1、PAGE 78真空電子器件生產線設備安裝技術規范1總 則1.0.1 為規范真空電子器件生產線的設計技術要求、設備安裝工程施工及質量驗收，確保真空電子器件生產線工藝設備安裝質量，可靠運行，促進該領域設備安裝技術的發展，制定本規范。1.0.2 本規范適用于真空電子器件生產線的設計、施工與驗收。1.0.3 本規范規定了真空電子器件生產線設備使用廠房環境條件和動力條件等設計要求、技術條件；生產線設備安裝工程的程序、調試驗收程序；生產線設備安裝、驗收過程中的安全保障要求和作業規范。本規范涉及的真空電子器件生產線工藝設備包括高頻電子管、微波管、X射線管、真空開關管的制造工藝設備和檢測設備。1.0.4 真空

2、電子器件生產線工藝設備安裝工程施工及質量驗收除執行本規范外，尚應符合國家現行有關標準的規定。2 術 語2.0.1 真空電子器件 Vacuum Electronic Device凡是以一個器件中真空部分的電現象作為其運用基礎的器件都稱之為真空電子器件。它是一類用途廣泛的器件家族。按用途可分為發射管、整流管、穩壓管、示波管、攝像管、顯像管、顯示管、像增強管和輻射計數管等。按工作頻率可分為低頻管、高頻管、和微波管。按工作原理可分為空間電荷控制管、微波管、電子束管、光電管、離子管、輻射計數管、X射線管、真空開關管、電光源和氣體激光管等。它們在國民經濟諸多領域不可或缺，在軍事領域占重要地位。2.0.2

3、高頻電子管 High-frequency Vacuum Tube 一種工作在無線電波高頻段的真空電子器件。 它是以自由電子作為電荷搬運者以實現電磁波的產生、放大的真空電子器件。該種器件具有抗負載變化能力強、平均功率高以及失真小等優點，目前在廣播發射臺和高頻加熱領域被廣泛采用。2.0.3 微波管 Microwave Tube一種在微波領域內進行能量變換的真空電子器件。 它是一種在真空或氣體介質中利用電子或離子的作用實現微波信號的產生、放大等功能的器件。在微波領域該器件在高功率、高頻率等參量上占有絕對優勢，目前在航天及電子戰等領域廣泛采用。2.0.4 X射線管 X-ray Tube 一種利用高速電

4、子撞擊金屬靶面產生X射線的真空電子器件。該管通常由電子槍，能承受較高熱負荷由銅材端面鑲嵌鎢靶的陽極以及帶有輸出X射線的鈹窗的管殼組成。該器件在醫學方面用于診斷和治療，在工業技術方面用于材料的無損檢測、結構分析等。2.0.5 真空開關管 Vacuum Switch Tube 真空開關管是電力開關設備的核心部件。其主要作用是，借助管內高真空優良的絕緣性能使電路切斷后迅速熄滅電弧切斷電流，它用于電力開關設備具有節能、環保、體積小、壽命長、維護費用低、運行可靠等優點。真空開關管從用途上分為斷路器用真空開關管、負荷開關用真空開關管和接觸器用真空開關管三大類別。2.0.6 鉛屏蔽室 Lead Shield

5、ing Room安裝在廠房內，用于真空電子器件老煉、測試用以屏蔽電磁輻射以及射線的工作室，它是采用鉛板或鉛皮作為屏蔽材料構成的封閉工作室2.0.7 真空爐 Vacuum Furnace 工作環境為真空的熱處理爐2.0.8 氫爐 Hydrogen Furnace 以氫氣為介質氣體的熱處理爐2.09 尾氣 Off Gas從工藝設備排出的廢氣，如從真空系統排放出的氣體，氫爐排出的殘氣等。 3 基本規定基本規定包括真空電子器件生產線的一般規定、特定真空電子器件的生產工藝流程，以及各工序的生產設備等。3.1 一般規定 真空電子器件生產線設備布局、工序區域布局以及真空電子器件生產線通用的技術條件。3.1.

6、1 設備布局1真空電子器件生產線的工藝設備布局應符合產品的工藝流程，滿足生產工藝流向的要求，以便減少物料和生產產品的周轉周期。 2真空電子器件生產線的工藝設備布局應考慮設備安裝、檢測所需的空間和面積。新建、改建、擴建項目的工藝設備布局對靠墻布置的設備距離墻壁不得小于400mm。 3設備布局應考慮操作人員管理多臺設備的需要。4設備的操作面應與通道安排在同一側。生產設備配套的設施應與生產設備就近布置。5凡重型設備或運轉時會產生很大震動的設備應布置在廠房的一層，有劇烈震動的設備，應采取減震措施。設備布局時，應避開建筑物的柱子以及主梁，設備布局應避開建筑物的沉降縫或伸縮縫。6真空電子器件生產線設備搬運

7、通道應滿足設備順利進、出生產廠房的要求，應滿足安全生產和消防疏散的要求。7存在廢水、廢氣排放的新建、擴建、改建的真空電子器件生產線必須取得新增排放許可證。3.1.2 工序區域布局1真空電子器件生產線清洗工序應與高壓老煉檢測工序之間有足夠的距離，且清洗工序應處于常年平均風向的風尾。 2廠房的潔凈區與非潔凈區應合理分隔。按照真空電子器件對生產環境潔凈度的要求，工藝布局應符合由外向里空氣潔凈度等級逐級提高。潔凈區的空氣潔凈度等級、溫度、濕度應符合現行國家標準潔凈廠房設計規范GB50073和電子工業潔凈廠房設計規范GB50472的相關規定，潔凈區與非潔凈區人員和物料的傳遞應設置風淋通道和傳遞窗。 3真

8、空電子器件生產線氫爐宜布局在廠房的邊跨或廠房的頂層。對于尾氣燃燒后直接排入大氣的氫爐宜設置在廠房頂層，對于采用明火燃燒尾氣結構的氫爐宜設置在廠房的邊跨。粉塵處理設備、污水處理設備、廢氣處理設備應遠離有潔凈度要求的設備區域，宜布置在室外或廠房的邊跨。 4真空電子器件生產線產生廢氣的場所應配置廢氣處理設施。廢氣處理排放應執行現行標準大氣污染物綜合排放標準GB16297的有關規定。 5真空電子器件生產線產生污水的工序應配置污水處理設施。污水處理后的廢水排放進入城市管網時，應符合現行國家標準污水排入城鎮下水道水質標準GB/T31962的有關規定；污水處理后的廢水直接排放到河流時，應符合真空電子器件生產

9、線所在地區所屬河流流域所在區段的污水綜合排放標準。 6真空電子器件生產線老煉、測試場所應有防止電磁輻射、電離輻射的安全距離或鉛屏蔽室，該室與帶電設備、設施之間的安全距離應符合現行標準高壓配電裝置設計技術規范DL/T5352的有關規定。鉛屏蔽室的防護能力應符合現行國家標準工業X射線探傷衛生防護標準GBZ117-2006的有關規定。 鉛屏蔽室與帶電設備之間的距離不得小于表1的規定。表1：鉛屏蔽室與帶電設備之間的最小距離工頻電壓電壓等級（kV）102050100150250500安全距離（M）0.71.01.51.62.02.54.0沖擊電壓電壓等級（kV）751502505007501000安全距

10、離（M）1.01.52.02.53.54.07真空電子器件生產線廠房防雷設計應符合現行國家標準建筑物防雷設計規范GB50057的有關規定。真空電子器件生產線設備的接地要求分開設置時，要求分開設置的接地系統接地極應與共用接地系統接地極保持20m以上的間距。8真空電子器件生產線采用弱電原理進行檢測、傳送的生產區域與老煉檢測的生產區域之間的距離，應滿足老煉檢測產生的高次諧波干擾不產生弱電原理檢測、傳送信號失真的要求。若兩個區域之間的距離比較小時，應在兩個區域之間設置消除高次諧波干擾的設施。采用弱電傳送信號的傳送線應采用屏蔽雙絞線電纜。 9真空電子器件生產線重要危險源所在區域應設置事故應急設施，火災事

11、故應急設施應符合現行國家標準火災自動報警系統設計規范GB50116的有關規定。3.1.3 通用技術要求 1 真空電子器件生產線工藝環境應滿足溫度235，濕度65%。對空氣潔凈度有要求的場所應符合國家標準潔凈室及相關受控環境 第1部分：空氣潔凈度等級GB/T25915.1的有關規定。 真空電子器件生產線潔凈室等級選用執行表2之規定。潔凈度等級（pc/ 英尺3） 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（ pc/ m3 ）0.1 m 0.2 m 0.3 m 0.5 m 1 m 5 m 100100，00023，70010，2003，52083229 1，000 1，000，000 237，000 102，

12、000 35，200 8，320 293 10，000 352，000 83，200 2930 30，0001，060，000250，0008，790100，000 3，520，000 832，000 29，300 300，00010，600，0002，500，00087，900500，00017，600，0004，160，000147，000表2 真空電子器件生產線潔凈室等級 生產廠房變形縫不宜穿越潔凈區。潔凈車間內的隔墻和頂棚應平整、光滑、不起塵。地面應平整、耐磨、易清洗、導靜電。 2真空電子器件生產線新建廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網。3真空電子器件生產線新建廠房的地面及基礎應滿

13、足生產工藝環境和生產工藝設備的基本要求。 4真空電子器件生產線廠房的設備出入口應處于常閉狀態。真空電子器件生產線新建、擴建、改建廠房人流和物流宜分別設置人員出入口、物料出入口和設備出入口，并應在各自的出入口處設置與工藝要求相匹配的工藝環境條件保證措施。 5 真空電子器件生產線宜采用雙路供電。真空電子器件生產線給水系統應根據生產工藝的要求確定水質、水溫、水壓、水量，應按生產、生活、消防分別設置獨立的給水系統。生產給水系統包括自來水、純水和冷卻水三個系統。 A 給水管道應根據生產線空間空氣的露點溫度，對給水管道采取防結露措施并在適當位置設置露水收集器。 B 生產線區域內的地漏等排水設施的設置，應符

14、合現行國家標準建筑給水排水設計規范GB50015的有關要求；對于產生異味的水必須選擇水封地漏，地漏應符合現行國家標準地漏CJ/T 186的有關規定。 C生產區域內的純水供應設施應符合現行國家標準電子工業純水系統設計規范GB50685的有關規定。 D 生產區域內的冷卻水供應設施應符合現行國家標準工業循環冷卻水處理設計規范GB50050的有關規定，冷卻水應確保不中斷供水。低溫冷卻水出口溫度通常應不高于24；常溫冷卻水出口溫度通常應不高于32。6真空電子器件生產線使用的氫氣和氧氣的制備、儲存、配氣系統，應符合現行國家標準建筑設計防火規范GB50016氫氣站設計規范GB50177和氧氣站設計規范GB5

15、0030等的有關規定。A新建、擴建、改建廠房氫氣和氧氣也可采用瓶裝氣體供應。 B特種氣體通常采用鋼瓶氣體或液態氣體供應。用于真空爐快速冷卻的高純氮氣或氬氣，采用氣體管道供應較好。 7真空電子器件生產線用壓縮空氣應符合壓縮空氣 第一部分 污染物凈化等級GB/T13277.1的有關規定，氣體過濾器應根據產品生產工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處。8真空電子器件生產線超高壓操作現場、劇毒品存放和使用現場宜安裝安全防范措施的民用閉路監視電視系統的攝像機。閉路監視系統應符合現行國家標準民用閉路監視電視系統工程技術規范GB50198的有關規定。攝像機應符合現行國家標準

16、安全防范視頻監控攝像機通用技術要求GA/T1127的有關規定。 9真空電子器件生產線使用有油真空系統除需設置除油裝置外，除油后的尾氣應接入尾氣排放系統。3.2工藝流程本標準所涉及的真空開關管、高頻電子管、微波電子管和X射線管等產品，其生產工藝流程如下：3.2.1真空開關管工藝流程圖見圖1.3.2.2高頻電子管工藝流程見圖2. 3.2.3微波電子管工藝流程見圖33.2.4 X射線管工藝流程見圖4管子組裝氫焊管子組裝氫焊圖4 X射線管工藝流程流程圖中的術語注釋：包裝 Packaging這里所指的是對排氣、封離、老練測試后的真空電子器件進行外部零件的安裝以及產品表面、外觀結構工藝處理。它是產品制造過

17、程中最后一道工序。包裝一般包括安裝器件的外部零件、噴漆、貼銘牌等工作。2. 封口 Sealing 真空電子器件總裝配的最后一道加工工藝。即將已裝配的完整管芯與管殼按照設計圖紙要求封焊起來。封口之后，器件只保留排氣管一條路徑與外界相通。3. 排氣 Exhausting 它是真空電子器件制造的一道關鍵性工藝過程。將總裝封焊好的真空電子器件內部抽真空、并對管殼、電極、吸氣劑等進行適當的工藝處理。真空電子器件種類繁多，結構和參數各式各樣，排氣工藝規范不盡相同。但一般技術要求是對管殼與內部零部件充分除氣 ，獲得并維持所需的真空度，對陰極完成分解、激活等工藝過程使其具備良好的電子發射能力。4. 封離 Se

18、aling Off排氣工藝處理完成的真空電子器件與排氣系統氣密分離的過程。封離手段有玻璃熔封和金屬冷封焊兩種。5. 一次封排 Exhausting and Sealing in One將真空電子器件制造過程中的排氣、封離采用真空釬焊工藝一次完成的工藝處理過程。采用氣密性焊縫中焊料特殊結構作為排氣通道實現對工件的除氣，當達到并維持工藝規范要求的真空度時，通過焊料熔化流散、填滿整個焊縫實現氣密性的焊接，完成器件的封排過程。6. 老煉 Ageing 對真空電子器件的產成品在電參量測試之前通常令其超技術指標工作一段時間謂之老練，其目的是使產品工作更加穩定可靠，確保出廠產品的質量。7. 真空度測試 Va

19、cuum Measurement 這里指的是針對已封離的真空電子器件內部真空度的測量。 真空電子器件管內的真空度測試通常運用電離電荷的采樣技術根據離子流大小與器件內真空度的對應關系獲得器件內真空度的數值。8. 零件預處理 Parts Pretreatment 對參與裝配的零件進行清洗、涂覆、熱處理等工藝處理的稱謂。9. 冷測 Cool Test 用微波測量儀器對微波管的高頻組件如諧振腔、慢波線、輸入輸出組件以及整管高頻系統等在大氣環境下的測量和調整。3.3 生產線主要設備構成真空電子器件生產線的主要設備按照工藝大致分成四類：分別為表面處理設備，裝配、焊接及排氣等工藝設備，老煉設備和檢測設備。3

20、.3.1表面處理設備表面處理設備包括各類清洗設備、鍍覆設備等，其工藝名稱與所用設備見表3.1。 表3.1 表面處理工藝主要設備產品 設備名稱工藝名稱高頻電子管微波電子管X射線管真空開關管去 油堿液去油設備堿液去油設備堿液去油設備堿液去油設備酸 洗酸洗設備酸洗設備酸洗設備 酸洗設備電 鍍鍍銀設備鍍鎳設備鍍銀設備鍍鎳設備鍍銀設備鍍鎳設備鍍銀設備鍍鎳設備表面涂敷電泳設備等離子體鍍覆設備電泳設備3.3.2 裝配、焊接及排氣設備裝配、焊接及排氣設備包括各類熱處理設備、多種焊接設備各類排氣臺等，其工藝名稱與所用設備見表3.2。 表3.2裝配工藝主要設備 產品設備名稱工藝名稱高頻電子管微波電子管X射線管真空

21、開關管部件裝配激光焊接機氬弧焊機真空爐氫爐高頻感應加熱設備氦質譜檢漏設備激光焊接機氬弧焊機真空爐氫爐高頻感應加熱設備氦質譜檢漏設備激光焊接機氬弧焊機真空爐氫爐高頻感應加熱設備氦質譜檢漏設備真空釬焊爐氦質譜檢漏設備整管裝配氬弧焊機氦質譜檢漏儀氬弧焊機氦質譜檢漏儀氬弧焊機氦質譜檢漏儀一次封排爐排氣高真空排氣臺高真空排氣臺高真空排氣臺3.3.3 老煉設備真空電子器件的種類不同，其老煉工藝和設備差異較大，一般皆選用相應器件的非標準設備。老練工藝名稱與所用設備見表3.3。 表3.3老煉工藝主要設備產品設備名稱工藝名稱高頻電子管微波電子管X射線管真空開關管電壓老煉老煉專用設備老煉專用設備老煉專用設備工頻高

22、壓老煉設備電流老煉直流電流老煉設備 3.3.4 測試設備不同門類的真空電子器件技術參量差異極大，測試系統和設備多采用相應器件的非標準設備。測試工藝所用設備見表3.4。注：通用的環境試驗設備未列入本標準的管轄范圍。 表3.4測試工藝主要設備產品設備名稱工藝名稱高頻電子管微波電子管X射線管真空開關管測試專用測試系統專用測試系統專用測試系統真空度測試設備X射線檢測設備工頻耐壓測試設備雷電沖擊測試設備接觸電阻測試設備自閉力和反力測試設備 4.生產線的工藝條件設計工藝條件設計包括器件制作過程的表面處理、熱處理、裝配、焊接、排氣、老煉測試等工序的生產環境條件、動能條件、保護氣體種類，粉塵、廢氣、廢水的主要

23、成分和處理要求，安全防護的種類和防護措施等要求等。4.1表面處理表面處理工序包括去油、酸洗、電鍍、表面噴涂等工藝過程。4.1.1 生產環境1工作間地面、墻壁、柱子應采取防護措施，其防護設施應符合現行國家標準建筑防腐工程施工及驗收規范GB50212的有關規定。2設備地面及工作區應設有廢水收集槽。收集槽和地面的坡度應滿足排放和外泄的廢水通過排放管道排入廢水處理設施。3排放有害氣體的生產設備應設置局部排風裝置。排風罩端口應滿足全部廢氣通過排放管道排入廢氣處理設施。生產場所有幾個局部排風裝置時，用管道將局部排風裝置匯流成一路與廢氣處理設施連接。 4表面處理的清洗間、電鍍間和噴涂間宜設置通風裝置?，F場真

24、空衛生條件應為級。 5 可設置單獨隔離的設備控制電源操作間。4.1.2 動能條件1 供電線路應采用三相五線380V電纜線。2 自來水應符合國家現行標準生活飲用水衛生標準GB5749-2006的有關規定。3 壓縮空氣應符合國家現行標準壓縮空氣 第一部分 污染物凈化等級GB/T13277.1-2008的有關規定，經過終端氣體過濾器之后，酸洗場所用于吹除零件表面的空氣應達到一級標準要求。4 純水供應系統應符合國家現行標準電子工業純水系統安裝與驗收規范GB51035-2014的有關規定。純水水質技術標準應滿足現行國家標準電子級水GB/T11446.1的有關規定，純水水質可采用EW-級。4.1.3 生產

25、線設備常用氣體的種類 常用氣體有氮氣、氬氣、氫氣 、氦氣、壓縮空氣等。 4.1.4 粉塵、廢氣、廢水的主要成分1去油工序產生堿性廢水和廢氣，廢水中的主要成分是堿液的皂化反應生成物。使用異丙醇去油干燥的設備產生有機廢氣。2酸洗工序產生酸性氣體，主要成分是氯化氫、二氧化氮、氟化氫等。產生的酸性廢水，主要成份是各種重金屬離子。3電鍍工序產生酸性氣體，主要成分是二氧化硫、硫化氫、氯化物、硫酸霧等。產生的廢水，有害成分主要有汞、鎘、六價鉻等無機化合物。4 有害廢水和有害廢氣的排放應符合現行國家標準大氣污染物綜合排放標準GB16297和廢水綜合排放標準GB8978的有關規定。5 電鍍廢水的處理應按現行國家

26、標準電鍍廢水治理設計規范GB50136的有關規定執行。4.1.5 安全防護的種類和防護措施的要求1應設置應急噴淋洗眼裝置。2應設置危險化學品使用場所事故應急預案所涉及的物資和器材。3具有氰根離子現場應安裝安全防范措施的民用閉路監視電視系統的攝像機。劇毒品存放場所可參照現行行業標準劇毒化學品、放射源存放場所治安防范要求GA1002-2012或現行國家標準毒害性商品儲存養護技術條件GB17916的有關規定執行。4.2裝配裝配包括部件和整件的裝配、焊接以及檢漏等工藝過程。4.2.1 生產環境 1廠房地面應規則平整。 2混凝土設備基礎荷載不應小于200Mpa。 3為滿足較高的平整度和承載能力的要求而設

27、置的獨立基礎，亦應具備相應質量： （1）選用較好性能的地基鋪設材料，采用獨立精細施工方法制作的獨立基礎區域，應有明顯與周圍地面區別的標識；獨立基礎的存在不應影響廠房局部和整體的物流暢通；在設備主體就位的多個支撐面之間的高度差應小于3mm；其承載能力應滿足設計要求。 （2）采用鋼制分壓樑框架結構的獨立基礎，其鋼制框架外露焊縫應打磨平整；腔內混凝土應搗實；外露表面應平整；獨立基礎上平面應與地平面齊平，允許偏差為O-3mm；上平面不XX及承載能力應滿足設計要求。 （3）需設置制作諸如減震溝槽、地下水槽、地下電纜槽、地腳螺栓預埋坑、小車行走導軌基礎等地面設施的獨立基礎，應符合設計的尺寸要求。 4環境衛

28、生要求 （1）使用氫爐焊接工件的現場真空衛生等級應優于級。使用真空釬焊爐焊接工件的現場應為滿足一定等級的潔凈廠房。（2） 整管裝配工序現場應為滿足一定等級的潔凈廠房。（3）封口工序現場應為滿足一定等級的潔凈廠房。（4）采用真空爐裝配工序現場，應為滿足一定等級的潔凈廠房。為確保潔凈指標達要求，臥式真空爐通常僅將爐口和控制面板安排在潔凈廠房內部，爐體和電源部分安排在潔凈廠房之外。4.2.2 動能條件1 供電采用三相五線380V電纜線。2壓縮空氣應符合國家現行標準壓縮空氣 第一部分 污染物凈化等級GB/T13277.1-2008的有關規定，經過終端氣體過濾器之后的凈化等級，裝配場所應達到一級標準要求

29、。3應具備冷卻循環水條件。4.2.3 保護氣體 1 氮氣（可用管道氮氣或瓶裝氮氣）（1）供氣壓力：0.20.3Mpa；（2）純度：99.99%（3）采用瓶裝氮氣與用氣爐連接端須配有減壓閥，壓力可下調。 2 氬氣（可用瓶裝氬氣）（1）供氣壓力：0.20.3Mpa（2）純度：99.998%（3）采用瓶裝氬氣須配有減壓閥，壓力可下調。 3高純氫氣（可用管道氫氣或瓶裝氫氣）（1）供氣壓力：0.20.3Mpa；（2）純度：99.998% （3）采用瓶裝氫氣與用氣爐連接端有減壓閥，壓力可下調。4.2.4 粉塵、廢氣、廢水的主要成分1氫爐排放的尾氣，主要為氫氣、水蒸氣等。2真空爐和一次封排爐真空系統排出的尾

30、氣，主要為油蒸汽。3 檢漏設備真空系統排出的尾氣主要為油蒸汽、氦氣等。4.2.5 安全防護的種類和防護措施的要求 1氫爐作業現場的工作人員應配備防靜電工作服工作鞋2采用氬弧焊焊接的場所應配置局部排風。4.3排氣 4.3.1 生產環境 1使用有油真空系統的排氣系統應設置除油裝置，除油后的尾氣應接入尾氣排放系統。 2采用排氣臺的排氣現場真空衛生條件應為級。 3 采用真空爐實現封口、排氣一次完成的器件，工作現場應為一定級別的潔凈廠房（1）在潔凈裝配間內如需要預埋送料小車導軌，應按照安裝施工技術要求檢驗合格。（2）宜設置備用冷卻水供水接口。（3）潔凈裝配間外的設備安裝區域內應預留真空系統的維護空間和搬

31、運通道。（4）在設備安裝區域應預留真空系統廢氣排放管道接口。4.3.2 動能條件 1排氣工藝周期較長，斷電后會造成產品報廢，為此應設置相應的不間斷電源等設施。 2 壓縮空氣4.3.3 保護氣體 1氮氣（可用管道氮氣或瓶裝氮氣）（1）供氣壓力：0.20.3Mpa；（2）純度：99.99% （3）采用瓶裝氮氣時需備有減壓閥，壓力可調節。 2 氬氣（可用瓶裝氬氣）（1）供氣壓力：0.20.3Mpa（2）純度：99.998% （3）采用瓶裝氬氣時需備有減壓閥，壓力可調節。4.3.4 粉塵、廢氣、廢水的主要成分1從真空系統排出帶有油蒸汽的尾氣。 2 器件在排氣臺上進行初步老煉產生的氮氧化物等氣體。4.3

32、.5 安全防護的種類和防護措施的要求1器件的排氣現場應有送、排風設施。4.4老煉測試4.4.1 生產環境1真空電子器件生產線老煉、測試場所應有防止電磁輻射、電離輻射的安全距離或鉛屏蔽室，鉛屏蔽室與帶電設備、設施之間的安全距離應符合高壓配電裝置設計技術規范DL/T5352的有關規定，鉛屏蔽室的防護能力應符合工業X射線探傷衛生防護標準GBZ117的有關規定。2老煉電源和測試設備的接地要求分開設置時，分開設置的接地系統接地電極應與共用接地系統接地電極保持20m以上的間距。 3老煉、檢測現場真空衛生等級為級。4.4.2 動能條件1供電采用三相五線380V電纜線。2壓縮空氣應符合國家現行標準壓縮空氣 第

33、一部分 污染物凈化等級GB/T13277.1-2008的有關規定，經過終端氣體過濾器之后的凈化等級，老煉檢測場所應達到二級標準要求。 4.4.3 高壓保護氣體和絕緣介質 1壓縮空氣應符合國家現行標準壓縮空氣 第一部分 污染物凈化等級GB/T13277.1-2008的有關規定經過終端氣體過濾器之后的凈化等級，老煉檢測場所應達到一級標準要求。 2絕緣介質 這里特指的是為器件超高壓老練提供環境條件所用的耐壓材料。它可以是含水量小于5ppm的高壓保護氣體或擊穿電壓大于或等于4kV/mm的液態介質材料。4.4.4 粉塵、廢氣、廢水的主要成分 1工藝過程所用到的有機溶劑蒸氣。 2 超高電壓老煉產生的氮氧化

34、物氣體。4.4.5 安全防護的種類和防護措施的要求1真空電子器件生產線超高壓操作現場宜安裝安全防范措施的民用閉路監視電視系統的攝像機。2工作現場宜配置送、排風及局部排風設施3 工作現場應配置鉛屏蔽屏等5 生產線設備安裝 真空電子器件生產線設備安裝包括安裝條件、設備開箱、設備搬運、設備安裝和二次配管配線。本標準僅對表面處理、裝配焊接、排氣、老煉檢測四部分的主要設備確XX裝規范。5.1一般規定5.1.1 真空電子器件生產線設備安裝就位應按經批準的工藝設計技術文件施工，修改有關技術文件應有相應單位的批準。5.1.2 使用的搬運設備和工具，應完好、可靠、安全，使用前應進行檢查并確認。5.1.3 操作人

35、員應經相應培訓并取得相應的資格證書；特殊工種還應取得相應的上崗證。5.1.4 真空電子器件生產線設備安裝環境條件應滿足生產線的設計技術文件的各項技術指標和設備使用說明書的相關要求。 5.2 安裝條件5.2.1 廠房按工藝設計技術要求驗收合格，水、電、氣、照明系統工作正常，各種管線接口到位。5.2.2 潔凈廠房空調凈化系統連續正常運行24h以上，人員更衣室、風淋室已啟用，并派專人擬定潔凈廠房管理制度進行管理。5.2.3 建筑結構振動特性已測試合格并驗收，對防微振設施亦進行測試驗收合格。廠房內消防設施已通過專項驗收，可隨時啟用。5.2.5 防雷設施通過專項測試驗收。5.2.6 有防靜電要求的工作區

36、防靜電設施應通過專項測試驗收。5.2.7 在滿足真空電子器件生產線設備安裝工程施工工藝條件，包括：真空電子器件生產線設備安裝水供應條件樣表參考附件A.0.1、真空電子器件生產線設備安裝氣體供應條件樣表參考附件A.0.2、真空電子器件生產線設備安裝基本工藝條件樣表參考附件A.0.3等三部分后確XX裝實施方案。5.2.8 所有參加安裝人員在進場前必須參加工程技術交底和培訓。5.2.9 施工安裝人員應核查設備搬運入口、設備搬運通道、樓板載荷、設備基礎等是否滿足搬運條件。5.3 設備開箱5.3.1 設備開箱應有建設方、監理、設備制造廠家、和施工方的負責人員共同參加，進口設備還應有海關商檢代表及國家檢驗

37、檢疫機關代表參加。5.3.2 拆箱區應盡量靠近廠房，有條件可設在廠房內，且應保留內包裝。5.3.3 設備開箱應使用專用開箱器械按開箱程序進行，不得用大錘擊打開箱，在不了解箱體內部情況前，不應將撬杠等器械插入箱內，拆下的包裝材料要及時收集運離現場。5.3.4 設備開箱前應檢查包裝箱有無損壞及損壞程度。設備開箱后，應立即由參加開箱的各方代表共同進行設備的檢查和清點，作開箱記錄。設備開箱檢查記錄的內容及格式見真空電子器件生產線設備開箱檢查記錄樣表參考附件B.0.3。5.3.5設備開箱后的檢查內容應包括： 1 設備應標有銘牌、型號等，并與設備清單或設備技術說明書相符；2 檢查設備的外觀和內保護包裝情況

38、，如有缺陷、損壞或銹蝕，應做出記錄；3 按照裝箱清單逐一清點零件、部件、工具、附件、附屬材料和技術文件是否齊全，并做出記錄；4 對不需要安裝或安裝時不用的零件、附件、附屬材料、工卡具和技術文件應移交給使用單位保管；5 發現設備有缺陷、損壞和銹蝕等情況時，應及時提出，并通過有關單位共同檢查，對于制造缺陷，應由使用單位與設備制造廠家協商處理；5.3.6 設備開箱產生的固體廢物由建設方負責處置。對納入強制回收目錄的產品和包裝物必須進行回收。包裝回收物的處理應符合現行國家標準包裝與包裝廢棄物 第1部分 處理和利用原則GB/T16716.1的有關規定。5.4 設備搬運5.4.1 在室外搬運設備時，道路應

39、平坦、暢通。在整個搬運過程中，設備應平穩行進，不應有沖擊現象。5.4.2 吊車支腳應立在堅實基礎上，捆綁吊索應按箱體上標示的位置進行。5.4.3 用叉車搬運設備時，全過程應平穩，不得產生沖擊現象，設備距路面高度應確保不觸及路面障礙。5.4.4 用汽車運輸時，應慢起慢停，車速應均勻，行進應平穩；5.4.5 用手動液壓搬運車搬運設備時，起步、停車應緩慢，行車速度應均勻，不得產生太大的振動，兩側應有搬運人員全程扶持和監視設備位移。5.4.6 遇雨、雪及風力五級以上天氣時不得進行室外搬運作業；當搬運設備過程中遇雨、雪時應中止搬運，并應用防雨布保護設備。5.4.7 設備搬運除應執行本規范的規定外，起重設

40、施應符合現行行業標準工程建設安裝工程起重施工規范HG20201的有關規定。5.5 設備安裝5.5.1設備的安裝應符合下列要求： 1設備各單元位置應配置合理，以保證設備各項性能不因安裝而受到影響； 2設備的安裝環境應符合設備使用對環境的要求； 3安裝設備時應考慮設備周圍工作空間有無危害人-機安全的隱患并排除； 4設備的安裝應牢固、可靠，運行后不得出現緊固件松動、磨損以及部件或零件的脫落。沉頭螺釘安裝后不應突出被連接件表面； 5安裝時應注意保護設備表面不被損傷、劃傷； 6設備的安裝布線應考慮散熱和規避電磁干擾。5.5.2 以廠房地面為基礎的設備，應按生產設備平面布置圖進行劃線就位；機柜正面與其相對

41、的最近物體外表面或障礙物的最小距離應大于最深的抽屜或最寬的門的寬度200mm。5.5.3 有獨立基礎的設備，應將獨立基礎與生產設備平面布置圖對照驗證無誤后，以獨立基礎為準劃線就位。5.5.4可在設備位置調整合格后使用水性記號筆或單面粘膠帶，在設備就位的重要基準點、基準線或參考基準線處做出醒目的標識。5.5.5 整體發貨運輸、不需二次組裝的設備就位后，利用墊板進行調平調正，調整合格后用地腳螺栓或膨脹螺栓緊固。設備調平調正所選擇的測量面、測量內容以及精度指標由設備制造廠的技術文件提出；設備調平、調正的數據應填寫調平、調正記錄，內容及格式見真空電子器件生產線設備安裝檢驗質量驗收記錄樣表參考附件B.0

42、.2。5.5.6 解體發貨運輸需要二次組裝的設備，在其主體或主結構框架就位后，應先對其調平調正，調整合格并用地腳螺栓或膨脹螺栓緊固后再進行后續的整體組裝內容。調整工作的實施，按本規范5.5.5具體條款規定執行。5.5.7 墊片應為鋼質。墊片碼放盡量與設備地腳底版平齊，墊片尖角不得露出地腳底板。地腳螺栓和膨脹螺栓的規格應與設備規格相適應，應配套使用彈墊、平墊和螺母。5.5.8 潔凈廠房隔板開洞設備安裝穿越潔凈廠房隔板時，應在隔板的適當位置開洞，開洞作業不得劃傷或污染需保留的隔板表面。設備安裝結束后，應采用鋁合金型材和微孔薄膜帶密封隔板XX的縫隙，其材質應滿足下列要求：1 密封后，設備與密封組件之

43、間應柔性接觸；2 密封件與隔板的連接應緊密、牢固；3 密封面應平整、美觀；4 微孔泡沫密封帶的厚度不應小于5mm，且緊貼設備，密封口處不應有缺損和漏風。5.5.9 鉛屏蔽室和對屏蔽室開洞1鉛屏蔽室HYPERLINK :/tyfh88/sxfhm.html射線防護門外應有電磁輻射警告標志，放射防護注意事項，醒目的工作狀態指示燈，燈箱處應設置警示語句；2鉛屏蔽室竣工后應由有資質的安檢部門進行驗收監測，符合國家有關標準規定后方可投入使用；3設備安裝穿越鉛屏蔽室壁板時，應在壁板的適當位置開洞，開洞作業不得劃傷或污染需保留的壁板內部的鉛材料表面。開洞直徑應與安裝的設備直徑相當。5.5.10自動化生產線部

44、分 聯線設備的安裝 1聯線設備通常應用于零件清洗處理過程和某些真空電子器件的老煉檢測過程。零件清洗處理過程的自動生產線通常采用滾筒或籃筐傳送方式，器件老煉檢測的自動生產線通常采用倍速鏈傳送線和機械手； 2 聯線設備的安裝，除應滿足在線單機設備安裝的要求，還應滿足設備與傳送線相互銜接部分的安裝要求，其項目包括設備與傳送線的運行節拍、監控、阻擋、定位等；3 聯線設備的安裝，應滿足電子隨工單系統數據通訊的要求，設備應獲得被加工產品的信息，設備應正確的執行指令；4 傳送線交接部分應以產品能夠順利通行為原則。若由于安全保護措施等原因，在交接點出現間隙時，送、取兩條傳送裝置應以設備外界面為基準，雙方約定傳

45、送裝置的交接點位置。兩條傳送裝置在連接點沒有成一條直線時，兩條傳送裝置應以設備外界面為基準，雙方應約定傳送裝置垂直設備外界面的垂直度；5 聯線設備存在封閉空間要求，機械手又必須在封閉空間內外活動，封閉空間對應機械手開的窗口應滿足機械手夾持產品的搬運通道要求。其窗口的敞開時間應滿足機械手搬運產品的最大周期。5.6重要設備的安裝案例5.6.1 表面處理設備的安裝 1將設備主體框架按照設備平面布置圖就位，安裝地腳螺栓對主體框架進行調平調正，符合技術要求后緊固地腳螺栓；2 安裝機械手的金屬導軌并將機械手裝置安裝、固定于起始位置；3 按照設計圖紙要求就位各個槽體，用螺栓把槽體與金屬框架連接在一起，進行調

46、平調正后緊固。緊固后的槽體端面應達到技術要求。檢查所有槽體的直線度，以及槽體端面的直線度；4 安裝槽體內的加熱元件、超聲波部件以及氣體噴淋器。檢查內容包括上述部件與槽體接口處的密封等；5 各個槽體端口廢氣收集口的安裝；6 各個槽體之間間隙的遮擋板的安裝；7 電氣線路部分的鋪設、連接。檢查內容：電源線的整體布局是否合理，在槽體上的連接部位應有防酸腐蝕的保護措施，控制系統操作正常；8 人行臺面的安裝。5.6.2真空釬焊爐的安裝1將爐體按照設備平面布置圖就位，安裝地腳螺栓對爐體進行調平調正，符合技術要求后緊固地腳螺栓；2 安裝爐體部分諸單元確保各接口密封無誤；3 安裝真空系統 并將系統尾氣與已設置的

47、排放口連接； 4 安裝外循環快速冷卻系統；5 安裝供水系統；6 接氣動管路以及爐上各附件；7 電器控制柜和電氣系統就位，完成連接；8 配電源線，按設備接線圖完成配線。5.6.3排氣臺的安裝1 將排氣臺主機架按照設備平面布置圖就位，安裝地腳螺栓對金屬架進行調平調正，符合技術要求后緊固地腳螺栓；2 安裝外真空系統鐘罩；3安裝內、外真空兩組真空系統。并將系統尾氣與已設置的排放口連接；4安裝水路系統。如果連接處采用喉箍應符合現行行業標準喉箍JB/T8870的有關規定； 5接氣動管路和排氣臺上的各氣動附件；6電器控制柜和電氣系統包括被排氣的器件工藝處理電源就位并完成連接；7配電源線，按設備接線圖完成配線

48、。5.6.4老煉檢測設備的安裝1產品承載裝置的安裝（1）根據真空電子器件老煉檢測項目的要求，選擇產品承載裝置。根據器件的具體形狀、材質確XX裝方式；（2）金屬臺面之類的承載裝置的安裝，按照設備平面布置圖就位，安裝地腳螺栓，符合技術要求后緊固地腳螺栓；（3）封閉容器的安裝，須對壓力容器密封口裝置、計量顯示裝置、控制裝置、安全泄壓裝置以及放氣裝置及其鎖定裝置等進行檢查；（4）槽式容器的安裝、檢查內容包括器件承載體的調平調正，連接導線使用的接線端子應符合現行國家標準電力電纜導體用壓接型銅、鋁接線端子和連接管GB/T14315的有關規定。2老煉檢測設備的安裝（1）按照工藝設計的設備平面布置圖就位； （

49、2）完成老練檢測設備個組成部分的電氣連接；（3）對有特殊要求的老練檢測設備如需加接EMI 濾波器、穩壓電源等，完成加接工作；5.7 二次配管配線5.7.1 二次配管配線應在確認真空電子器件生產線設備安裝工程施工工藝條件全部滿足后，以及解體設備零部件的重新組裝后進行。二次配管配線應包括如下內容： 1 按已確定的生產設備二次配管配線圖完成設備各種用水與一次供水管路配管連接。 （1）配管的主材應符合雙方協議要求。當雙方協議無規定時應采用與廠房供水接口一側已用管道材質相同的材料，并采用符合工藝要求、密封性能好的與其配套的墊料、填料等輔材； （2）配管管路排列應整齊、美觀，走向應合理，維修應方便，不得在

50、設備操作面布設管線。 2按已確定的生產設備二次配管配線圖完成快冷或保護性氣體供氣接口到設備進氣接口的配管以及氣動系統用壓縮空氣供氣接口到設備壓縮空氣總進氣口的配管。 （1） 配管應采用雙方認可的與該設備快冷或保護氣系統管路設計要求相適應的管件；（2） 配管管路排列應整齊、美觀，走向應合理，維修應方便，不得在設備操作面布設管線； 3按已確定的生產設備二次配管配線圖完成從該設備的終端配電盤至設備電源接口之間的配線。電纜線與終端配電盤相線、地線、零線應一一對應，連接應牢固、可靠。5.7.2二次配管完成后，應對二次配管進行壓力試驗和泄漏檢測。 1 循環水系統（1）壓力試驗和泄漏試驗的試驗水壓為廠房循環

51、水系統供出壓力最高值的1.15倍；（2）試驗時，宜將進水壓力緩慢調至試驗水壓，保持10min；（3） 在保壓狀態下檢查水路各接頭連接處，不應有目測手感可發現的泄漏；沒有泄漏即為合格； （4）壓力試驗和泄露檢測后，應填寫二次配管記錄，內容及格式見真空電子器件生產線設備配管配線檢驗質量驗收記錄樣表參考附件B.0.3。 2 各種氣體供氣系統包括快冷系統、保護氣體氣路和各種工藝用氣體氣路。 （1）供氣系統試氣的氣體一般選用氮氣，壓力和泄漏試驗的壓力為廠房供氣系統供氣壓力最高值的1.15倍。 （2） 試驗時，宜緩慢將進氣壓力調至測試壓力，保持10min； （3） 在保壓狀態下檢查氣路各接頭密封性能，通常

52、采用氣泡法，沒有泄露即為合格。氣泡法應使用中性發泡劑，測試完畢應將接頭上殘留發泡液擦拭干凈。 （4） 壓力試驗和泄漏檢測后，應填寫二次配管記錄，內容及格式見真空電子器件生產設備二次配管壓力試驗、管道清洗后的質量驗收記錄樣表參考附件B.0.4 3高壓空氣系統 （1）高壓空氣系統的試驗氣體通?？芍苯硬捎脡嚎s空氣，也可用高壓氮氣。壓力試驗和泄漏檢測的試驗壓力為廠房供氣系統供出壓力最高值的1.15倍。 （2）試驗時，宜緩慢將進氣壓力調至試驗壓力，并保持10min30min； （3）在保壓狀態下檢查氣路各接頭、連接法蘭處的密封狀況，通常采用氣泡法，沒有泄露即為合格。氣泡法應使用中性發泡劑，測試完畢應將設

53、備上殘留發泡液擦拭干凈； （4）壓力試驗和泄露檢測后，應填寫二次配管記錄，內容及格式應符合真空電子器件生產設備二次配管壓力試驗管道清洗后的質量驗收記錄，參見樣表參考附件B.0.4 。5.7.3二次配線及設備線路的電纜應連接正確、接線端子連接應牢固可靠、接地正確、絕緣電阻測試應合格。確認后，填寫真空電子器件生產線設備配線質量驗收記錄參見樣表參考附件B.0.3.5.7.4 二次配管配線應符合本規范的規定外，尚應符合現行國家標準工業金屬管道工程施工規范GB50235的有關規定。6設備調試與試運行6.1 一般規定6.1.1 設備調試與試運行應在確認真空電子器件生產線設備安裝工程施工工藝條件全部滿足后，

54、按照設備操作指導書或雙方技術協議規定的程序進行。6.1.2調試、試運行結果應填寫設備技術性能檢查記錄，內容及格式見真空電子器件生產線設備調試記錄、樣表參考附件B.0.5，B.0.6。6.1.3 調試前應先確認外接電源、接地與設備電路圖吻合，檢查無誤后方可接通總電源。6.1.4 供電系統配置應滿足設備使用的要求。6.1.5 設備安裝區水、電、氣源的供應處于穩定狀態。6.1.6 真空電子器件生產線設備檢測所使用的計量器具和儀器、設備應經有資質的計量鑒定機構鑒定合格或校準認可，并應在鑒定或校準有效期內。6.2設備調試與試運行6.2.1設備調試應在設備安裝和二次配管配線完成并經檢驗合格后進行。6.2.

55、2 設備調試合格后，對運行周期較長的設備應連續試運行無故障工作48h。連續工作前、后應進行設備主要性能指標測試，測試結果應符合設備技術指標的要求。 6.2.3試運行應滿足下列要求：1 加載試運行應選用成熟產品的成熟工藝，其工藝參數均在設備的技術指標涵蓋范圍之內；加載樣品材質應與正式產品材質相同；加載樣品預先經過的各種處理也應與正式產品相同；2 設備制造方配合使用方編制符合工藝要求的人工操作程序或自動運行程序，工藝規程應與正常產品的生產程序相同或相近；6.2.4真空電子器件生產線主要設備的調試與試運行及驗收應按本規范附錄C的要求執行。6.2.5 涉及高電壓操作或可能產生電離輻射的設備，電源開關與

56、鉛屏蔽室的門之間連鎖裝置經過驗收合格后方可進行調試和試運行。7 工程驗收 真空電子器件生產線設備安裝工程驗收以生產線全部設備均可正常平穩運行為前提。驗收內容包括設備的安裝驗收、聯線設備的安裝驗收等。7.1 一般規定7.1.1 生產線設備安裝工程驗收可分為交接驗收、自動線部分的聯線驗收、生產線驗收和竣工驗收。7.1.2 交接驗收包括：生產線設備拆箱、廠房基礎條件建設、特殊基礎、潔凈廠房隔板開洞、二次配管配線工程等。7.1.3 聯線設備在進行單機安裝、調試、試運轉的基礎上，應進行整條聯線設備的調試和試運轉。經試運轉，達到設備技術指標后方可進行竣工驗收。7.1.4單臺設備應按合同規定進行驗收。7.1

57、.5 甲方應具備檢測所需的符合標準規定的檢測儀器、檢測設備、工具。檢測儀器和試驗設備應在有資質的計量單位校準的有效期內。7.1.6 設備安裝施工單位在施工前應向建設單位提交工程使用各類工藝條件表格，其內容和格式參見附錄A01，A02，A03。在施工結束后應提交工程質量驗收記錄，其內容和格式參照附錄B的有關表格填寫。 7.2 交接驗收7.2.1建設單位應組織施工單位和設計單位組成驗收組，按照設備技術要求、施工合同和本規范確定設備驗收方案及程序進行交接驗收。7.2.2 真空電子器件生產線設備安裝單位應提交下列資料： 1 設備安裝工程施工合同； 2 主要材料合格證或質量保證書； 3 設備開箱檢查記錄

58、； 4 設備安裝質量檢驗記錄及分項工程質量驗收記錄； 5設備配管配線質量檢驗記錄及分項工程質量驗收記錄； 6 設備壓力試驗驗收記錄； 7 竣工圖及設計變更文件； 8 工程質量事故處理記錄； 9 設備隨機技術文件。7.2.3真空電子器件生產線設備交接驗收內容：1 設備基礎建設、特殊基礎、潔凈廠房隔板開洞及設備所需工藝條件的配管配線工程驗收；2 貨物驗收；3 二次配管配線工程驗收；4 設備技術指標驗收7.2.4 設備基礎、特殊基礎、潔凈廠房隔板開洞及設備所需工藝條件的配管配線工程驗收；1 廠房地面、設備基礎、廠房壁面進出氣XX均應符合設計要求。檢查方法：對照生產設備平面位置圖、獨立基礎制作圖，現場

59、檢查。 2在設備安裝準備階段，檢查各設備安裝區域的電源、氣源、水源和接地一次配管配線是否到位。檢查方法：查驗各單臺設備安裝準備階段需具備的工藝條件，應滿足真空電子器件生產線設備安裝工程工藝條件附錄A01，A02，A03的各項條件。 3 上述兩項查驗合格或查出的問題經返修返工合格后即可判定驗收合格。7.2.5 貨物驗收 1 設備搬運前，建設方主持，與發包方和承包方的責任人員共同對設備包裝箱外觀、數量進行檢查。查對各臺設備的裝箱單，包裝箱外觀、數量 ；2 設備開箱時，應有建設方、設備制造廠家、等的相關責任人員共同參加，檢查內包裝及貨物； 3 兩項查驗合格或查出的問題得到及時合理處理后即可判定貨物驗

60、收合格，隨即填寫真空電子器件生產線設備開箱檢查記錄參見參考附件樣表B.0.1 。7.2.6 二次配管配線工程驗收1在二次配管配線完成后，依據真空電子器件生產線設備安裝工程施工工藝條件查驗各臺設備水、電、氣的供應應符合要求、二次配管配線配管應無泄漏、無損傷、配線應牢XX全，檢查記錄和內容填入真空電子器件生產線設備配管配線質量驗收記錄表格參見樣表B.0.3。7.2.7 設備安裝調試重要控制點的監控及技術指標的驗收1設備就位，調平調正檢查。（1）設備安裝位置應符合要求；（2）、設備安裝的水XX垂直度應符合設備安裝使用說明書的要求；（3）墊板安裝位置應準確、無外露；地角螺栓緊固牢靠。 2 設備接地連接