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本文格式為Word版，下載可任意編輯——Tescan掃描電鏡操作規程Tescan鎢燈絲掃描電鏡操作規程

1.點擊Vent（操作界面右下方）按鈕，放氣。等待右下方顯示VentingFinish,即可進行下一步操作。

2.裝載試樣。需將試樣用導電膠粘緊。（放樣時注意操作界面Z軸距離，鎢燈絲100以上。）檢查每一個螺絲是否擰緊。不應有露在外的螺絲頭。

3.防備關上倉門，點擊Pump（位于Vent旁邊）。抽真空。等待Chamber真空度鎢燈絲到達5*10以上即可進行下一步。

4.操作前參數檢查：

A，首先檢查高壓（HV）是否為所需值，若不是可先點擊右邊信息盤的HV再在右上邊輸入所要求值。

B，其次檢查Beamintensity值，正常掃描時為10，打能譜時調理為12。

C，點樣品操作盤，想要做的第一個樣品所在位置（1-7標號）。樣品臺會移動到視野內。

5.調理Z軸逐次減小，使樣品接近鏡筒。（這個值為樣品臺到鏡筒的距離。所以適合的值既是自己樣品中最高的樣的高度加10的余量）譬如：自己樣品中最高的為10，則最終可以調理z軸至20。

6.找好試樣位置（點擊鼠標的滾珠可以調理位置），開始先點擊Mag（視野右手邊一豎行快捷鍵中），再在右上邊輸入放大倍數（剛開始可先輸入100倍），逐級放大。當視野中圖像模糊，

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但有圖像時，點擊WD(視野右手邊一豎行快捷鍵中)，在再視野中雙擊左鍵可以出現一個小方框（右鍵調理方框大小），再左右滾動左手邊放置的軌跡球聚焦至圖像明白。再放大，再聚焦，直至達到需求即可。

假使圖像無法調明白則觀測是否為以下兩種狀況：1）調理WD時圖像有移動，選擇右下方HV附近Adjustment中第三項彈出一個對話框點Next視野中會彈出一個閃動圖像，然后調理軌跡球（按住F11調理上下方向，F12調理左右方向）直至圖像在中心跳動（而不是左右或上下移動）再聚焦。

2）圖像有單一方向的拉長，則判斷為有相散，點擊Stg右手邊一豎行快捷鍵中。然后調理軌跡球。（按住F11調理上下方向，F12調理左右方向）直至圖像不在變形，再聚焦。

（一般要求調理明白地放大倍數大于需要拍照倍數。例如：需要1000倍，則應將2000倍調理明白。）

7.拍照之前應檢查亮度對比度是否適合，視野右手邊一豎行快捷鍵中選擇選項，然后軌跡球上下調理對比度，左右調理亮度。

8.右手邊一豎行快捷鍵中選擇Speed選項選擇掃描速度6或7，（調理時Speed選擇4以下）。然后點擊右手邊一豎行快捷鍵中最終一項保存照片。

9.重復6-8完成拍照。10.試驗完成后歸位操作：

A.將Z軸輸入鎢燈絲100，使樣品臺降回原位。

B.放大倍數調至最小（MAG可以直接輸入0，則自動變為最小值）

C．掃描速度最低（speed調理為1）；D．關閉高壓（點擊HV）。

11.點擊Vent放氣，等待完成后拉開倉門，取出試樣后依舊應當將螺絲擰進去。

12.取樣完成后關閉倉門抽上真空。補充：對于試樣：

A．不導電樣品應選擇噴金或噴碳。B．塊體試樣底面應盡量平整。

C．粉體

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