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文檔簡介
PZT壓電陶瓷介紹和測試方法Preparedby:WenjieZhuang主要內容基本知識介紹壓電材料壓電效應壓電式傳感器工作原理、技術參數及等效模型HSAPZT壓電陶瓷應用介紹組成架構及工作原理PZT不良背景介紹測試方法推薦基本知識介紹壓電材料定義在外力作用下產生電流,或反過來在電流作用下產生力或形變的一種功能材料類別參數類別材料成分特性石英晶體單晶體、水晶(人造、天然)SiO2d11=2.31×10-12C/N,壓電系數穩定,固有頻率穩定承受壓力700-1000Kg/cm2壓電陶瓷人造多晶體鈦酸鋇、PZT鋇、鈮酸鹽系壓電系數高d33=190×10-11C/N品種多、性能各異新型壓電材料壓電半導體壓電特性半導體特性集成壓電傳感器有機高分子壓電材料質輕柔軟、抗拉強度高、機電耦合系數高壓電常數彈性常數(剛度)介電常數機電耦合系數電阻居里點壓電效應強弱:靈敏度固有頻率、動態特性固有電容、頻率下限機電轉換效率泄漏電荷、改善低頻特性喪失壓電性的溫度基本知識介紹壓電效應正壓電效應:外界應力作用下(機械能),表面產生電荷(電能)逆壓電效應:外加電場作用下(電能),一定方向產生機械形變或機械壓力電能機械能正壓電效應逆壓電效應+++++----------+++++
極化方向F-+------++++++++++++------極化方向電場方向E正壓電效應逆壓電效應形變后的狀況形變前的狀況電能機械能電能機械能基本知識介紹壓電傳感器工作原理是以某些電介質的壓電效應為基礎,在外力作用下,在電介質的表面上產生電荷,從而實現非電量測量表現形式壓電介質壓電器件受力、表面形變電荷基本知識介紹等效模型正壓電效應和逆壓電效應等效模型如下:正壓電效應:F(應力或形變)輸入>Q\U(電量或電壓)逆壓電效應:Q\U(電量或電壓)輸入>F(應力或形變)輸出正壓電效應:Q=d33*F
d33為壓電參數:壓電材料把機械能轉變為電能或把電能轉變為機械能的轉換系數,它為反映力學量(應力或應變)與電學量(電位移或電場)間相互耦合的線性響應系數
測量儀器:
ZJ-3AN型準靜態d33測量儀
壓電介質電壓輸出壓力輸入F應力輸入電壓輸出正壓電效應壓電介質電壓輸入形變輸出電壓輸入形變輸出產生逆壓電效應HSAPZT壓電陶瓷應用介紹HSA(磁頭懸臂裝置)結構及功能介紹PZT元件作用是利用其高壓電常數特性,使讀寫磁頭發生水平位移,從而使HSA水平旋轉和精確尋軌HSAPZT結構切片示意圖HSAPZT結構示意圖PZT元件U型剛體PZT元件環氧膠環氧膠U型剛體U型剛體HSA壓電微制動器交變電壓PZT元件HSA電荷變化位移變化精確尋軌懸臂彈性區懸臂剛性區滑塊壓電微制動器音圈
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