1、靜電破壞與防制教育訓練自然界組成 電子的由來+電子 原子 分子 物質 質子 電子 質子2H+O H O 水 2例如：水 H+ 02+H+H+02+原子之結合 (分子)靜 電 的 產 生 物質表面經由某種過程如摩擦而 失去電子或得到電子，使帶靜止 的電荷謂之靜電 摩 擦 生 電 正Positive 空氣 Air 人手 Hands 玻璃 Glass 毛髮 Hair 石英 Quartz 尼龍 Nylon 羊毛 Wool 絲綢 Silk 鋁 Aluminum 紙 Paper 棉 Cotton 鋼 Air 木 Hands 橡膠 Glass 金 Hair 多元脂 Quartz 聚胺脂 Nylon 聚乙烯

2、Wool 聚丙烯 Silk 乙烯基 Aluminum 矽 Paper 鐵弗龍 Cotton 負Negative摩 擦 生 電-分 離MaterialAMaterialBMaterialAMaterialB -2 +3 Net= +1 -4 +3 Net= -1 -3 +3 Net= 0 -3 +3 Net= 0 影響摩擦生電電量的因素 相對濕度 物質材料 接觸面積 摩擦頻率典型的ESD電壓ESD的影響 ESD事件會產生局部高溫或電位差，造成半導 體元件的損壞。 在許多情況下，破壞電壓的臨界值很低。 可能發生在製程中或使用中的任何階段，如 wafer processing,packaging,t

3、esting,board assembly, transportation,in the field。ESD的影響 客戶抱怨、商譽的損失。 成本問題。 假設是可以馬上發現的故障所需花費的成本 略估如下： - Component : 1 - Board : 10-100 - System : 100-1000 如果是潛在故障，成本損失為以上的數倍到幾次方倍。 客戶不滿意的成本則無法衡量。 電子元件之ESD故障現象 Human Body ModelHBMElectronsElectronsChargedOxideDischarge(sometimes)電子元件之ESD故障現象 Charged de

4、vice modelFieldCDMCDMFieldFIMFieldGrounded電子元件之ESD故障之構因 功率相關：熱崩潰，金屬熔融. 電壓相關：介電質崩潰，表面崩潰. 潛在性故障：功能惡劣.靜電防制常用名詞定義 表面電阻 surface resistance 以二個被定義形狀的電極放置在一表面上，加以一直流電壓V，並量 測其電流值後計算出電阻值R，其單位為。表面電阻 surface resistivity 單位面積所跨接的表面電阻，其單位為/square靜電消散時間 static decay time： 靜電充電在一物體達到一定電壓後，放電到某一百分比所需要的時 間。靜電防制常用名詞定

5、義 導電材料 Conductive materials: 一個材料其表面電阻率小於1*10 /square。靜電消散材料 Static dissipative material: 一個材料其表面電阻率大於1*10 /square 小於1*10 /square ESD Association。 或是其表面電阻率大於1*10 /square小於 1*10 /square MIL-STD-263。抗靜電材料 Anti-static materials： 一個材料其表面電阻率大於1*10 /square 小於1*10 /square MIL-STD-263，EIA-541。551259912靜電防制常

6、用名詞定義 絕緣材料 Insulative materials: 一個材料其表面電阻率大於，1*10 /square EIA-541。ESDS Electrical Static Discharge Sensitive 對於靜電敏感的零組件。SSW Static Safe Workstation 靜電安全的工作站。SSP Static Safe Package 靜電安全的包裝。 12相對濕度對於物體表面電阻的影響At : 25+5V : Anti-static (Vinyl) 材料製品F : Anti-static (nylon) 材料製品C : 紙類製品 RH %Surface Resist

7、ivity ohm/square相對濕度對於物體表面電阻的影響相對濕度： 良好靜電安全區域SSZ相對濕度條件應在50%+10%，如 果一般工廠作業應注意濕度不宜低於30RH%。空氣離子中和： Air ionization 如果相對濕度低於30%時可考慮使用空 氣離子中和設備Air ionization或是加濕器。 靜電防制使用的標準標示MIL-STD-129 or MIL-STD1285 Sensitive Electronic Device SymbolESD Susceptibility SystemESD 敏感ESD protective symbolESD 保護ESD Common P

8、oint Ground SymbolESD 接地點一般所使用的靜電環CUFFLEADINTERFACE環扣GROUND CONNECTIONINTERFACE 腕帶 CUFF 鱷魚夾 LEAD一般電子工廠現場環境的配置圖供應商評估1.是否具有符合國際標準的測試方法測試合格。2.交貨品質是和報告樣品一致。3.一分錢一分貨。進貨檢驗允收標準： 1.抗靜電包裝袋氣泡式包裝袋 Anti-static bag: surface resistivity: 10 ohms/square static decay time: 2 sec 12供應商評估IC盤IC包裝管:traystubescarriers:C

9、onductive material: sruface resistivity: 10 ohms/squareAnti-static plastics: surface resistivity: 10 ohms/square static decay time: 2 secAnti-static plastics formed Aluminum material: surface resistivity: 10 ohms/square static decay time: 2 sec static shielding: 30V charge 1kV51212供應商評估靜電遮蔽袋：Static

10、shielding bag：inner surface resistivity：between 1*10 and 1/10 ohms/square outer surface resistivity：10 ohms/squarestatic decay time： 2 secStatic shielding： 30V peak51212供應商評估靜電消散搬運箱： 外層：surface resistivity：10 ohms/square 內層：surface resistivity：10 ohms/square static decay time： 2 sec 隔板：surface resis

11、tivity： 10 ohms/square surface decay time： 2 sec抗靜電紡織物品： surface resistivity：10 ohms/square static decay time：2 sec9121212供應商評估靜電手環腳環wrist strapheel strap： Through strap 1 M + 1%靜電消散桌墊地板： 工作表面對地電阻work surface to ground resistance：between 1*10 and 1*10 點對點電阻point-to-point resistance：1M 導電椅子推車： 推車椅面到 輪子的電阻： surface to ground resistance：between 1*10 and 1*10 6949導電手環 Wrist StrapA.作用： 將人體因移動或衣褲襪和人體摩擦所累積之靜電經由安全之線路徐徐因內部含有1M ohms之安全電阻放電同時可預防且降低當工作場所之過大電流漏漏所產生之電擊B.說明： 依l = V/R推算；當V=120-220V，R=10-4A對