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1、 電池制造質(zhì)量控制點(diǎn)培訓(xùn)電池制造質(zhì)量控制點(diǎn)培訓(xùn) 2目錄一、清洗制絨崗位質(zhì)量控制二、擴(kuò)散崗位質(zhì)量控制三、刻蝕崗位質(zhì)量控制四、PECVD崗位質(zhì)量控制五、絲網(wǎng)崗位質(zhì)量控制33清洗崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(1)清洗間的質(zhì)量控制點(diǎn)分為三個(gè)方面:來(lái)料檢驗(yàn),減薄量,絨面觀察、表面狀態(tài)。一、經(jīng)常出現(xiàn)的不良現(xiàn)象有: 1、 裝片人員拆開(kāi)每一小盒不檢查硅片外觀直接裝片,異常不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)制止 2、 插片時(shí)候,手套長(zhǎng)時(shí)間使用而不更換 3、 減薄量不測(cè)或隨便寫(xiě)數(shù)值,減薄量異常不能及時(shí)發(fā)現(xiàn),導(dǎo)致后續(xù)出現(xiàn)大量返工片或硅片偏薄。 4、 單晶制絨時(shí)候,只通過(guò)目視,不用顯微鏡看絨面,導(dǎo)致絨面不受 控制 5、吃飯時(shí)間交接不到位,槽體的化學(xué)品狀

2、況不清楚,導(dǎo)致絨面不受控制 6 、清洗后的在制品暴露在空氣中時(shí)間過(guò)長(zhǎng)44清洗崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(2)二、上述現(xiàn)象中,工藝規(guī)程及相關(guān)規(guī)定中要求:1、按檢驗(yàn)要求(檢查硅片邊緣缺口、表面有無(wú)異常斑點(diǎn)、裂紋、有無(wú)明顯的切割線及劃痕等),2、單晶每插好100片更換一次性手套一次。 3、減薄量范圍為:?jiǎn)尉?25S ( 0.3g -0.4g) 1)做單晶當(dāng)制絨機(jī)剛換過(guò)液時(shí),一般把減薄量控制在合格范圍的下限。 2)減薄量超出范圍,必須找當(dāng)班工藝確認(rèn)簽字。 3)減薄量的抽查頻次為2片/400片并將減薄量的數(shù)據(jù)寫(xiě)在減薄量記錄對(duì)應(yīng)記錄格中,便于后道調(diào)整工藝要求。4、觀察絨面必須用光學(xué)顯微鏡進(jìn)行觀察5、員工在吃飯、間歇的

3、時(shí)候必須了解制絨槽的化學(xué)液的配比濃度6、清洗后的在制品要求不要長(zhǎng)時(shí)間的暴露在空氣中防止污染55 清洗崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(3)三、對(duì)應(yīng)措施: 1、要求工序長(zhǎng)詳細(xì)了解本道工序的所有質(zhì)量控制點(diǎn)2、以身作則,在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)發(fā)現(xiàn)質(zhì)量控制點(diǎn)的地方及時(shí)制止并更改3、對(duì)員工進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn),做到記錄的真實(shí)有效果,在后續(xù)進(jìn)行培訓(xùn)效果跟蹤。每個(gè)月至少進(jìn)行一次切實(shí)的技能排查,針對(duì)問(wèn)題進(jìn)行培訓(xùn),再排查4、及時(shí)對(duì)設(shè)備的狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn),發(fā)現(xiàn)異常、故障要及時(shí)反饋5、主管不定時(shí)巡查產(chǎn)線異常。66擴(kuò)散崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(1)擴(kuò)散崗位的質(zhì)量控制點(diǎn)分為三個(gè)方面:來(lái)料檢驗(yàn),擴(kuò)散工藝,方塊電阻確認(rèn)一、經(jīng)常出現(xiàn)的不良現(xiàn)象有:1、石英吸筆在使用前及過(guò)程

4、中不進(jìn)行清潔,導(dǎo)致擴(kuò)散后有吸筆印2、用手拿舟現(xiàn)象嚴(yán)重,石英舟受污染3、對(duì)擴(kuò)散后的方塊電阻不測(cè),數(shù)據(jù)亂寫(xiě),導(dǎo)致整體電性能?chē)?yán)重不穩(wěn)定4、不均勻度不及時(shí)登記5、員工在作業(yè)的時(shí)候著裝不規(guī)范,袖子卷起,口罩下拉,擴(kuò)散質(zhì)量存在6、四探針測(cè)試儀器不進(jìn)行清潔7、插片速度太快,導(dǎo)致硅晶脫落、報(bào)廢超標(biāo)77 擴(kuò)散崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(2)二、上述現(xiàn)象中,工藝規(guī)程卡中規(guī)定:1、舟叉及石英吸筆在使用前必須經(jīng)酒精擦洗干凈2、戴好乳膠手套,用舟叉將石英舟移至凈化操作臺(tái)或碳化硅槳上3、執(zhí)行力問(wèn)題,方塊電阻是體現(xiàn)擴(kuò)散結(jié)面及整體電性能的重要因素。 在生產(chǎn)過(guò)程中,必須嚴(yán)格按照要求對(duì)方塊電阻進(jìn)行測(cè)量并記錄,異常及時(shí)通知到工藝進(jìn)行確認(rèn)4、同

5、一爐的擴(kuò)散方塊電阻不均勻度要求為:7% 同一硅片擴(kuò)散方塊電阻不均勻度要求為:10% 超過(guò)范圍時(shí),必須及時(shí)通知到工藝5、接觸硅片或工夾具的過(guò)程中,必須穿戴好工作服、口罩、乳膠手套,嚴(yán)禁將袖子卷起作業(yè),員工的衣物確保不外露6、四探針的測(cè)試臺(tái)每班以酒精進(jìn)行擦洗,保持清潔7、要求:用真空吸筆每槽兩片順序、緩慢的將硅片插入石英舟,待硅片接觸到石英舟的槽體內(nèi)再將吸筆送開(kāi),一舟的插片時(shí)間控制為:14分鐘。插片過(guò)程中檢查硅片表面是否合格。8.操作裝片過(guò)程中嚴(yán)格的挑選返工片,發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)通知清洗間及相關(guān)人員。88二. 擴(kuò)散崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(3)三、對(duì)應(yīng)措施: 1、要求工序長(zhǎng)詳細(xì)了解本道工序的所有質(zhì)量控制點(diǎn)2、以身

6、作則,在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)發(fā)現(xiàn)質(zhì)量控制點(diǎn)的地方及時(shí)制止并更改3、對(duì)員工進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn),做到記錄的真實(shí)有效果,在后續(xù)進(jìn)行培訓(xùn)效果跟蹤。每個(gè)月至少進(jìn)行一次切實(shí)的技能排查,針對(duì)問(wèn)題進(jìn)行培訓(xùn),再排查4、及時(shí)對(duì)設(shè)備的狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn),發(fā)現(xiàn)異常、故障要及時(shí)反饋5、主管不定時(shí)巡查一次產(chǎn)線。99刻蝕崗位質(zhì)量控制點(diǎn)主要有:刻蝕效果確認(rèn)(邊緣導(dǎo)電類(lèi)型等)一、經(jīng)常發(fā)現(xiàn)的不良現(xiàn)象有:1、測(cè)量數(shù)據(jù)亂寫(xiě),不及時(shí)記錄,不能發(fā)現(xiàn)異常2、不按照要求進(jìn)行冷熱探針測(cè)試,導(dǎo)致Rsh異常3、裝片人員沒(méi)有按照要求佩帶手套,導(dǎo)致鍍膜后產(chǎn)生指紋印4、寫(xiě)好的流程卡放在硅片上,污染硅片5、交接班時(shí)候在制品控制不良,下料插好的硅片長(zhǎng)時(shí)間放在桌子上6、下料吸筆

7、長(zhǎng)時(shí)間不清洗,導(dǎo)致鍍膜有吸盤(pán)印7、承載盒放反,插片時(shí)未分清擴(kuò)散面,導(dǎo)致硅片J08、外觀檢測(cè)(刻蝕線、清洗后是否出現(xiàn)水紋印、脫水)9、刻蝕時(shí)工夾具的使用,300pcs一刻嚴(yán)禁數(shù)量增減。三. 刻蝕崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(1)1010 1、冷熱探針電勢(shì)檢測(cè) 取刻蝕完的片子用冷熱探針測(cè)硅片四邊,確保四邊測(cè)的數(shù)值均大于30mv才刻通。發(fā)現(xiàn)任何一邊未大于30mv需通知工藝進(jìn)行調(diào)整 檢查頻次1-5片/300片,按每刻蝕一張流程卡循環(huán)測(cè)試,測(cè)試硅片時(shí)必須佩帶一次性手套嚴(yán)禁帶乳膠手套進(jìn)行測(cè)片。 2、整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程要戴好口罩和PVC乳膠手套,甩干人員手外層必須佩帶一次性手套 禁止不戴乳膠手套直接接觸硅片及相關(guān)夾具。 3、禁

8、止容易帶有粉塵、雜質(zhì)顆粒的紙制品和木制品直接接觸硅片。 4、目測(cè)刻蝕后硅片表面的干燥情況,有無(wú)水跡或其他污點(diǎn),禁止硅片長(zhǎng)時(shí)間暴露在空氣中 5、上料硅片間距要求為156S/M5cm 6、裝片真空吸筆每使用200400次后用沾有無(wú)水乙醇的脫脂棉擦洗吸筆頭三. 刻蝕崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(2)1111三. 刻蝕崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(3)三、對(duì)應(yīng)措施: 1、要求工序長(zhǎng)詳細(xì)了解本道工序的所有質(zhì)量控制點(diǎn)2、以身作則,在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)發(fā)現(xiàn)質(zhì)量控制點(diǎn)的地方及時(shí)制止并更改3、對(duì)員工進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn),做到記錄的真實(shí)有效果,在后續(xù)進(jìn)行培訓(xùn)效果跟蹤。每個(gè)月至少進(jìn)行一次切實(shí)的技能排查,針對(duì)問(wèn)題進(jìn)行培訓(xùn),再排查4、及時(shí)對(duì)設(shè)備的狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn),

9、發(fā)現(xiàn)異常、故障要及時(shí)反饋5、主管不定時(shí)巡查一次產(chǎn)線。1212四. PECVD 崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(1)PECVD崗位主要質(zhì)量控制點(diǎn):鍍膜質(zhì)量及不良品的管控一、經(jīng)常出現(xiàn)的不良現(xiàn)象有: 1、卸片時(shí)候不用卸片盒 2、插片或卸片不用吸筆墊,導(dǎo)致有吸盤(pán)印 3、小車(chē)內(nèi)的硅片沒(méi)有及時(shí)放入潔凈柜 4、袖子卷起,頭套不帶,口罩未戴好,唾液濺到硅片表面 5、 硅片漏插導(dǎo)致雙面鍍膜 6、承載盒放反,導(dǎo)致一盒擴(kuò)散面插反JO 7、插片速度過(guò)快,導(dǎo)致邊緣甭邊或缺角 8、對(duì)鍍膜質(zhì)量控制不嚴(yán),不良品流入下道工序 9、石墨舟使用混亂1313四. PECVD 崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(1)二、工藝規(guī)程中規(guī)定: 1、在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中,要求戴好口

10、罩和乳膠手套,作業(yè)時(shí)候嚴(yán)禁將袖子卷起 2、PECVD等待裝片的片子需放入指定的潔凈柜中,插片的時(shí)候注意分清擴(kuò)散面。 3、石英吸筆保持干凈, 4、膜后檢測(cè)(規(guī)定) 1)鍍膜顏色: 跨越三種顏色的跳色(淡藍(lán)、藍(lán)色、深藍(lán)、淡紅、紅片)不良,紅片不良。 2)鍍膜顏色:色斑、背面膜不良。 3)邊緣脫晶:不可脫穿 5)工藝點(diǎn):深度1.5mm 必須停止使用該舟 檢查頻次:上班生產(chǎn)的各編號(hào)第一舟用模版確認(rèn)。 6)異物殘留:亮斑,不論大小和數(shù)量絕不允許有。1414 5、石墨舟管控石墨舟管控(規(guī)定) 1)石墨舟刻蝕質(zhì)量控制:使用過(guò)程中發(fā)現(xiàn)有大量紅片立刻通知石墨舟管理員進(jìn)行拆洗。 2)石墨舟后拆洗后仍有紅片的立刻通

11、知石墨舟管理員。PECVD 崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(2)1515PECVD 崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(3)三、對(duì)應(yīng)措施1、首先要求工序長(zhǎng)詳細(xì)了解本道工序的所有質(zhì)量控制點(diǎn)2、以身作則,在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)發(fā)現(xiàn)質(zhì)量控制點(diǎn)的地方及時(shí)制止并更改3、在生產(chǎn)間歇時(shí)對(duì)員工進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)操作培訓(xùn),對(duì)新員工可以利用報(bào)廢的硅片讓新員工進(jìn)行練習(xí),并在過(guò)程中糾正不規(guī)范動(dòng)作4、加強(qiáng)對(duì)設(shè)備的狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn),發(fā)現(xiàn)異常、故障要及時(shí)反饋1616絲網(wǎng)崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(1)絲網(wǎng)崗位主要質(zhì)量控制點(diǎn):印刷質(zhì)量一、目前存在的不良現(xiàn)象有:1、著裝不規(guī)范,袖子卷起,頭發(fā)外露,不帶手套操作等2、漿料攪拌時(shí)間不足就開(kāi)始使用3、臺(tái)面清理不及時(shí)4、真空吸頭不擦拭,導(dǎo)致有吸盤(pán)印5、首

12、檢不全面,導(dǎo)致印刷不良6、印刷超重,浪費(fèi)成本及燒結(jié)異常7、對(duì)漏漿、斷線、虛印等質(zhì)量異常不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)或?qū)p微的 現(xiàn)象不做處理1717二、工藝規(guī)程及相關(guān)要求中規(guī)定: 1、整個(gè)印刷生產(chǎn)過(guò)程中,要戴好頭套,口罩和乳膠手套,不允許頭發(fā)外露 2、銀漿使用前采用臥式攪拌機(jī)攪拌24小時(shí),轉(zhuǎn)速20 r/min(主傳動(dòng)) 鋁漿必須內(nèi)嵌攪拌3545分鐘 電流設(shè)置0.5A1A,30分鐘以上。 3、真空吸頭每天以酒精擦洗 4、臺(tái)面、行走帶要經(jīng)常清理,如有碎片現(xiàn)象更要及時(shí)清理干凈,保證無(wú)漿料殘留臺(tái)面 5、印刷前確認(rèn) 1)物料的確認(rèn):檢查配料單與物料信息的匹配情況 2)首檢:試做5-10片,直到分檢檢測(cè),包括印刷質(zhì)量,電性

13、能測(cè)試,拉力測(cè)試等無(wú)異常方可大批量生產(chǎn)。 3)稱(chēng)重:五. 絲網(wǎng)崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(2)1818五. 絲網(wǎng)崗位質(zhì)量控制點(diǎn)(3)6 6、印刷時(shí)控制印刷時(shí)控制(規(guī)定)(規(guī)定) 1)漏漿:正面不得有鋁漿臟污。正面印刷圖形外的漏漿無(wú)。正面印刷圖形上的漏漿:無(wú) 2)斷線:副柵線斷線:尺寸1mm,數(shù)量2根。 3)虛印:主副柵線無(wú)。背電場(chǎng)允許5%對(duì)應(yīng)面積的缺失。 4)變色:主副柵線不允許有變色(燒焦,發(fā)黃)現(xiàn)象。背電極不允許變色和背電場(chǎng)允許15%變色。 5)粗線:無(wú) 6)正負(fù)電極:順序一致,絕不允許出現(xiàn)正反電極。 7)鋁苞:發(fā)現(xiàn)第一時(shí)間通知相關(guān)人員。 8)刮條印明顯立即更換刮條。 9)根據(jù)絲印的漿料單耗管控進(jìn)行稱(chēng)重,發(fā)現(xiàn)異常第一時(shí)間通知相關(guān)人員。1919 分檢崗位質(zhì)量控制點(diǎn)分檢崗位質(zhì)量控制主要有:分檔方式、包裝及標(biāo)簽、入庫(kù)單打印等分

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