，航使彈鴨性膜配片凸站向一裳側，叛產生凳位移縮慧，該死位移雞改變季兩個昆鍍金易玻璃膛圓片攝與彈啞性膜若片間難的電兔容量范。下頁上頁返回3.說3翼電形感式征傳感傭器電感瘡式傳濕感器千是利甲用電逃磁感拍應的際原理運將被昆測非惹電量激轉換姿為線擊圈的自纖感系舉數或撇互感盛系數引變化蝴的裝享置。邪由于貼電感籃式傳酬感器錯是將副被測羞量的變友化轉補化成規電感造量的組變化鹿，所星以根剃據電豪感的摩類型頸不同鼻，電皇感傳北感器可取分為疫自感跨系數田變化竹型和隨互感掘系數達變化念型兩音類。3.邪3.軋1趣自碗感式迅傳感賄器當匝緊數為困N的司線圈斃通以衛電流跌I產巡壽生磁田通鏈粒為井。磁亭通鏈油與線傷圈電流之饞比稱游為自條感系亦數，鎖簡稱獲電感逢L（3它.6盛9）式中睡：絡—金—為振穿過侍每匝宵線圈仿的磁弓通。根據希磁路掠的歐撒姆定撞律下頁上頁返回（3蒸.7觀0）式中寧：贈——赤為磁功路的美總磁威阻。由式帥（3收.6蛙9）趟、式顯（3穗.7伏0）稍可得識：（3詞.7俱1）由此煎可知椅，要將隨被測營非電工量的圾變化攝轉化每為自舊感的馬變化已，在如線圈卷形狀隸不變蓬的情諷況下鉛可以宣通過露改變栗線圈春匝數體使得漿線圈賤的自狡感系沃數產岔生改帝變，嬌相應議地就旋可制戶成線揮圈匝握數變牧化型螺自感蒙式傳鐮感器蘋。要將孝被測罰量的箭變化臘轉變慨為使坡線圈廊匝數境變化限是很環不方栗便的短，實筆際極浮少用交。當骨線圈糕的匝蝦數一挎定時爺，被專測量耀可以自通過低改變祥磁路掘的磁連阻的餓變化秘來改戀變自遇感系忙數。殊因此旦這類準傳感強器又望稱為蟲可變政磁阻餓型自也感式銅傳感脆器。繞根據剪結構銷形式較不同渴，可漠變磁績阻式坡傳感刻器又粉分為肅氣隙秩厚度抖變化拆型、輛氣隙休面積年變化禾型和閃螺管尿型三雅種類獎型。下頁上頁返回（1堡）氣午隙厚聾度變譽化型仰自感絞傳感鎖器典型晉的氣互隙變淚化型擁自感延傳感丈器主支要由專線圈外、鐵觀芯和鉗活動襪銜鐵申組成（睡如圖謀3.盯23烤所示緩）。袖活動進銜鐵綠與被妻測物詠相連控，并粥與鐵押芯保泳持一舊定距離怎。紙當被餓測物廁移動載時，牲氣隙椒發舍生變玩化，薪引起好磁阻畜變化另，從菊而使線霸圈的嫌電感消值發清生變賺化。糠設鐵寸芯導叛磁長先度為穗，導最磁率蘋，導磁脹面積洪；委氣隙拾長度征為倡，偵導磁克率餅，底導磁層面積斬，匆。如廈果不偷考慮紀磁路盆的損伯失，摸則總慨的磁阻為只：（3級.7恢2）因為予氣隙增的磁室阻比墓鐵芯萄的磁皂阻大橡得多懷，鐵蜂芯磁騎阻可莊忽略徒不計化，故下頁上頁返回（3期.7楊2）當鐵咳心工敞作在芝非飽問和狀穿態時餐第一麻項可巖忽略害不計艷。由鎖磁路機的基唯本知郵識可穗知，遲線圈援匝數覺為N神匝時拌，線村圈的勒電感餃量L為：下頁上頁返回（3謠.7至3）由此羽可知放，自際感越與感氣隙席的材大小撞成反闊比，舌與氣鳴隙導胃磁面衰積刑成敬正比劣。如驅固定喝，劉改變丈，傳墳感器奏的靈醉敏度奇為：（3蝴.7羞4）由于滲靈敏水度谷不慕是常摩數，顧故會詢出現糊非線刪性誤繁差，曬為了島減小姓非線工性誤差，廁在實清際應還用中軟，一界般規掠定傳漲感器粉在較像小間邊隙的駐變化鏡范圍省內工作，盈或者冶采用安差動鉤接法滲（如額圖3部.2壇4）受。由圖棍可知士，由恥兩個那傳感倒器構相成差排動工犧作方咳式，嘆銜鐵模最初班居中垮，兩杯側初賄始電付感為畜，主當銜支鐵有驚位移儲時，鼠兩個聯線圈月的間殖隙分湊別為和貍，坡表明午一個啞線圈旅自感托增加鑄，另貴一個凈線圈燦自感甲減小倉，下頁上頁返回把兩度線圈規接入耗電橋胡的相眉鄰臂穩時，騎輸出金靈敏千度比施單個漠的提民高一艱倍，嫩并且可翠以降媽低非費線性嚇誤差行，消雀除外缺界干她擾。下頁上頁返回（2菊）氣適隙面議積變躲化型農自感墾傳感壩器當固滾定，雁改變秀氣隙斗導磁綿面積陵，自友感與免成線瞧性關燈系。造如圖顯3.壞25泉所示為重氣隙繭面積根變化農型自弟感傳汪感器坦。（3情）螺第管型極自感炕傳感來器螺管橫型自虹感傳活感器頓是在典螺管奶線圈繭中插員入一著個活泛動銜憲鐵，友當活翼動銜鐵肌在線赤圈中執運動暖時，究使磁廚阻發境生變吵化，鋼從而窯使自問感變犬化。埋在實懇際應用劉中，辱該類究傳感襪器通亭常也欣采用事差動垃的結衰構（兩如圖非3.拾26只所示稿）。準將鐵芯兩置于包兩個堪線圈以的中世間，電當鐵滔芯移遣動時量，兩陽個線巾圈的勞電感爬產生卡相反方寺向的酷增減狀，然祥后利油用電膏橋將盒兩個牌電感關接入眉電橋箭的相覆鄰的薯橋臂備，以獲線得比釋單個甜工作械方式掩更高什的靈密敏度軟和更秩好的奧線性產度。（4怨）測收量電項路電感樹傳感抬器所留采用叉的測負量電認路一柴般為前交流剛電橋引，其待原理萬已在廣前面介勒紹過百。下頁上頁返回下頁上頁返回3.握3.鄉豐2間互腥感型凱變壓征器式蘿電感展傳感沒器下頁上頁返回圖3機.2喘8景差基動變汽壓器志輸出工特性炒圖下頁上頁返回（1爹）工弟作原旬理互感愚型變貌壓器奧式電蔑感傳酒感器脾是利騾用被對測量凍變化貌改變續互感砍系數來實魔現的汽，其急實質廁上是視一個包輸出便電壓掩可變傘的變意壓器心，又碧常采晨用差德動的形健式，烏故又撐稱為睡差動邀變壓趁器。豪其結呼構形南式有傷多種郊，應殿用較飲為普窯遍的是疤螺管詢型，朵其結遼構和竹工作工原理騰如圖觸3.僻27近（a頂）（吃b）謙所示尚。傳摘感器汁主要勒由線禍圈（癢包括掏一個劃一次員線圈渣和兩陶個二腎次反線接線淺圈）按、鐵較芯、雄活動煤銜鐵代三部陜分組啦成。繁理想涌情況像下，協差動謙變壓愁器的顯等效慕電路寬如圖蛾3.裁27（c室）所銅示。撕差動范變壓穿器一骨次線感圈加唱勵磁田電壓裙的角批頻率堆為脂；致為一次質線圈穴有效泳電阻侮；撈為舊一次美線圈隊電感少：指為量一次炸線圈粒與二鬧次線克圈I抄之間的鍋互感秘；望為一五次線寬圈與月二次任線圈影Ⅱ之飾間的孟互感衛；腥為二謠次線拍圈I中的疲感應衛電動睡勢；羅為輛二次壩線圈伍Ⅱ中肌的感態應電輩動勢寬；焦為播一次聽線圈拜勵磁電殲流；評為生二次貢線圈饑I的市電感本；速為二薄次線跪圈I中的有屯效電頑阻；蔽為殿二次邁線圈名Ⅱ的串電感核；白為二冶次線斤圈Ⅱ包的有允效電蜘阻；虹為造空載異時差釋動變當壓器掀輸出外電壓串。由跑等效幼電路碌可得夜：下頁上頁返回測量稈前，靠可動乏銜鐵檢處于抬中間世位置侍，由穗于二畢次線賊圈的糕參數槍相同驗，則箭，此洞時常＝0繪，變舍壓器顯無輸膀出。謝測量膜時，梁可動此銜鐵遺偏移，酬兩線兇圈互拼感量叨發生消變化為，設蛾，由壟于兩者為頌差動來，銜偷鐵在乞一定毫范圍稿內有借，球故在貼輸出貓端開乓路情況下憂，輸功出為擊：此式愚表明妹：當端線圈秧參數境和酷確貨定后侍，變找壓器宋的輸姐出電乳壓由虧二次剃線圈票與一騙次線養圈互夾感量境的差碑值座決定懂。而我與透螺管洗內磁移場變襪化有庭關，品而磁筆場的嚴變化批取決歸于可晴移動苦銜鐵渡的位童移量突。因奏此，塑在銜境鐵位梅移的魂一定痕范圍服內，斯與銜松鐵位遮移向有近預似線談性關薄系，掏輸出飾特性撿如圖慎3.旨28拆所示申。下頁上頁返回（2皆）測供量電數路差動吵變壓格器的癥輸出夕電壓怕是調畢幅波房誠，為擴辨別姥銜鐵籠的移恩動方酬向，貼要進行單解調邪。常湯用解立調電金路有勻：差員動相廁敏檢建波與作差動燃整流匪電路幫。采討用解調長電路廚還可驚消除勻零位防電壓且。1）呈差動畜整流烏電路圖3月.2受9所煌示為追實際命的全寺波相曬敏整遍流電溪路，怕是根斧據半策導體姑二級京管單旗向導紛通原獨理進誘行解炊調的踏。如經傳感秘器的像一個驕次級拳線圈市的輸體出瞬眨時電躺壓極小性，她在f點為盤“＋鄙”，e點為寬“－鉆”，貓則電譜流路寧徑是fg箏dc稀he（如遵圖3耳.2縱9虎(a)）形。反蛙之，崖如f點為器“－磨”，e點為施“＋宇”，還則電避流路木徑是eh姿dc悼gf前。可見岡，無敗論次唐級線浩圈的竹輸出索瞬時磁電壓跪極性包如何滴，通顆過電會阻R的電閘流總礙是從d到c。同爆理可售分析就另一樂個次否級線焰圈的驕輸出腐情況精。輸腎出的恨電壓蘿波形寧見圖盾3.察29段(b)料。2）節相敏頁檢波裳電路二極失管相倍敏檢惡波電火路如握圖3寶.3挪0所輩示。U1為沉差動寨變壓睜器輸遍入電聚壓，U2為U1的患同頻映的參秧考電既壓，亞且U2＞U1，礦它們加作用丸于相乓敏檢費波電歪路中息兩個宿變壓噸器B1和B2禁。下頁上頁返回下頁上頁返回下頁上頁返回3.比3.繁3菌電更感傳煉感器任的應碎用差動戶變壓疊器式侍傳感影器的盟應用剖非常杰廣泛狹。凡鑒是與乏位移五有關森的物誰理量級均可粉經過各它轉蹈換成櫻電量彼輸出煌。常俯用于燃測量飄振動話、厚承度、夕應變欣、壓弦力、跨加速襲度等忌各種綢物理穴量。（1）仔微壓巖力變檢送器將差途動變視壓器滋和彈抽性敏應感元胃件（滴膜片某、膜淚盒和井彈簧坡管等們）相剪結合冤，可永以組蘭成各扔種形滅式的佛壓力援傳感粱器。孝圖3紫.3框2是種微壓脅力變哨送器薯的結口構示蔬意圖。下頁上頁返回（2）神差動烘式電球感測啦厚儀差動溜式電捏感測嘗厚儀譜由電秋橋式賠相敏浸檢波瘦測量痕電路石組成嘩，如酒圖3旗.3段3所留示。（3裕）差元動式搜電感著液位氏測量窗儀圖3丹.3腰4所斧示為訴液位姨測量朋原理懷圖。課當液扔位不撒變時題，鐵超芯處遍中間躺位置胞，無痕輸出兇電壓兔。當插液位姥增加當或降膽低時基，鐵責芯上先移或蜜下移甘，其判輸出鴿電壓紡經交娃流放礙大、秘相敏拳檢波敞及相在關測忽量電拾路處重理后柄，得根到液言面的充高度協。下頁上頁返回下頁上頁返回3.濟4腹電異渦流牽式傳點感器基于驅法拉泉第電篩磁感遭應原挖理，鄉豐將塊際狀的亡金屬劉導體膚置于染變化滔的磁舒場中或蓄者在偷磁場醒中作滲切割掙磁力全線運渣動時逐，導缺體內蓄將產現生旋儲渦的戲感應李電流，趨該電口流叫賊電渦過流，襯此現烏象稱耳為電偶渦流背效應四。根據孔電渦乞流效振應制夾成的牲傳感罪器叫殖做電常渦流似傳感菌器。由于猴該傳亦感器具爪有結累構簡杠單、守體積蠅小、慈靈敏功度高累、測類量線狠性范魄圍大奪（頻儉率響也應寬）愚、抗樸干擾辛能力芬強、來不受遲油污襪等介鉛質的典影響煎，并尾且可辣以進武行無卵接觸繞測量娘等優簽點。割所以彼該類口型傳雕感器衡廣泛傳用于閣工業釘生產侵和科湊學研齒究的緩各個踐領域晨，可鍛以用嗚于測徹量位渴移、蜂厚度退、速勿度、蕉表面敗溫度手、應部力、攝材料損假傷等稠。按評照電驗渦流輔在導尋體中謠的貫由穿情酸況，畝電渦秤流傳末感器梯可以展分成隙高頻插反射探式和駁低頻黨透射過式兩暢類，素其基紙本工扶作原挺理是傷相似卡的，毅為此本節登主要朋以高蝦頻反孤射式盲電渦漏流傳號感器統為例房誠介紹制其基花本原盜理以貞及應盼用。下頁上頁返回3.急4.濕1蒼高邪頻反酷射電允渦流袋傳感走器（1憶）高頻寧反射宗渦流膏傳感劫器的鄙結構高頻圖反射聞電渦友流傳廳感器啟主要昌由線時圈和吸框架劉組成偉。線畫圈安愿置在而框架請上，申線圈勸可以舒繞成勻一個肚扁平商圓形貧粘貼艘在框搜架上傭，也撤可以佛在框拼架上栗開一左個槽辮，導例線繞跡制在衰槽內比形成妨一個酸線圈穴。由楚于電義渦流脖式傳侵感器吸的主撇體是戴激磁繳線圈格，所進以線彎圈的杏性能薄和幾唉何尺獄寸、封形狀皇對整豈個測鬧量系慚統的趁性能舊將產車生重靜要的涉影響業。一宅般情森況下循，線沙圈的半導線固采用任高強影度漆墨包線牛；要突求較麗高的勵場合為，可逼以用畝銀或敗銀合尺金線鮮；在易較高務溫度膚條件蓬下，申需要奪用高罩溫漆謹包線創。圖3可.3觀5所據示為肝國產艘CZ尸F-鐮1型抗渦流穿傳感曾器結覽構圖孟。它糠采用戀導線突繞在她框架鼓上的粒形式榆，框雷架采胳用聚短四氟局乙烯倍，電佳渦流彼式傳弟感器介的線通圈外啊徑越撲大，捷線性毫范圍飄也越匠大，銳但靈弄敏度晴也越捎低。突理論溝推導中和實虎踐都增證明妨，細能而長文的線帳圈靈牢敏度齡高，勇線性撈范圍善小；分扁平持線圈低則相濫反。下頁上頁返回下頁上頁返回（2州）高頻蛇反射驢渦流棄傳感導器的舞基本晝原理電渦元流式茅傳感址器產魔生渦坊流的章基本逮結構金形式醉如圖段3.趟36宜所示于。當等通有賣一定合交變唇電流辜（頻編率為f）的次電感液線圈L靠近芒金屬粘導體搭時，樸在金伯屬周惱圍產靜生交耳變磁序場，圍在金葡屬表暮面將吳產生卸電渦切流凍，根球據電夢磁感影應理詳論電轟渦流胞也將墳形成爛一個齊方向速相反盡的磁斬場。昌此電百渦流粗的閉罩合流姥線的只圓心魂同線營圈在線金屬澇板上挎的投唉影的廳圓心為重合輕。渦流砍區和燦線圈押幾何足尺寸音有如嶺下關殺系：（3儀-8劇6）式中銜：2R——峰電渦涌流區托外徑撲；2r——電涂渦流立區內艘徑。渦流偏滲透段深度煙：（3證-8炮7）式中默：竿——哭導體午電阻墨率；f——軟交變鹽磁場忙的頻涉率；——秘相對壘導磁畢率。下頁上頁返回下頁上頁返回3.饑4.每2魚低蓮頻透窩射型繪電渦記流式獨傳感賴器圖3炒.3支7所叔示為頭低頻梅透射毒渦流胖傳感劣器原餓理圖劫。圖雕中發譯射線漸圈L1和獎接收阻線圈L2是仔兩個江繞于舞膠木善棒上鄭的線屋圈，陡分別嚼位于梅被測苦物體隸的上跪下方何。U2和d關系房誠如圖別3.愈38家所示條。下頁上頁返回3.伍4.劃3炭測誦量電絹路用于糟渦流零傳感勾器的挖測量禿電路球主要齒有調清頻式劫、調推幅式宰電路鉛兩種撥。（1拾）調寫頻式菜電路圖3.攀39所示米為調擊頻式寄測量嘴電路倡原理冶圖。下頁上頁返回（2添）型調幅砌式電伶路傳感蝴器線夕圈L和電劉容器C并聯頌組成缺諧振盲回路恥，石辜英晶艦體組表成石雕英晶粉體振葡蕩電瞧路，運如圖易3.掉40木所示凝。下頁上頁返回3.餃4.槳4盲渦糊流傳齡感器之的應繭用（1柔）位移伯測量由電詠渦流亞式傳跡感器標的工狀作原獲理可晉知，燙電渦治流傳疤感器嚷的等燒效阻省抗Z與被擱測材汁料的酷電阻哀率ρ、導沫磁率μr、激逮磁頻隱率f及線啦圈與資被測瞎件間英的距卡離x有關榴。當ρ，μr，f確定梢后Z只與x有關貼，通黎過適鏡當的丑測量濤電路旁，可污得到劈燕輸出紅電壓鍛與距漂離x的關應系，搞如圖譯3.暑41張所示座。在曲歐線中摔部呈配線性斜關系卡，一喉般其據線性挽范圍橡為扁狂平線態圈外柄徑的靠，線斑性誤床差約耳為（鑼3～句4）春%。根據臘上述蕉關系裂，電土渦流和傳感滑器可艙以測分量位藍移。酒如汽叔輪機冶主軸逼的軸夾向竄醉動（承圖3喚.4牛2（a））項，下頁上頁返回下頁上頁返回（2傘）振刊幅測每量為了冰非接瘡觸式例地測時量各另種振絮動的眾振幅螺，如傳機床釣主軸跡振動醉形狀斯的測淹量，獨可以旗使用租多個汽渦流鬧傳感度器安恐置在冊被測閉軸附眉近，粒如圖兵3.兩42起(b)所們示，發再用夏多通聽道測籌量儀預或記均錄器飄，可亭測出侵在機瓣床主佩軸振打動時都，瞬著時振志動分午布形盡狀。（3稼）轉謎速測鍛量在一呈個旋磨轉金扛屬體發上一鳥個有N個齒啞的齒獅輪，剛旁邊括安裝割電渦舞流傳腿感器列（圖歉3.普42傳（c））逆，當巖旋轉并體轉貓動時痛，齒能輪的卵齒與旨傳感霞器的夠距離就變小襪，電妄感量廉變小確；距舍離變舉大，月電感竄量變槽大。當軸軌轉動浩時，若渦流噸傳感震器將診周期清性地段改變襲輸出燭信號組，該脾電壓呆信號綠經放沃大、劈燕整形雕后，粘可以聾用頻亮率計宅指示戴輸出敬頻率鼻值。該值鄭與頻件率和刑槽數寨有關亦，其壤關系所為式中僵：外—皺—為半頻率死值；——嘆為軸伴上開準的槽綠數；——冠為被醬測軸呆的轉內速，益單位萄為予。（4坡）渦爪流膜鴨厚測理量利用挽渦流股檢測爹法，雨能夠罩檢測槍金屬央表面睛的氧攪化膜腥、漆環膜和巾電鍍邊膜等裝膜的狡厚度啊；但粉是，模金屬鞭材料公的性廣質不槳同，耳其膜匆厚檢拳測也看有很搶大的睬不同獄。下婚面介濾紹金因屬表移面氧拆化層懼厚度撕的測環量，福它是擠各種晚測厚亭方法鋤中較澇為有呢效的浸一種蓬方法招。圖3抱.4馬3所就示為推氧化背層膜蓬厚測賢定方蝴法。下頁上頁返回下頁上頁返回（5檢）電把渦流隆探傷妻儀渦流湯探傷萌儀常尾用來魯測試筒金屬號材料沃的表等面裂地紋、償砂眼蚊、氣敘泡、逆熱處括理裂獄痕，即以及余焊接揪部的座探傷殊等。積檢查汁時，劣使傳械感器緊與被護測物耗體的衡距離威保持米不變裕，如律有裂值紋出房誠現，營將使傅傳感桿器的原阻抗罪發生光變化哄，從濁而使免測量蘇電路稱的輸場出電扎壓改拋變，剝這樣擊就達最到了乒探傷然的目牌的。還電渦兄流傳墾感器峰可以蒼探測顧地下度埋沒紗的管尚道或演金屬暗體，冬包括鼠探測出帶金滲屬零營件的世地雷陶。如遙圖3重.4托4探叮雷時尊，探截雷者叮戴上冒耳機陰，平歐時耳雞機沒劑有聲脅音。探探到桑金屬跌體時次，探特雷傳岔感器艙的L購變化泛，耳艙機有血聲音衣報警苗。下頁上頁返回3.適5袍壓科電式閘傳感習器壓電鋤式傳寄感器騰是以躍具有尊壓電丈效應異的元臭件作早為轉爭換元麗件的羽有源恩傳感器炊，它曬既可蹤蝶以把賓機械廟能轉番化為宣電能算，也貨可以差把電個能轉貿化為夕機械能。常這樣為的特頑性使黨其可脆用于肺跟力忍有關俱的物段理量翁的測然量，帽如力兇、壓力、狡加速楊度、儀機械注沖擊母和振妥動等畢，也征被用括于超袍聲波腫的發抹射與駕接受其裝置。壓電嫁式傳閱感器墨具有激體積美小、帽重量雖輕、犁工作黎頻帶態寬、溫靈敏桶度和盯精確度據高等錯特點賢，而閱且目按前與庫其配單套的照后續堤儀器累，如底電荷德放大磨器等孫技術的脂日益潛提高些，這遇種傳移感器掙在聲泰學、基醫學替、力漸學、吳宇航很等方幸面越陡來越得吸到廣蚊泛的藏應用扣。壓電兩式傳董感器蚊的工孕作原券理是創基于即某些敞材料衫的壓刃電效夢應。3.嫩5.稻1撈壓爬電效繩應某些戲物質進，當籌沿著笛一定吐方向蹈受到踢壓力鹽或者驗拉力敘作用臟而發報生變形，麥其兩抬個表單面上引會產曠生符承號相狗反的鑄電荷騾；當公外力吳去掉蜓時，厚它們壯又重新營回到禾不帶斜電的賽狀態趙；當村受力趨方向蜜變化蹈時，圾電荷逝的極架性也壇隨著追變化，叉我們佩把現歷象就值稱為甲壓電尼效應億。相焦反，嘴如果竭把這桑些物嚷質置磁于電包場下頁上頁返回中，拌其幾尿何尺緞寸也寧會發壞生變舅化，斜我們付把這層種由穩于電揀場作村用導楊致物銜質發生雹形變哪的現訪象稱引為逆征壓電旨效應企（也針稱電涼致伸民縮效選應）兼。這粥種具陡有壓電洲效應燈的物醒質我筋們稱溝為壓重電材購料或鄰壓電陵元件聞，常植見的刃壓電敘材料額主要有侮石英云、鈦昨酸鋇侍、鋯鵲鈦酸獵鉛等陽。下頁上頁返回從石簡英晶注體上進沿機讀械軸崗（y）方硬向切竊下一美塊如混圖3斧.4妥5a所示棍的晶體片仿，當豬在電奇軸（x軸）定方向姻受到攤力作跡用時抽，在聚與電館軸（x軸）黎垂直的平遭面上立將產襖生電居荷困，如籍圖3核.4助5b所示夢，其括大小案為（3濕.9去0）式中攜—x軸方鐘向受膝力的申壓電齡系數應；—x軸方彎向受秀到的奮力。若在體同一符晶體塊片上嘉，當能在機計械軸廟（y軸）軌方向炕受到錯力作蜘用時臭，則仍在芒與電恰軸（x軸）鐘垂直攪的平條面上名將產削生電飄荷精，如賽圖3蓬.4氏5c所示禽，其大小米為（3洲.9紀1）式中腰—y軸方絹向受氧力的釋壓電笛系數梨，；—y軸方合向受檢到的鄉豐力；，謙—毫晶體萬片的蛋長度矩和厚煩度。下頁上頁返回電荷企和際的間符號忙由受穩力是魔拉力賺還是冒壓力彎決定廳的。遵同時嬸從式（3煙.3預0）駛和（得3.捎31統）可煙以看層出，圾的詞大小井與晶盒體片竭形狀榨尺寸漢無關惕，而閱與贊晶體璃片的真幾何賢尺寸惡有關槳。下頁上頁返回3.勉5.群2棄壓給電式關傳感裙器等功效電典路和對測量鐮電路（1拆）壓削電式毛傳感戀器的挽等效單電路1）稀自身革等效結電路當壓籮電晶秧體片俯受力烤作用拴時，葵在晶世體片懷的兩什表面橋上出蘇現等芒量的正、漸負電驅荷，餓晶體害片的叉兩表創面相錘等于淋一個任電容疤的兩云個極愚板，繳兩極殘板之間坦的物攤質就肌相等譽于電斑容極蒸板間蝴的介才質，監因而紗壓電伍晶體小片在補工作耽時就等抄效于疫一只病平行牲板介株質電費容，月如圖容3.粒50紹所示燈。其倦電容撞量為（3娘.9錢3）式中愁—歷壓電哪材料他的介番電常使數；—壓欺電晶糠體片趴工作牲面的謠面積（m孫2）；—極丘板間撿距，荷即晶記體片氣厚度乞（m）。下頁上頁返回如果介施加塔于晶系體片勒上的丘外力紹不變籃時，皆晶體興片兩勇表面嗎上的坐電荷煎又無現泄漏遲，那狠么在冷外力能繼續柿作用誤時，敲電荷牽數保例持不碑變，題而在鬼外力琴作用辰消