ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T26111—2010

微機電系統MEMS技術術語

()

Micro-electromechanicalsystemtechnology—Terms

2011-01-10發布2011-10-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T26111—2010

目次

前言…………………………

Ⅲ

范圍………………………

11

規范性引用文件…………………………

21

術語和定義………………

31

綜合性術語…………………………

3.11

科學與工程術語……………………

3.22

與材料相關的術語…………………

3.33

與設計相關的術語…………………

3.44

與加工工藝相關的術語……………

3.57

封裝與組裝術語……………………

3.610

測量技術術語………………………

3.713

與器件相關的術語…………………

3.815

參考文獻……………………

22

索引…………………………

23

漢語拼音索引………………

23

英文對應詞索引……………

27

Ⅰ

GB/T26111—2010

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準主要起草單位中機生產力促進中心中國電子科技集團第研究所清華大學上海交通

:、13、、

大學中北大學

、。

本標準主要起草人丁紅宇劉偉張蘋崔波楊擁軍葉雄英陳迪石云波

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T26111—2010

微機電系統MEMS技術術語

()

1范圍

本標準規定了微機電系統領域所涉及的材料設計加工封裝測量以及器件等方面的通用術語和

、、、、

定義

。

本標準適用于微機電系統領域的研究開發評測和應用

、、。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電工術語半導體器件和集成電路

GB/T2900.66—2004(IEC60050-521:2002,IDT)

3術語和定義

31綜合性術語

.

311

..

微機電系統micro-electromechanicalsystemsMEMS

,

微系統microsystem

微機械micromachine

關鍵部件特征尺寸在亞微米至亞毫米之間能獨立完成機電光等功能的系統

(),。

注1微機電系統一般包括微型機構微傳感器微執行器信號處理和控制通訊接口電路以及能源等部分

:、、、、。

注2微機電系統通常需要多學科領域技術的綜合應用例如機電光生物等多種領域

:,、、、。

注3主要在美國使用微系統主要在歐洲使用微機械主要在日本使用

:MEMS,,。

312

..

微機電系統技術micro-electromechanicalsystemtechnologies

技術

MEMS

實現微機電系統的技術

。

313

..

微科學與工程micro-scienceandengineering

針對于微機電系統的微觀科學與工程

。

注隨著微機電系統構件尺寸的減小許多物理特性發生了變化主要有兩類情況這些變化有時可以由宏觀世

:,。:1)