word文檔可自由復制編輯word文檔可自由復制編輯工程名稱：規模：1600t/a多晶硅項目性質：基建調試回收工序調試開車方案版次A/0受控狀態：受控文件編號：1600JGT032012-XX-XX發布2012-XX-XX實施四川新光硅業科技有限責任公司發布編寫：年月日審核：年月日批準：年月日會審單位及代表：建設單位：代表：年月日監理單位：成都衡泰工程管理有限責任公司代表：年月日安裝單位：四川化工建設總公司代表：年月日調試單位：代表：年月日試運指揮部批準：年月日word文檔可自由復制編輯word文檔可自由復制編輯目錄前言 31適用范圍 32調試依據及標準 33聯動試車組織指揮系統 33.1試車小組組織結構 33.2調試小組各成員職責 44試車材料及準備工作 44.1試車材料 44.2試車前準備工作 64.3公用工程 104.4制冷系統抽真空并填充制冷劑 104.5保溫 104.6物資準備 104.7后勤服務準備 115單機調試 116試車過程及質量控制 116.1回收系統流程 116.2設計依據 136.3考核指標 136.4啟動步驟 146.4.1用氮氣置換 146.4.2干燥吸附柱（見操作說明，5.3步驟清單） 146.4.4干燥氫壓機 156.4.5用氫氣置換氮氣 166.4.6T-602，T-603充填氯硅烷 166.4.7啟動壓縮機 176.4.8建立氯硅烷循環 176.4.9制冷系統 176.4.10建立氯化氫脫吸塔T-603的溫度 176.4.11增加尾氣進氣量系統正常接收尾氣 186.5停車 196.5.1過程故障（短期故障） 196.5.2長期故障 196.5.3正常停車 197主要工藝指標 217.1產品質量表 217.2消耗表 217.3主要控制參數 237.4系統報警和復位 17.4.1壓縮機進氣溫度報警 17.4.2膨脹罐D-605液位報警 17.4.3氯硅烷緩沖罐D‐601液位報警 17.4.4氯硅烷分離罐D‐602液位報警 27.4.5氫氣壓縮機C‐601A/B/C報警 27.4.6脫吸塔壓力報警 37.4.7氯化氫回流罐液位報警 37.4.8HCl電加熱器溫度報警 37.4.9熱流體電加熱器E‐612溫度報警 47.4.10氯硅烷循環管路 47.4.11ESD系統停車 58安全規范及措施 58.1氫氣的安全性 68.2HCl安全 78.3氯硅烷安全操作 98.3.1簡介 98.3.2氯硅烷術語 108.3.3健康因素 118.3.4個人防護裝備 128.3.5培訓和職業安全 148.3.6火災危害及防火 158.3.7環境影響和防止泄漏 188.3.8不穩定性和反應危害 19附1:吸附柱時序圖 20附2:管道儀表流程圖（P&ID） 20附3：應急預案 20前言尾氣回收是多晶硅生產的重要環節，尾氣回收系統的高效穩定運行是多晶硅生產的必要條件。為保證加壓節能技改項目順利投產，尾氣回收系統（尾氣回收-6）必須順利完成調試達到平穩高效運行。本方案對尾氣回收系統做了詳細介紹，對開車調試做了詳細規劃。1適用范圍本方案適用于新光硅業加壓節能技改項目尾氣回收系統（尾氣回收-6）設備的試車操作。本方案適用于尾氣回收車間。2調試依據及標準下列文件對于本文件的應用是必不可少的。其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。CDI公司的工藝流程，電子十一院的設計文件。GB50057-94《建筑物防雷設計規范》GB16297《大氣污染物綜合排放標準》GB18599《一般工業固體廢物貯存、處置場污染控制標準》HGJ231-91《化學工業大、中型裝置試車工作規范》3聯動試車組織指揮系統3.1試車小組組織結構組長許擁軍副組長丁德志、劉曉峰組員3.2調試小組各成員職責3.2.1組長職責：3.2.1.1在調試指揮部的統一領導下，按照試運計劃組織實施本專業的各項試運條件檢查和完善，實施和完成本專業試運工作，協調各相關專業組工作。3.2.1.2研究和解決本專業在試運中發現的問題，對重大問題提出處理方案，上報試運指揮部審查批準。·3.2.1.3組織完成本專業組各試運階段的驗收檢查工作，辦理驗收簽證。3.2.1.4負責本專業試車期間各項安全措施及環保工作的落實，負責車間運行過程中的應急響應工作。3.2.2組員職責：3.2.2.1負責本工序調試現場準備組織和實施工作，負責開車的檢查、運行。3.2.2.2負責調試期間生產運行及相關問題的處理。3.2.2.3負責調試生產準備工作，處理調試中的生產問題。3.2.2.4操作班長嚴格按照生產部班長職責執行，負責當班工作安排及指揮當班的生產運行。主要負責系統的運行操作，及生產系統的現場應急處理，通過調度與外工段協調進行相關生產運行。合理安排當班人員的工作。3.2.2.5操作主操嚴格按照主操職責執行，按班長指揮負責當班生產的主要運行，主要負責裝置運行操作；監督、確認副操及巡檢的工作情況，負責確認重要設備及閥門的啟、停，開、關，確保生產操作無誤。3.2.2.6副操、巡檢：嚴格按其職責執行，根據當班班長分配的巡檢線路，對所負責的生產系統運行的工藝設備、儀表、電器進行檢查和調節，以及現場生產操作，保證運轉正常。4試車材料及準備工作4.1試車材料4.1.1三氯氫硅或四氯化硅由精餾車間提供的物料為準。4.1.2氮氣壓力0.60MPaG純度≥99.999v%露點≤－604.1.3儀表氣壓力0.70MPaG溫度≤45粉塵≤1μm4.1.4蒸汽供汽壓力：≥1.0MPaG4.1.5循環水供水溫度28℃供水壓力0.5～0.55MPaG回水壓力0.2～0.3MPaG4.1.7脫鹽水導電率：≤5μs/cmPH：6.5～8.0

溫度：常溫

壓力：≥0.3MPa4.1.8H2：壓力：1.0MPa（G）氫氣(H2)≥99.9995%(V/V)氧氣(O2)≤1ppm(V/V)氮氣(N2)≤5ppm(V/V)露點：≤－70℃4.1.9電：主電源系統標稱電壓 10.5kV系統最高電壓 12kV系統額定頻率 50HZ±0.5HZ輔助電源動力電源 AC380V+7%/-7%，50HZ±0.5HZ控制電源 AC220V+5%/-10%，50HZ±0.5HZ系統接地型式 TN-S4.2試車前準備工作4.2.1填料裝填移開液體分布器，檢查T-602和T-603的填料支撐柵板，分別裝填如下填料：T-602上部：1067mmI.D.×4572mm1”(25mm)直徑鮑爾環。T-602下部：1067mmI.D.×4572mm1”(25mm)直徑鮑爾環。T-603上部：914mmO.D.×2000mm規整填料。T-603中部：914mmO.D.×1000mm規整填料。T-603下部：1829mmI.D.×6096mm2”（50mm）直徑鮑爾環。對于所有的填料塔而言，好的液體分布效果對正常運行非常重要。確保液體分布盤放置水平并用螺栓固定，確保液體分布器安裝在正確的位置。。4.2.2泵檢測泵的設置，測試轉向。4.2.3填裝及干燥吸附套件使用干燥的壓縮空氣或氮氣吹掃系統，盡可能除去水、碎屑及污染物。檢查并清洗P-605A/B/C前的過濾網。通過D-605上的管口A填裝導熱介質（脫鹽水）。建議同時填裝3個吸附柱。用泵使水通過冷流供液閥進入經熱流回流閥流出。開關P-605B周圍的手動閥使水流過膨脹罐，保證P-605A或者B均可使用。在管線填裝完畢后，關閉冷流供液閥和熱流回流閥，然后打開熱流供液閥和冷流回流閥。開關P-605B周圍的手動閥使水流過膨脹罐，保證P-605B或者C都可以使用。這樣操作有利于排除系統內所有的空氣。打開高排放點和低導淋點，包括吸附柱盤管上的相關管口（K）。繼續給套件充填脫鹽水，直至膨脹罐的液位達到25%~30%之間。在充填脫鹽水的過程中可能需要停車給系統補充脫鹽水。在填裝完畢后，打開E-619蒸汽，打開循環泵使水經過E-619加熱后進入每一個吸附柱循環，將吸附柱溫度加熱到120℃以上，并維持數天，以除去吸附柱內的水分。熱流體的溫度升高速度應控制在40再次檢查并清洗P-605A/B/C前的過濾網。膨脹罐的按照可以同時加熱三根吸附柱進行設計的。4.2.4吸附柱填裝活性炭檢查并確保吸附柱底部的金屬絲網已經安裝并可支撐活性炭。每根吸附柱填裝14100kg活性炭（RL-13）。活性炭的頂面接近盤管頂部位置，關閉吸附柱頂部人孔。填裝活性炭時空氣濕度應在75%以下且絕對不能有降雨。在填裝時使用導管或者象鼻管可減少活性炭粉塵飄散。4.2.5用氮氣吹掃系統在活性炭填裝完畢后，系統應立即用氮氣進行充壓保護以避免水分進入。系統最少需要1kg/cm2-G的氮氣進行保護。4.2.6壓縮機見壓縮機操作手冊。填裝潤滑油并用輔助油泵使油循環。4.2.7校正儀表按照數據單和參數設定值核查校正所有的儀表，包括DCS控制中儀表參數的核查調整及現場儀表的核查調整。推薦的設定值在儀表數據單中列出。4.2.8檢查邏輯程序連鎖程序是系統安全運行的保障。此外，，我們使用下列人機操作界面控制來進行程序控制：4.2.8.1閥門自動/手動當處于閥門手動狀態（VALVEMANUAL）時，允許操作員開關任何一個閥門，在這種狀態下時序步驟的自動跳轉不能執行。操作員在任何時候都可以通過將時序控制打到手動（SEQUENCEMANUAL），然后選擇閥門手動狀態（VALVEMANUAL）進入該操作模式。閥門自動狀態關聯吸附柱的所有控制閥，并根據時序設定的狀態變化進行響應。切換到閥門自動狀態（VALVEAUTO）需滿足的條件是：所有閥門處于時序要求的狀態。4.2.8.2時序自動/手動當在手動狀態時，順序手動（SEQUENCEMANUAL）將停并停留在當前狀態。此時如果閥門處于閥門自動（VALVEAUTO）狀態，則“下一步（STEPADVANCE）”能夠執行。順序自動（SEQUENCEAUTO）將時序控制為自動狀態，閥門的狀態依賴于設定的計時器及連鎖條件。在正常操作時推薦這種模式。允許打到"順序自動"的條件是：閥門處于"閥門自動"狀態。4.2.8.3下一步（步進）當步驟完成連鎖條件滿足時，操作員可以通過下一步（STEPADVANCE）按鈕使時序切換到下一步驟（一次跳躍一步）。允許這種操作的條件是：順序自動/手動（SEQUENCEAUTO/MANUAL）開關置于手動狀態（MANUAL）滿足步驟完成的連鎖條件閥門手動/自動VALVEAUTO/MANUA開關置于自動（AUTO）狀態————或者————順序手動/自動（SEQUENCEAUTO/MANUAL）開關置于手動（MANUAL）狀態所有閥門處于關閉狀態。4.2.8.4步驟未完成報警步驟未完成報警(STEPINCOMPLETEAlarm)是指設定的時序到達執行下一步的時間，但連鎖條件不滿足，程序未能進入下一步驟。當系統在自動（AUTO）狀態時，一旦連鎖條件滿足系統將自動轉入下一步。當系統處于手動（MANUAL）狀態時，當滿足連鎖條件且點擊下一步（STEPADVANCE）按鈕時，程序才能進入下一步驟。4.2.8.5閥門狀態報警閥門狀態報警(VALVEPOSITIONAlarm)指閥門限位開關指示的閥門實際狀態與時序要求的位置不同。該報警可用做某些步驟的連鎖條件。4.2.8.6系統停車，ESD允許用戶端DCS遠程關閉系統（緊急停車）。該操作使所有的輸出為零，停止所有的電機、加熱器，同時所有電磁閥斷電，使所有閥門停留在“事故”狀態。4.2.8.7降壓程序在降壓步驟，使用一個線性函數用來控制PIC-6505使其在再生過程的一個小時之內緩慢的降低其設定值。這將減少對其它系統內壓力調節閥影響，并減少再生氫氣用量。該函數的公式如下：其中SP=PIC-6505的設定值，Kg/cm2-G；USP=最大設定值，Kg/cm2-G；LSP=最小設定值，Kg/cm2-G；T=設定的降壓時間，min；t=計時器的最小增長量，1min計數一次；當t≥T時，SP=LSP。.4.2.9檢查時序控制移除電磁閥的儀表空氣管，并吹掃儀器空氣，從接頭處排向大氣以除去雜物和油污。然后重新接好儀表空氣管道。警告：為了避免設備損壞，在啟動前必須核對以下事項：1、吸附柱經過氮氣吹掃。2、系統壓力小于1.5kg/cm2-G3、加熱器E-619已經關閉。活性炭會吸附氧氣。如果系統中的氧氣沒有處凈，加熱時會導致活性炭在吸附柱內氧化（或燃燒）。在控制系統通電后，手動開始吸附系統的循環（按下STEPADVANCE按鈕），根據時序圖確認閥門的狀態。必須在適當的溫度和壓力下進行操作以滿足連鎖條件。將時序控制從手動狀態改到自動狀態（SEQUENCEMANUALtoSEQUENCEAUTO）根據下表核對計時器。步驟時間說明關閉1min閥門動作時間降壓/加熱#1約10min冷熱加熱載體出口溫度平衡所需時間降壓/加熱#2200min完成降壓所需時間再生/加熱210min完成加熱所需時間并行吸附1min切換吸附柱時間恢復壓力冷卻的時間和降壓加熱時間一致。冷卻時間和再生加熱時間一致。吸附時間等于再生時間的1/2。4.2.10檢查緊急停車系統每一個系統都需要仔細檢查以確保操作和復位功能正常。注意：仔細核對所有的緊急停車系統是系統安全操作的需要。4.3公用工程吹掃所有公用工程管線吹掃儀表空氣管道除去雜物和水分。吹掃、干燥導熱介質管道除去雜質、水分和氧氣。充注冷卻水，開始冷卻循環水的運行。4.4制冷系統抽真空并填充制冷劑見冷凍機操作手冊。冷凍機組抽真空到*Kg/cm2-G保持一個小時便于檢露和除去水分。每套機組充裝*KgsR-507A.4.5保溫在建筑施工完成后的任何時間都可以進行安裝保溫層的工作。推薦在系統達到操作溫度后再安裝法蘭的保溫層。一旦達到操作溫度，系統的所有螺栓都要進行緊固，法蘭的保溫層也可以完成安裝。4.6物資準備4.6.1車間試車所用的原材料、工器具、化學品等已齊全到位。4.6.2車間的安全設施處于可用狀態。4.6.3所有電纜、線路和配電工作均已檢查合格.4.6.4相關原材料、水、電、氣等公用條件的供應均滿足要求。4.6.5具備分析儀器和手段，以及相關的工具器材。4.6.6全廠安全、急救、消防設施已經準備齊全，電氣絕緣設施、避雷、防靜電、防毒、事故急救等設施，可燃氣體報警儀、火災報警系統經檢查、實驗靈敏可靠，并皆以符合有關安全的規定。且具備消防、醫療、安全等裝備和條件（備注：干粉滅火器、清水管、消防沙、防毒面具、防護服裝、防護眼鏡、膠皮手套等）。4.6.7現場衛生整潔，所有電器設備均滿足防爆要求。4.6.8此試車方案通過相關部門評審，得到批準執行，并分發相關部門和人員。4.6.9所有上崗人員均培訓合格，具備上崗條件，并熟悉此試車方案。4.7后勤服務準備車間應落實試車時對飲食住宿、交通、通訊、醫療急救、防暑降溫、防寒防凍、氣相信息等后勤服務。5單機調試5.1冷凍機調試、5.2氫壓機調試5.3泵調試6試車過程及質量控制6.1回收系統流程還原尾氣回收系統接收CVD還原爐產生的尾氣并將其分離為液態氯硅烷、氫氣和氯化氫。高純的回收氫氣返回系統供還原爐使用（總雜質<1ppm），氯化氫氣體和液態氯硅烷返回到其它工序。尾氣中的氮氣、甲烷和其它的污染物不能被尾氣回收系統分離。6.1.1尾氣冷凝尾氣進入系統首選經過一系列換熱器，這些換熱器將進氣中的大部分的氯硅烷冷凝為液態。氣-氣換熱器E-602，將尾氣冷卻到~25℃，同時加熱進入尾氣壓縮機的氣體。‐15°C換熱器E-604冷凝出部分氯硅烷液體并將其排入氯硅烷分離器D-602進行氣液分離。分離出來的液態氯硅烷進入緩沖罐D-601，氫氣、氯化氫和未被冷凝的氯硅烷被送到‐46°C換熱器E-605，在換熱器中氯硅烷進一步被冷凝，冷凝后的氣液混合物仍然被送到分離器D-6026.1.2壓縮還原尾氣進入回收系統的壓力為4kg/cm2‐G，回收系統的設計操作壓力為11kg/cm2‐G，該壓力為單級壓縮機出口最高壓力（排氣溫度不高于規定的溫度上限），機械設計壓力為18.3kg/cm2‐G。6.1.3吸收和脫吸系統吸收和脫吸系統采用低溫氯硅烷液體吸收（溶解）氯化氫，從而減少活性炭吸附柱的除雜負荷。在氯化氫吸收塔T-602中，進氣與-40°C主要成分為為三氯硅烷和四氯硅烷的氯硅烷液體接觸，進氣中99%的氯化氫被氯硅烷吸收。吸收了氯化氫的氯硅烷（富液）從吸收塔底部被送到氯化氫脫吸塔T-603。T-603通過蒸餾脫吸富液中的氯化氫，氯化氫在脫吸塔頂部回流罐D-607中被分離，D-607控制溫度為-40°C。D-607中的液體進入氯化氫加熱器E-617被加熱到20°C氣化后送到下游工序。尾氣的成分決定液態循環氯硅烷的成分。根據T-603塔底部液位計的液位控制返回T-602的氯硅烷流量。吸收塔進氣流量的波動不會對本系統造成大的影響，即使氣體流量遠低于設計值，本系統可以按照設計值平穩運行。脫吸塔T-603的穩定性能與氯硅烷的流量和溫度密切相關，因為其流量和溫度是氯化氫脫吸塔的主要熱負荷。氯化氫的含量（從零到設計值之間變化）不會對吸收塔的穩定運行造成大的影響。所以進入脫吸塔的氯硅烷流量及溫度是主要的控制參數。再沸器通過前端信號控制，即依據氯硅烷的流量和溫度計算得出蒸汽的理論流量（詳見3.10.2）。6.1.4吸附系統吸附塔T-604在環境溫度（常溫）下采用活性炭吸附除去氫氣中的氯硅烷和氯化氫。氣體從底部進入吸附柱，氣流向上通過RL-13型活性炭，經活性炭吸附除雜后的回收氫氣的純度可以達到99.9999%。CO、CO2、N2和CH4不能被除去，進入回收系統的尾氣不應包含這些成分。吸附柱的操作周期為7小時，一根吸附柱使用另外兩根再生。再生過程包括降壓、加熱、熱再生、冷卻和恢復壓力。再生過程中，9.5kg/cm2‐G的純凈H2用于吹掃和恢復壓力。吸附柱通過導熱介質流經內外盤管進行加熱和冷卻。6.2設計依據尾氣回收氯硅烷回收氫氣回收氯化氫壓力（Kg/cm2）5>7>10.5>7溫度（°C）45405020組成（Kg/hr）H2986.5nil9670.05HCl565.5<200wppmnil563.5SiH2Cl237.33.6nilnilSiHCl312796.512591.5nilnilSiCl433723354.5nilnilN2<500vppmnil<500vppmnil注意：尾氣進氣中的氮氣不能被回收系統分離。上表為回收-6設計處理量。6.3考核指標在開車初期，吸附柱的加熱和冷卻系統，吸收塔T-602和脫吸塔T-603之間的液體氯硅烷循環量，均可以設計值進行運行。壓縮機的壓縮量通過緩沖罐D-204到E-202的補償量來調節，所以壓縮機的容量也是按照設計值運行。根據還原尾氣的實際情況，可以考核系統冷凝器，再生系統和活性炭吸附柱處理量。根據24小時的實際進料量，通過流量數據和定期的取樣分析報告可以建立系統的物料平衡。各種成分的回收率應達到如下要求：H2: 99.2%HCl: 99.3%DCS: 99.2%TCS: 99.4%STC:99.5%用回收氫氣生產的多晶硅質量應與使用液態氫蒸發的氫氣所生產的多晶硅質量相當。6.4啟動步驟一旦開車前的準備工作完成后，系統就可以按照如下步驟進行啟動：6.4.1用氮氣置換使用氮氣吹掃以除去系統中的氧氣和水分。最好通過關閉手動閥將系統分成若干個子系統進行。推薦將系統分成以下幾部分：P-601A/B，E-602，E-604，E-605，D-601和D-602；D-603和D-604氫壓機C-601A及其相連的設備和管道；氫壓機C-601B及其相連的設備和管道；氫壓機C-601C及其相連的設備和管道；P-602A/B,T-602,E-606,E-607A/B/C,E-608；P-603A/B,T-603,E-609,E-610,E-611,E-617和E-618,D-607；吸附柱T-604A/B/C；PSV管道——連續吹掃。注意：物料氣體是可燃的。通過吹掃除去氧氣是安全操作的關鍵。警告：水與氯硅烷劇烈反應形成具有強烈腐蝕性的混合物。在物料氣體或氯硅烷進入系統之前，水分必須通過氮氣吹掃除去。警告：活性炭會吸附氧氣和水分。即使使用大量氮氣吹掃也不能完全除去，必須通過加熱才能除去（見3.2）。在吸附柱按照3.2章的要求完成吹掃之前物料不允許進入吸附柱。使用軟管連接氮氣對所有的容器和管道進行吹掃，吹掃后氧氣含量必須低于0.5%體積比。吹掃完成后測試系統的露點。要求露點低于-40℃有平行管道的地方，仔細確保每條管線都被單獨吹掃。通過打開排放閥吹掃所有的輸送管道。6.4.2干燥吸附柱（見操作說明，5.3步驟清單）將吸附柱置于手動狀態，按照以下方法干燥吸附柱（每個吸附柱的干燥過程需要2~3天）：將吸附柱設置為“SEQUENCEMANUAL”時序手動，“VALVEMANUAL”閥門手動。關閉吸附柱進氣閥KV-6510,KV-6520,KV-6530。關閉回收氫氣閥門KV-6511,KV-6521,KV-6531。打開吸附柱再生進氣閥KV-6514,KV-6524,KV-6534和相應的旁通。關閉吸附柱再生尾氣出口閥門KV-6515,KV-6525,KV-6535。打開熱液進口閥KV-6516,KV-6526,KV-6536。打開熱液出口閥KV-6517,KV-6527,KV-6537。關閉冷液進出口閥KV-6518,KV-6528,KV-6538，KV-6519,KV-6529,KV-6539。用軟管將氮氣連接到過濾器低點閥。關閉過濾器出口閥和電解氫。打開吸附柱的低點閥，使氮氣可以通過吸附柱。關閉吸附柱進氣和回收氫氣閥門的儀表空氣氣源和吸附柱的低點。關閉這些閥門是為了避免其它管道的水汽進入吸附柱。打開蒸汽加熱器，E-619，當蒸汽不足時可同時打開電加熱器。打開P-605B/C使熱液流過吸附柱盤管。連續加熱吸附柱并保持氮氣吹掃知道溫度大于150℃，出口氣體露點小于-40℃，氧含量小于0.5%體積比。預計氮氣用量在打開E-613冷卻水進出口。當三個吸附柱均加熱到150℃打開所有閥門的儀表空氣在自動狀態下運行吸附柱，使用電解氫。將吸附柱設為程序制自動（SEQUENCEAUTO）,循環吸附柱直到每根吸附柱被加熱到設定值至少一次。使用FE-6504下面的球芯閥在加熱再生的時候設置再生氫氣流量。再生氫氣的流量需要保證1小時左右完成充壓。再生尾氣被送到CVD或者其它系統的尾氣處理系統。吸附柱接受尾氣。在自動狀態下連續循環使用。6.4.4干燥氫壓機打開氫壓機內循環閥門，打開冷卻水進出口使冷卻水通過油冷卻器，后冷卻器和壓縮機夾套。按照氫壓機的操作說明打開吹掃氮氣和吹掃氫氣。關閉氫壓機進氣閥和排氣閥，充氮氣并啟動氫壓機。此時氮氣必須能自由的通過旁通回流到壓縮機。壓縮機的壓力不能超過設備廠家推薦的范圍。氫壓機吹掃氮氣直到露點低于-40℃氧含量低于0.5%對剩余壓縮機重復以上操作。6.4.5用氫氣置換氮氣在進行置換前系統應滿足所有的氫氣安全使用的要求。安裝在室內或者有頂棚的建筑內的使用氫氣的設備必須配備通風裝置以保證氫氣可以從頂部排出。系統水分和氧氣吹掃達標后，使純凈氫氣通過吸附柱進入系統并反向流過整過系統。氮氣可以在D-604低點排出，保證系統壓力大于0.35KG/cm2-G。此時增加壓力對連接點進行檢漏也是必要的。通過進氣管道吹入氫氣置換換熱器E-602，E-604，E-605，D-601，D-602，P-601A/B內的氮氣并通過D-603進口管道上的低點排放(此時需關閉其進口閥)。使氫氣流過P-601A/B氯硅烷回路及相關管道。此時需關閉其他閥門保證氫氣可以流過這些管道。使氫氣進入氫壓機，包括緩沖罐、壓縮倉及管道等，置換的氮氣從D-604低點排出。置換活性炭柱，保持吸附柱為自動狀態使氫氣吹掃吸附柱并通過吸附柱再生管道排出。檢查系統是否存在氮氣。置換完成后要求系統的氮氣含量低于500vppm。用肥皂水再次檢漏。為了將氮氣含量降低到500vppm以下，系統需要進行4~6次沖排氫氣，沖排壓力根據提供的純凈氫氣壓力確定。建議系統保壓20小時確認系統不存在漏點。6.4.6T-602，T-603充填氯硅烷使用專門管道填裝氯硅烷到T-603（PL-10139-100-E3C）。當T-603液位到達90%時關閉填裝氯硅烷的閥門，啟動P-603A/B將氯硅烷從T-603循環到T-602。重復上述操作直到兩個塔的液位大于60%。為使氯硅烷從吸收塔T-602循環到脫吸塔T-603必須提高吸收塔的壓力（按照3.7所示操作）。6.4.7啟動壓縮機壓縮機具備開車條件后，按照如下步驟啟動壓縮機：打開每臺壓縮機的內循環閥。將PV-6214設為自動，設定值為3.3KG/cm2-G檢查循環水吹掃氣是否打開。開啟一臺壓縮機。緩慢關閉壓縮機內循環閥門，氣體通過D-604，檢查PV-6214是否正常開啟并控制壓縮機進氣端壓力。緩慢增加PV-6501的設定值到9.5KG/cm2-G，緩慢建立系統壓力。此時必須向壓縮機補充一定量的氫氣。6.4.8建立氯硅烷循環在氯化氫吸收塔和氯化氫脫吸塔的液位都達到要求后，啟動P-603A/B開始氯硅烷到吸收塔T-602的循環，打開LV-6400，在穩定后將設置改為自動。開啟氯硅烷循環泵P-602A/B，使氯硅烷循環到氯化氫脫吸塔T-603。當吸收塔液位增加時，緩慢增加FIC-6370的設定值使氯硅烷回到脫吸塔。繼續增加FV-6370的設定值直到循環量穩定在設計值的80%左右（65m3/hr）6.4.9制冷系統允許制冷劑進入所有的換熱器并按照制冷壓縮機的要求建立正常的操作壓力和操作溫度。詳見冷凍機操作規程。6.4.10建立氯化氫脫吸塔T-603的溫度脫吸塔的循環流量通過FIC-6370控制。循環量關系再沸器的熱負荷應保持穩定。再沸器的蒸汽流量通過塔的溫度控制。T-603通過-15℃和-45℃兩個冷凝器進行冷凝。回流液流入收集罐D-607，在開車初期氯化氫很少或者沒有，罐子中將存在較多的氯硅烷。氯化氫將通過加熱器E-617加熱到通過以下步驟建立T-603的溫度：控制員將PIC-1460設置為13.3Kg/cm2并投入自動。確認循環水流過E-609。手動打開FV-6451將蒸汽通入再沸器E-610。加大FV-6451的開度使塔底溫度升高直到穩定（塔底溫度與塔內的氯硅烷組成有關）此時塔中部溫度開始上升。將FV-6451投入自動，程序將通過理論計算控制蒸汽流量。準確的再沸器溫度視氯硅烷的成分而定。蒸汽流量理論計算如下：Tstm=FIC-6370*(TI-6403‐TI-6400)*OI*K1+K2Tstm=蒸汽的理論流量，t/hr；FIC-6370為實際的循環量m3/hr;TI-6400為循環氯硅烷的溫度，℃；TI-6403塔底溫度，℃；OI為操作員規定的波動范圍，可以為50%~200%；K1=5.6×10-4t/m3-CK2=0.75t/hr實際的蒸汽流量顯示在FI-6451，實際的再沸器負荷計算如下：K3=566KW-hr/t注意:‐K值取決于設計流量;實際K值會隨組分變化而變化.OI,操作人員輸入控制，即是為組分變化提供相應的調節.‐如果T-603的底部溫度不是沸點溫度，則上述等式無效。‐塔必須在加熱輸入控制為手動模式的情況下啟動。收集在D-607中的液體可通過閥門FV-6402由重力作用返回HCl脫吸塔，形成回流。D-607實現氣液分離，達到液相采出高純氯化氫的目的。6.4.11增加尾氣進氣量系統正常接收尾氣當工作溫度和壓力正常后，增加從還原爐過來的尾氣流量。產物氫氣中唯一可能的污染物是氮氣，氮氣只有通過置換或者排空的方法減少。當回收氫氣各項指標滿足還原爐生產多晶硅要求后，回收氫氣直接供還原爐使用。回收的氯硅烷需經過精餾后進入以后工序。回首氯化氫以及吸附柱再生氣體經過處理后在其它工序循環使用。當D-601液位超過50%時啟動P-601A/P-601B,通過LV6110將氯硅烷送到脫吸塔.6.5停車6.5.1過程故障（短期故障）在短期故障（少于20分鐘）之后，溫度和壓力應保持停車前的狀態。重新啟動步驟如下：A. 重新啟動泵，建立進入吸附塔和加熱介質的流體平衡。B.檢查吸附塔的壓力，當閥門轉到當前步驟要求的位置時，確保重新啟動不會發生故障。如有必要的話，調整壓力。C.把吸附塔閥門恢復到當前步驟，再把吸附塔設置到自動模式。D.重啟冷凍裝置。E.向換熱器通入蒸汽。F.重啟壓縮機，完全循環。G.當達到正常溫度后，重新通入尾氣。6.5.2長期故障如果停車超過20分鐘，可能導致溫度和壓力明顯偏離正常值。在所有溫度都重新達到停車前的狀態之前，不得重新通入尾氣。除此之外，重啟程序大致與短期故障的操作相同。吸收塔液體入口溫度應該低于-30度。脫吸塔冷凝器的溫度應低于-30度。正在加熱的吸附塔應恢復塔內床層在停車前的溫度。一旦溫度恢復，即可重新通入尾氣。如果在通入尾氣之前未能達到要求的溫度，很可能會導致吸收塔中的氯化氫和氯硅烷過早斷流。6.5.3正常停車正常停車應按照以下步驟進行:a.停止通入尾氣。b.停止所有的壓縮機和泵。c.系統內保持正常的操作壓力，系統能長時間保持。維護檢修時停車步驟:A.停止正常的進氣B.在停止接受尾氣后，繼續循環氯硅烷30分鐘，以除去氯硅烷中的HCl。C.吸附塔繼續再生，直到每一個吸附塔都至少再生一次。氫氣和氮氣可以用作吹掃氣體。該操作能與下列步驟同時進行。D.停止向再沸器中通入蒸汽E.停止到所有換熱器的制冷劑F.關閉位于E7//C入口的閥門LV-640以防止T-62.通過V-63將T-62塔內的液體輸送至HCl脫吸塔T-63,FVG.通過V-63將HCl脫吸塔T-63內的液位輸送至氯硅烷儲罐,閥門應設置為手動。H.當液位輸送完之后,停止氯硅烷泵P-603A/B,打開所有的低點排放殘液并用氫氣或氮氣吹掃.I.當所有的吸附柱完成再生之后，停止加熱介質的流量。將吸附柱控制系統設置為手動操作.J.停止所有的壓縮機和泵.K.系統內用氫氣或氮氣保正壓，以防止水分進入系統。這樣可以減少重啟系統所需要的時間L.用氮氣置換氫氣以確保系統安全。

7主要工藝指標7.1產品質量表回收氯硅烷回收氫氣回收氯化氫壓力（Kg/cm2）>7>10.5>7溫度（°C）405020組成（Kg/hr）H2nil9670.05HCl<200wppmnil563.5SiH2Cl23.6nilnilSiHCl312591.5nilnilSiCl43354.5nilnilN2nil<500vppmnil7.2消耗表7.2.1公用工程消耗循環水電蒸汽氫氣氮氣噸/h噸/月電耗KW度/月噸/h噸/月kg/h噸/月NM3/hNM3/月9506840002949.521236407.251842920.915108007.2.1電耗清單序號設備代號設備名稱型號數量總功率備注1E612熱液體電加熱器1240KW×2未安裝2E617氯化氫加熱器170KW703P601A/B氯硅烷輸送泵237KW×237一備4P602A/B富液循環泵237KW×237一備5P603A/B貧液循環泵237KW×237一備6P605A/B/C熱液體循環泵311KW×322兩開7RF601A/B-46°冷凍機組21606KW1606-46°低壓級主電機10KV，450Kw，IP552450Kw×2-46°高壓級主電機10KV，315Kw，IP552315Kw×2-46°油泵44KW×4-46°油分離器電加熱器1KW×2-46°桶泵機組氟泵8RF602A/B-15°冷凍機組2861KW861-15℃壓縮機主電機10KV，400Kw，IP55400kW×2-15℃油泵4Kw，IP554KW×4-15油分離器電加熱器1KW×2-15℃桶泵機組氟泵9C601A/B/C氫氣壓縮機3400KW×3800空間加熱器3<1KW×3輔助油泵32.2KW×3曲軸箱油加熱器31KW×3總計34707.3主要控制參數序號位號設備用途參數單位低低報低報高報高高報運行連鎖1LIC-6100D-601氯硅烷儲罐液位%52090502102TI-6100D-601尾氣到氯硅烷儲罐溫度℃-403FI-6101E-602壓縮機進氣流量KG/h26804TIC-6101E-602壓縮機進氣溫度溫度℃45FI-6103D-601氯硅烷到脫吸塔流量KG/h156806TI-6103D-601氯硅烷到脫吸塔溫度℃-197PI-6140E-602尾氣進回收系統壓力MPaG0.398TI-6140E-602尾氣進回收系統溫度℃55449LIC-6150D-602氯硅烷分離器液位%55021510TI-6150D-602E-602出口溫度℃1411TI-6160E-605D602頂部出口溫度℃-1012PIC-6200D-603壓縮機吸鼓壓力MPaG0.250.40.32613LSH-6200D-603壓縮機吸鼓液位5221,222,22314LSHH-6200D-603壓縮機吸鼓液位20221,222,22315TI-6201D-603壓縮機吸鼓溫度℃0250420116LSA-6240D-604壓縮機排鼓液位%517PI-6240D-604壓縮機排鼓壓力MPaG0.91.21.0818LIC-6300T-602吸收塔液位%5209050S20719TI-6300T-602吸收塔溫度℃-2220LSLL-6301T-602吸收塔液位5S20721TE-6300T-602吸收塔溫度℃-2222LSLL-6301T-602吸收塔523TI-6301T-602吸收塔頂氣體溫度℃-4024TI-6302AT-602吸收塔進液溫度℃-33-30-40S20725TI-6302BT-602吸收塔進液溫度℃-33-30-40S20726FIC-6370T-602吸收塔到E-607流量m3/h177627TI-6303T-602吸收塔到E-607溫度℃-3028TI-2340E-608E-607到E-608溫度℃-1529LIC-6400T-603脫吸塔液位%5209050S20730LSLL-6401T-603脫吸塔液位531TI-6400T-603脫吸塔進氣溫度℃1832PI-6401T-603脫吸塔壓力MPaG1.41.551.324033FIC-6402T-603氯化氫回流液流量KG/h162834TI-6402T-603氯化氫回流液溫度℃-30-4035TI-6403T-603脫吸塔底溫度℃13014236TIC-6405T-603脫吸塔頂溫度℃037FI-6407T-603回收氯硅烷流量KG/h1598238TI-6410E-609E-609出口氯硅烷溫度℃504039FIT-6430D-607回收氯化氫流量m3/h0.5340AI-6434E-609循環水PH6741FIC-6451E-610再沸器蒸汽流量KG/h673242AI-6454E-610蒸汽冷凝水PH6743LIC-6460D-607氯化氫回流罐液位%55024644LSLL-6461D-607氯化氫回流罐液位524645PIC-6460D-607氯化氫回流罐壓力MPaG1.11.451.346TI-6471E-617回收氯化氫溫度℃1030352124747TIC-6472E-617回收氯化氫溫度℃7048TI-6473E-617氯化氫電加熱器元件溫度℃35040024749PI-6500T-604ABC吸附柱進氣壓力MPaG1.0650FI-6501F-601A回收氫氣流量KG/h96751PIC-6501F-601A回收氫氣壓力MPaG0.851.050.9552PIC-6503回收氫氣壓力MPaG0.810.9PV-6503A/B53FIC-6504T-604ABC再生氫氣流量KG/h2754PIC-6505T-604ABC再生尾氣壓力MPaG#155PI-6510T-604A吸附柱壓力MPaG0.12降壓完成56PDI-6510T-604A吸附柱壓差MPaG0.06PI6500-PI6510充壓完成57PDI-6511T-604A吸附柱壓差MPaG0.06PI6501-PI6510壓差58TI-6512T-604A吸附柱溫度℃50120加熱或冷卻完成59PI-6520T-604B吸附柱壓力MPaG0.12降壓完成60PDI-6520T-604B吸附柱壓差MPaG0.06PI6500-PI6510充壓完成61PDI-6521T-604B吸附柱壓差MPaG0.06PI6501-PI6510壓差62TI-6522T-604B吸附柱溫度℃50120加熱或冷卻完成63PI-6530T-604C吸附柱壓力MPaG0.12降壓完成64PDI-6530T-60C吸附柱壓差MPaG0.06PI6500-PI6510充壓完成65PDI-6531T-604C吸附柱壓差MPaG0.06PI6501-PI6510壓差66TI-6532T-604C吸附柱溫度℃50120加熱或冷卻完成67LSH-6600D-605膨脹罐液位%8068LSLL-6600D-605膨脹罐液位%526069FI-6640E-613冷流體流量m3/h141670FI-6650E-619熱流體流量m3/h121671PSH-6900PSV總管氮氣壓力0.0172PI-6910-46冷凍機供液壓力MPaG0.473TI-6910-46冷凍機供液溫度℃-4274PI-6911-46冷凍機供液壓力MPaG0.475TI-6911-46冷凍機供液溫度℃-4276PI-6911-46冷凍機吸氣壓力MPaG0.277TI-6912-46冷凍機吸氣溫度MPaG-4278PI-6920-15冷凍機供液壓力MPaG0.679TI-6920-15冷凍機供液溫度℃-4280PI-6921-15冷凍機供液壓力MPaG0.381TI-6921-15冷凍機供液溫度MPaG-42注:吸附柱部分參考吸附柱時序圖.#1在吸附柱步驟2&3,7&8,12&13中，120min之內PIC-6505壓力設定值由1.1MPaG降到0.05MPaG。word文檔可自由復制編輯word文檔可自由復制編輯7.4系統報警和復位7.4.1壓縮機進氣溫度報警連鎖編號601引發:TI‐6201.LL,壓縮機進氣溫度過低(下下限報警或低低報警)。動作:將TIC‐6101設置為手動，并將輸出值保持為0%（TV6101關閉）。復位順序（重置順序）:TIC‐6201.LL報警解除。TIC‐6101恢復自動控制。7.4.2膨脹罐D-605液位報警連鎖編號605引發:LALL‐6600.ON,膨脹罐液位低低報警動作:斷開控制繼電器CR‐6610/6620/6630（P605A/B/C關閉）。復位順序:系統添加脫鹽水，使液位高于LAL‐6600.ON報警值LAL‐6600.ON報警解除，控制繼電器CR‐6610/6620/6630自動復位。7.4.3氯硅烷緩沖罐D‐601液位報警連鎖編號210引發:LIC‐6110.LL,D‐601液位低低報警或LALL‐6101.ON,D‐601液位低低報警（下下限報警）。動作:CR‐6110/6120置為Disable（泵P601A/B關閉）。將LIC‐6110設置為手動，并將輸出值保持為0%（LV6110關閉）。復位順序:LALL.ON,報警解除LIC‐6110.L報警解除。CR‐6110/6120置為Enable。LIC‐6110恢復自動控制（即LV6110恢復自動控制）。7.4.4氯硅烷分離罐D‐602液位報警連鎖編號615引發:LIC‐6150.LL,D‐602液位低低報警動作:將LIC‐6150設置為手動，并將輸出值保持為0%（LV6150關閉）復位順序:LIC‐6150.L報警解除LIC‐6150恢復自動控制7.4.5氫氣壓縮機C‐601A/B/C報警連鎖編號621,622,623引發:TI‐XXXX.HH,排氣溫度高高報警和TI‐XXXX.HH,排氣溫度高高報警或PI‐XXXX.LL,吸入壓力低低報警或PALL‐XXXX.ON,潤滑油壓力低低報警或PAL‐XXXX.ON,儀表空氣壓力低報(延遲30秒)和PAL‐XXXX.ON,儀表空氣壓力低報(延遲30秒)或按下人機界面停機按鈕或LAHH‐6201.ON,吸鼓液位高高報警動作:繼電器CR‐XXXX斷電，停壓縮機打開循環閥HIC‐XXXX并將開度保持為100%啟動潤滑油輔助油泵并運行3分鐘停機后30秒,關閉出口閥KV‐XXXX復位順序:根據壓縮機廠商提供的壓縮機啟動說明書進行操作詳見附件：氫壓機操作規程7.4.6脫吸塔壓力報警連鎖編號640引發:PI‐6401.HH,T‐603壓力高高報警動作:將FIC‐6451設置為手動，并將輸出值保持為0%(關閉FV6451，再沸器蒸汽關閉)。復位順序:PI‐6401.H報警解除。FIC‐6451恢復自動控制。7.4.7氯化氫回流罐液位報警連鎖編號646引發:LIC‐6460.LL,D‐607液位低低報警或LALL‐6461.ON,D‐607液位低低報警動作:將LIC‐6460設置為手動，并將輸出值保持為0%復位順序:LIC‐6460.L和LALL‐6461.ON報警解除。LIC‐6460恢復自動控制。7.4.8HCl電加熱器溫度報警連鎖編號647引發:TI‐6471.HH,出口溫度高高報警或TI‐6473.HH,元件溫度高高報警。動作:CR‐6470斷電（加熱器斷電）。復位順序:TI‐6471.H和TI‐6473.H報警解除。CR‐6470自動復位7.4.9熱流體電加熱器E‐612溫度報警連鎖編號665引發:TI‐6650.HH,元件溫度高高報警或TI‐6651.HH,出口溫度高高報警。動作:CR‐6650斷電（加熱器斷電）。復位順序:TI‐6650.H和TI‐2651.H報警解除。CR‐6650自動復位。7.4.10氯硅烷循環管路連鎖編號S207引發:TI‐6302A.HH，TI‐6302B.HH至T‐602氯硅烷液體溫度高高報警或LIC‐6300.LL，LALL‐6301.ON,T‐602液位低低報警或LIC‐6400.LL,LALL‐6401.ONT‐603液位低低報警，同時10分鐘的解除聯鎖計時器沒有激活動作:將LIC‐6300設置為手動，并將輸出值保持為0%將LIC‐6400設置為手動，并將輸出值保持為0%將LIC‐6370設置為手動，并將輸出值保持為0%將LIC‐6451設置為手動，并將輸出值保持為0%將LIC‐6402設置為手動，并將輸出值保持為0%將CR‐6310/6320斷電，停止泵P‐602A/B并將CR‐6410/6420斷電，停止泵P‐603A/B.復位順序:按下人機界面復位按鈕,啟動計時器。CR‐6310/62320和CR‐6410/6420恢復通電。LIC‐6300,LIC‐6400,FIC‐6370和FIC‐6451恢復自動控制。如果需要,打開閥門FV‐6303緩慢將T‐602液位輸送至T‐603.兩個塔內液位應近似相等。啟動泵P‐602A或B，并啟動P‐603A或B。打開閥門LV‐6400緩慢將液體從T‐603輸送至T‐602。將FIC‐6370設為自動。將LIC‐6400設為自動。打開閥門LV‐6300至20%，并將LIC‐6300設為自動將FIC‐6451設為自動。7.4.11ESD系統停車引發:緊急系統停車信號。動作:所有電磁閥斷電。將所有控制器設置為手動，并將輸出值保持為0%。將所有控制繼電器斷電，停止旋轉設備及電加熱器。停止順序時間控制器并將順序設置為手動模式。復位順序:系統緊急停車復位。將所有電磁閥恢復通電。所有控制閥恢復自動控制。所有控制繼電器自動復位;操作人員手動啟動設備。操作人員將順序設置為自動模式。8安全規范及措施正常情況下進氣是可燃性氣體。用氮氣進行置換以除去氧氣是對于工廠安全操作至關重要的。警告：水汽會與氯硅烷強烈反應生成強腐蝕性的混合物。因此必須用氮氣置換除去系統中的水汽才能往系統中進氣或進氯硅烷。警告：活性炭吸附了氧氣和水汽。盡管用大量的氮氣置換過后，吸附床層依然會吸附有氧氣和水汽，這些氧氣和水汽可以通過加熱而去除。（見3.2）。在所有的吸附柱根據3.2進行干燥之前，不允許吸附柱進氣。8.1氫氣的安全性氫氣（分子量為2.016）在通常狀況下是氣體。氫氣無毒，無味，無色，但具備高度可燃性。在20℃、1atm時，其燃燒極限為4%-74.5%。氫氣的最小燃燒能非常低，所以氫氣很容易被引燃。氫氣的最低自燃溫度是570℃。含有氫氣的管道系統必須是金屬的，而且必須接地以防止靜電放電。塑料管道是不推薦的，因為塑料管道很容易引起靜電放電，同時塑料的熔點太低。盡管氫氣比烴類物質具有更大的危險性，但是氫氣的密度比空氣小得多，而且擴散很快。室內的含氫氣系統必須有在高處有屋頂排放口以防止氫氣的聚集。電氣裝備必須是防爆的。在往系統中引入氫氣之前，工廠操作人員和工程師必須完成（但不限于）以下步驟：A.用繩子對操作區域進行安全隔離B.警告標志標示：1.有氫氣存在2.嚴禁吸煙3.嚴禁使用手機4.嚴禁煙火5.其它C.工廠所有員工進行了氫氣的安全培訓。D.所有澆鑄電氣密封圈和帶有規定防爆等級的電器電纜安裝完成并進行確認。E.保持儀表空氣開啟并吹掃控制箱，以防氫氣進入。F.確保管道接地。G..進行容器的壓力試驗和泄漏試驗。H.消防設施安裝并進行檢查室內或屋頂下的氫氣系統必須有向通風區域防空的管道，以防氫氣在屋頂聚集。HCL安全屬性見附件氯硅烷安全屬性見附件8.2HCl安全氯化氫，HCL物理性質分子量36.5蒸汽壓見飽和蒸汽壓曲線附圖正常沸點-85.1℃凝固點-114℃汽化潛熱（沸點）105.9cal/g熔化潛熱（熔點）13.05cal/g氣體比熱(25℃)0.202cal/g·℃液體密度（沸點）1.191g/cm3臨界溫度51.4℃臨界壓力81.5atm臨界密度0.42g/cm3閾限值5ppm簡介在常溫常壓下，氯化氫是一種無色、不可燃、具有使人窒息的氣味的劇毒氣體，在潮濕的空氣中形成濃厚的酸霧，在相應蒸汽壓下則被液化。利用氯氣手冊6上建立的的處理氯氣的方法對氯化氫進行處理。個人防護裝備在可能存在氯化氫的戶外場所推薦使用帶活性碳罐的呼吸器。在含有氯化氫的密閉空間、低洼處、在氯化氫的管道或容器旁的流通不暢處的任何工作必須使用自給式空氣呼吸器。毒性氯化氫氣體有毒，能刺激眼睛、鼻粘膜和咽喉等部位。氯化氫在空氣中的以下濃度是毒性水平的衡量標準：5vppm閾限值，8小時暴露無危害。5-35vppm短時間暴露，刺激咽喉，咳嗽。50-100vppm最大允許暴露1小時。延長暴露時間可能導致肺水腫或喉痙攣。1000-6000vppm極短時間的暴露內就會產生劇毒危害。由于氯化氫有很強的親水性，它能使皮膚脫水而灼傷。緊急救援措施皮膚接觸或吸入氯化氫感覺不適時應立即送往空氣清新處。濺到身上時，應立即用大量水沖洗接觸部位，噴灑到眼睛里時，應至少沖洗15分鐘。大量吸入時，將受傷者移到空氣清新處，讓受傷者休息。必要時進行人工呼吸。在任何情況下，都應立即召喚醫療救護，同時進行以上措施。氯化氫飽和蒸汽壓曲線8.3氯硅烷安全操作8.3.1簡介歐洲硅樹脂中心（CES）歐洲化工理事會框架下的歐洲協會，代表西歐有機硅及其原材料的生產商。成員公司有德居薩、道康寧（歐洲）、通用電氣拜耳有機硅公司、通用特種材料瑞士公司、羅地亞有機硅、信越有機硅（歐洲）和瓦克化學。.該手冊的目的就是為使用、處理或暴露于氯硅烷環境中的人提供關于處理和使用主要的8種氯硅烷的信息：二甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、三甲基一氯硅烷、甲基二氯硅烷、乙基三氯硅烷、苯基三氯硅烷和四氯硅烷。所有這些清澈透明液體都易于跟水反應形成腐蝕性并有毒的氯化氫氣體以及鹽酸。液態氯硅烷及其蒸汽對皮膚、鼻子、眼睛、喉嚨和呼吸道具有腐蝕性。所有的氯硅烷都應作為強酸來對待。這本冊子只作為氯硅烷危害信息及其安全處理與使用的參考。另外安全數據簿(MSDS)應從廠家處獲取。MSDS會提供更詳細的信息。在任何情況下接觸到氯硅烷都應立即進行急救。（急救-見第三章）8.3.2氯硅烷術語這本出版物可用于以下商用的氯硅烷：化學名化學式CA號聯合國危險品編碼（UN-ON.）二甲基二氯硅烷(CH3)2SiCl275-78-51162二甲基一氯硅烷(CH3)2H2SiCl1066-35-9-甲基三氯硅烷CH3SiCl375-79-61250三甲基氯硅烷(CH3)3SiCl75-77-41298甲基二氯硅烷CH3HSiCl275-54-71242乙基三氯硅烷C2H5SiCl3115-61-91196丙基三氯硅烷C3H7SiCl3141-57-11816一氯丙基三氯硅烷C3H6ClSiCl32550-06-3-一氯丙基甲基二氯硅烷C3H6ClCH3SiCl27787-93-1-乙烯基三氯硅烷CH2CHSiCl375-94-51305乙基甲基二氯硅烷CH2CHCH3SiCl2124-70-9-苯基三氯硅烷C6H5SiCl398-13-51804二苯基二氯硅烷(C6H5)2SiCl280-10-41769苯基乙基二氯硅烷C6H5C2H5SiCl21125-67-52435三氯硅烷HSiC1310025-78-61295四氯化硅SiC1410026-04-71818目前已知的氯硅烷遠不止以上16種，而且有些是可以購買到的。他們的性質變化很大，而且，盡管所有的氯硅烷被歸于簡單的一類化合物，他們在相似的環境中未必發生相似的反應。詳細信息參見可獲取的物質數據簿（MSDS）。8.3.3健康因素3.1簡介吞咽液體氯硅烷將導致嚴重的內傷甚至死亡。氯硅烷都能與空氣中的濕氣或與水反應生成氯化氫，并使任何接觸到的身體組織受到嚴重傷害。最主要的危害是皮膚、眼睛、呼吸道可能受到的嚴重腐蝕。除非受到過嚴重的急性損傷，慢性健康危害一般不會發生。急救-一般原則任何情況下一旦接觸到氯硅烷必須展開急救。必須盡快將受傷者從受污染區域移開。采取的措施應該是支持性的，而且是對癥的，沒有特殊的解藥。醫療救助的首要目標是有效、快速的解除癥狀。3.2急性中毒氯硅烷能使任何接觸到的身體組織受到嚴重傷害。眼睛直接接觸氯硅烷將導致嚴重腐蝕損壞，其后果是可能導致眼睛完全失明。眼睛暴露于蒸汽可能導致強烈的刺激以致化學燒傷，其后果是可能導致眼睛完全失明。急救和醫療措施對被刺激的眼睛用大量水沖洗15分鐘以上。必須馬上呼叫醫生，如果醫生不能馬上到場，被刺激的眼睛必須再繼續用大量的水沖洗15分鐘。必須馬上將病人送到醫生處，在乘車期間眼睛必須繼續用水沖洗。根據氯硅烷的濃度和暴露時間長短，皮膚與氯硅烷液體或蒸汽的接觸能導致不同程度的燒傷，其嚴重程度可分為1-3級。急救及醫療措施當皮膚與氯硅烷接觸或衣服被氯硅烷污染或兩者同時發生時，必須馬上脫掉所有被污染的衣服和鞋子，直接去沐浴。用大量的水沖洗與氯硅烷接觸處的皮膚至少15分鐘以上。不能在燒傷的部位涂油膏除非是醫囑。醫生需對病人進行全面檢查。衣服應包好并在有適當防護措施的情況下進行清洗。吸入氯硅烷蒸汽或鹽酸蒸汽或鹽酸霧將導致呼吸道的嚴重受損。因吸入氯硅烷受傷的主要是上呼吸道，導致口腔、鼻子和咽喉及上呼吸道的發炎、水腫、和腐蝕性燒傷。急救及醫療措施立即將因氯硅烷蒸汽或氯化氫酸霧受傷的人從受污染區域移開。如果受傷者已停止呼吸，必須馬上進行人工呼吸，并馬上請專業人士進行輸氧。必須給受傷者保暖，但不能熱。不要嘗試用嘴給失去知覺的受傷者輸送任何東西。吞咽液體氯硅烷將導致嘴、食道、胃的嚴重燒傷，甚至可能