無塵室等級標準無塵室等級標準無塵室等級標準資料僅供參考文件編號：2022年4月無塵室等級標準版本號：A修改號：1頁次：1.0審核：批準:發布日期：半導體工業是極精密的工業，當我們把計算機拆開之后，在電路板上一顆顆小小的IC都有數百萬顆甚至數千萬顆的晶體管。為了讓這些極小的晶體管妥善的工作，制造的過程必須在無塵室內進行，集成電路制造的工廠動輒需要數十億、數百億的投資，多因為需要一個無塵室。

所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求，在工業上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalStandard(FS)209E,1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在μm(塵粒尺寸在μm或更大下，密度不大于75顆/立方英)，1級在μm(塵粒尺寸在μm或更大下，密度不大于35顆/立方英)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。為保持無塵室的潔凈度，進出的人員有一定的穿著規定；10000與100000級，必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩；1000級(含)以上，需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住，并帶上手套和面罩，下表為無塵室清潔度的定義：

塵粒數／立方英

級數μmμmμmμmμm

13531N/A

10350753010N/A

100N/A750300100N/A

1000N/AN/AN/A10007

10000N/AN/AN/A1000070

100000N/AN/AN/A100000700環境介紹及溫溼度條件:4.1.1無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範，外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室的微粒為10K級,5um微粒為100K級。4.1.2無塵室溫度規定22±2℃，濕度規定55±4.1.3無塵室內部保持正壓,出風口風速-0.5ms,防止外面空氣進入無塵室.10K級無塵室的微粒不大於10000顆/ft3,5um微粒不大於70顆/ft100K級無塵室的微粒不大於100000顆/ft3,,5um微粒不大於700顆/ft環境介紹及溫溼度條件:4.1.1無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範，外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室的微粒為10K級,5um微粒為100K級。4.1.2無塵室溫度規定22±2℃，濕度規定55±4.1.3無塵室內部保持正壓,出風口風速-0.5ms,防止外面空氣進入無塵室.10K級無塵室的微粒不大於10000顆/ft3,5um微粒不大於70顆/ft100K級無塵室的微粒不大於100000顆/ft3,,5um微粒不大於700顆/ft操作注意事項：4.3.1人員進入無塵室，一律穿著連身式無塵衣，並換無塵鞋。4.3.2無塵衣穿著一律在更衣室進行。4.3.3嚴禁操作人員戴戒指、手錶等手飾.。4.3.4在無塵室內嚴禁脫掉無塵衣，或捲起衣袖，脫帽。4.3.6無塵室作業人員接觸pcb時一律佩帶手套,每週一﹑四更換,作業過程中如有損壞或污染立即更換。進出物的管制及要求:4.4.1嚴禁攜帶食物、飲料及私入紙類進入無塵室。4.4.2基板的拿取，操作人員要戴無塵手套。4.4.3自冷藏室取出的乾膜置