1、潔凈室知識培訓潔凈室知識培訓潔凈間基礎知識25潔凈室及潔凈區潔凈度等級26潔凈室管理四大原則29潔凈室(Clean Room)內的注意事項54目錄潔凈室的用途1潔凈室的用途潔凈室的用途潔凈室潔凈室CleanroomCleanroom: :空氣懸浮粒子濃度空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生滯留粒子。室內的建造和使用應減少室內誘入、產生滯留粒子。室內其它有關參數如其它有關參數如溫度溫度、濕度濕度、壓力壓力等按要求進行控制等按要求進行控制。摘自GB50073-2001潔凈廠房設計規范由于半導體工業所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許

2、許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等)，因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環境中進行，以盡量將污染源和硅片隔離。背景背景什么是潔凈室？什么是潔凈室？1,00010,00010,000,0001,000,000100,000各種條件下微塵狀況各種條件下微塵狀況塵埃粒直徑（單位：塵埃粒直徑（單位：mm）0.00010.00010.0010.0010.010.010.10.11.01.01010100100100010001000010000香煙的煙香煙的煙顏料顏料煙煙硅砂硅砂花粉花粉

3、植物孢子植物孢子水泥水泥人的頭發人的頭發重工業發出的粒子重工業發出的粒子病毒病毒細菌細菌化學物質化學物質0.5 0.5 mm塵埃粒子直徑的示意圖塵埃粒子直徑的示意圖252535357 78 82525空氣中漏入空氣中漏入原料中帶入原料中帶入設備運轉產生設備運轉產生生產過程產生生產過程產生人員因素造成人員因素造成摘自GB50073-2001潔凈廠房設計規范灰塵又是如何產生的呢？灰塵又是如何產生的呢？熒光燈全部消失的場合。一般事務室里拍攝的例子一般事務室里拍攝的例子左邊是穿一般的工作服走路時候發塵的樣子。右邊是穿潔凈服走路時候發塵的樣子。走路時候發塵樣子對比走路時候發塵樣子對比左邊是拍擊一般的工作

4、服時發塵的樣子。右邊是拍擊潔凈服時發塵的樣子。拍擊工作服時產生的塵埃粒子對比拍擊工作服時產生的塵埃粒子對比作業人員通過后，塵埃附著在玻璃上的樣子。潔凈室內的事例潔凈室內的事例使用 ParticleEyeDCF 統計浮游粒子數量。浮游粒子浮游粒子左邊是普通紙，右邊是無塵紙。紙張的發塵對比紙張的發塵對比左邊是紙芯膠帶的發塵的樣子，右邊是PVC手套的發塵。膠帶和手套的發塵例子膠帶和手套的發塵例子左邊是電鉆發塵的樣子。右邊是真空泵發塵的樣子。電動工具的發塵例子電動工具的發塵例子吸塵器各地方排氣泄漏的樣子。吸塵器排氣的例子吸塵器排氣的例子打噴嚏時瞬間發生的飛沫。打噴嚏時從嘴里泄漏飛沫的樣子打噴嚏時從嘴里

5、泄漏飛沫的樣子從胳膊發汗條件創造。發汗現象發汗現象香煙煙霧的粒子。吸煙的例子吸煙的例子 靜坐時產生的塵粒數約靜坐時產生的塵粒數約 10,000 10,000 輕微運動時產生的塵粒數約輕微運動時產生的塵粒數約 100,000100,000 劇烈運動時產生的塵粒數約劇烈運動時產生的塵粒數約 10,000,000 10,000,000 運動時產生的塵埃粒子數量運動時產生的塵埃粒子數量0.0.5 5m m1 1m mPre-filterBag-filter95%9095%99.99%HEPA filterFANFilterHEPA/ULPACR99.99%0.30.3m m0.0.1 1m m工作區域

6、密封條外框過濾器介質波浪型隔離體褶皺狀濾紙外框熱溶膠熱溶膠（多處加工）外框濾紙HEPA HEPA FilterFilter高效過濾器高效過濾器H High igh E Efficiency fficiency P Particulate articulate A Air ir FilterFilterULPA ULPA FilterFilter高效過濾器高效過濾器U Ultra ltra L Low ow P Penetrationenetration A Air Filterir Filter灰塵是如何去除的呢？灰塵是如何去除的呢？灰塵是如何去除的呢？灰塵是如何去除的呢？潔凈室的空氣凈化新新

7、風風正壓正壓Relief DamperRelief Damper手持簡易型激光粒子計數器手持簡易型激光粒子計數器 測量空氣中微粒的數量限于體量和重量，手持式激光粒子計數器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其最小粒徑通道一般為0.3m。通常均可采用電池或交流電工作。這類產品粒徑通道又可分為雙通道型，如美國Met One公司生產的HHPC-2型，有0.3和0.5m及0.5和5m兩種標準配置。由于這類產品采樣空氣量小，測量精度相對較低，但隨檢測人員移動靈便，適用于各種潔凈室的監測，判定過濾設備的效率和密封性。這類產品可存儲一定量的采樣數據，備有

8、下載軟件，均不帶打印裝置。高效過濾器高效過濾器高效過濾器撿漏卸下HEPA的散流板，對整個濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進行掃描。掃描時采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復地進行，線條間應重疊。檢測過程中，若有報警聲 （即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏。泄漏處經用硅膠堵漏或緊固以后再進行掃描巡檢。檢查一個過濾器約為5min 左右，在測試的過程中，應經常確認上游氣溶膠的濃度，注意在檢測過程中應帶防護面罩和防護眼罩。風量罩風量罩測量送風風速風量罩主要由三個部分構成:風量罩體、基座、PDA構成.

9、風量罩體主要用于采集風量,將風匯集至基礎上的風速均勻器上.在風速均勻器上裝有熱式傳感器,熱式傳感器將風速的變化,再根據基底的尺寸將風量計算出來.風量罩的顯示采用PDA,大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風速和風量的數據.操作簡單,可以設置記錄時間間隔進行連續的參數記錄,以便對數據進行分析.測量和記錄的數據被記錄在存儲卡上,不會丟失,可以通過計算機的串口將數據傳遞到PC機上以及做進一步的應用. 風罩的測量技術要求項目項目技術要求技術要求測量限值/范圍流量50 3500 m3/hra誤差讀數的 5 %反應時間90 % 滿標度時不到10 s校準間隔最多12個月注：a測量限值和分辯率取決于所用風罩的尺

10、寸。壓差測定儀表壓差測定儀表壓差檢測 普通潔凈室不同級別逐級之間、潔凈室與非潔凈區之間的微壓差一般為510Pa，某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴散，其進入通路的各個房間之間的負壓差需要維持-10-30Pa。根據國家標準GB19489-2004“實驗室、生物安全通用要求”的規定：相對于大氣壓污染區為-40Pa，根據國家標準GB50346-2004“生物安全實驗室建筑技術規范”的規定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負壓差為-10Pa。在各級空氣過濾器處，應配置微壓差計并與過濾器前后的靜壓引出管相連，以便隨時監測氣流通過空氣過濾器的壓力降。有些微壓差計還備有可調節壓差設定的報警標定值，以便超過

11、規定壓差時輸出報警信號。 溫濕度計溫濕度計測量溫濕度電子溫濕度計因其方便、可靠、便于距離測量等優點，在潔凈室檢測、監測中廣泛使用。常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應電學儀器，即可測定空氣的相對濕度。電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰聚氯乙烯等高分子材料制成。它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩定性好，使用較普遍。電容式傳感器電容式濕度傳感器基本上是一個電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的

12、吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數將發生相應變化。因為介電系數隨空氣中的相對濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度。照明照明u 淚滴型照明燈具u 嵌入式照明燈具照度計照度計照度測試照度測試宜采用便攜式數字照度計。 潔凈室（區）照度的檢測應在室內溫度穩定和光源光輸出穩定的狀態后進行；對新熒光燈區應使用100h以上，并在點燃15min后進行測試。 照度測試點應選擇在工作面高度進行，一般宜為0.85m，通道測試高度宜為0.2m；測試點數量可按每50潔凈室（區）面積一個點計算，但每個房間不得少于1點。靜電檢測儀靜電檢測儀測量靜電該類測試儀表不直接與帶電體接觸，而是運用靜電感應的

13、原理，間接測試帶電體的靜電電位。由于這種測試不是直接同帶電體相接觸，因此也稱非接觸式測量。靜電感應原理：是將測試探頭靠近帶電體，利用探頭與被測帶電體之間產生的畸變電場測試帶電體的表面電位。人體靜電檢測儀靜電檢測儀靜電檢測儀靜電控制靜電控制Man ( 人 )手腕帶 ，ESD鞋，ESD椅子,衣服 Machine( 機 )接地，控制靜電電流消除 / 屏蔽 電磁干擾和交流電場Material ( 材料 )使用導體材料盡量使用靜電消耗材料使用 ESD地板，ESD桌墊不用或盡量少用絕緣材料Method ( 方法 )預防（創建ESD安全的環境）保護（保護對ESD敏感的產品或零部件，避免金屬小 電阻接觸 ）屏

14、蔽（對非ESD安全的物品進行法拉第或距離屏蔽 ）消除（通過接地，離子化消除產生的靜電）Environment( 環境 )溫度 / 濕度控制局部使用離子風機員工 ESD培訓管理ESD 控制 = Man (人)+ Machine (機) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(環)風淋室（風淋室（AirshowerAirshower） 風淋室風淋室(Air Shower)(Air Shower)設于無塵室入口處，具有以下功能：設于無塵室入口處，具有以下功能：u人員管制uAIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染u風速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體

15、衣服上及設備、物料、工具的塵埃。注：正確使用風淋室，能夠減少帶入室內的灰塵。正確聽從風淋室播音員的指示進行操作，夠去除95%的1以上的灰塵。傳遞箱傳遞箱 (PASS BOX) (PASS BOX) 置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：u做為潔凈室內外物品傳遞之緩沖區，其可防止于傳遞物品時由于門的開啟而破壞了潔凈 室氣流與室壓u可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入u進出口具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染 110221002410431000237102358410,0002,3701,020352835100,00023,70010,2003,520

16、8322961000,000237,000102,00035,2008,3202937352,00083,2002,93083,520,000832,00029,300935,200,0008,320,000293,000國家標準 GB 50073-2001潔凈室及潔凈區潔凈度等級潔凈室及潔凈區潔凈度等級潔凈室的管理潔凈室的管理4 4大原則大原則不讓不讓灰塵灰塵產生產生過濾器本身及外框無漏風過濾器本身及外框無漏風潔凈室需保持一定的正壓潔凈室需保持一定的正壓作業人員需穿潔凈服并經風淋作業人員需穿潔凈服并經風淋帶入的工具、材料等必須擦洗帶入的工具、材料等必須擦洗干凈干凈不將不將灰塵灰塵帶入帶入迅速

17、迅速排除排除灰塵灰塵不讓不讓灰塵灰塵堆積堆積清掃作業不留死角，特別是清掃作業不留死角，特別是不易清掃的角落和設備周圍不易清掃的角落和設備周圍盡量減少風管、配管暴露于盡量減少風管、配管暴露于潔凈室內潔凈室內實施標準化的清掃作業實施標準化的清掃作業正確穿著潔凈服正確穿著潔凈服不使用容易發塵的物品及材料不使用容易發塵的物品及材料減少不必要的人員走動減少不必要的人員走動不用的物品嚴禁帶入不用的物品嚴禁帶入增大換氣次數增大換氣次數設備發塵部位應有排氣設備發塵部位應有排氣室內的氣流形式應使得灰塵室內的氣流形式應使得灰塵難以在產品上附著難以在產品上附著不將灰塵帶入不將灰塵帶入過濾器本身及外框無漏風過濾器本身

18、及外框無漏風過濾器本身及外框無漏風過濾器本身及外框無漏風穿潔凈服經過風淋室穿潔凈服經過風淋室帶入的工具、材料等必須擦洗干凈帶入的工具、材料等必須擦洗干凈防止作業服和皮膚的發塵防止作業服和皮膚的發塵不讓灰塵產生不讓灰塵產生正確穿著潔凈服打卡進潔凈室打卡進潔凈室脫鞋并存放柜子里脫鞋并存放柜子里從消毒鞋柜里取長筒靴從消毒鞋柜里取長筒靴穿連體潔凈服穿連體潔凈服戴無塵帽戴無塵帽戴口罩戴口罩穿長筒靴穿長筒靴戴手套戴手套確認著裝狀態確認著裝狀態取出潔凈服、口罩取出潔凈服、口罩防止頭發和膚屑的掉落防止頭發和膚屑的掉落防止口中散發細菌防止口中散發細菌防止作業服的下擺發塵防止作業服的下擺發塵普通作業服放進更衣柜普

19、通作業服放進更衣柜著裝完畢著裝完畢防止靜電和膚屑產生防止靜電和膚屑產生確認作業服是否整潔，有無確認作業服是否整潔，有無塵物，頭發是否外漏，口罩塵物，頭發是否外漏，口罩穿戴是否正確等穿戴是否正確等不讓灰塵產生不讓灰塵產生去除鞋底灰塵和異物去除鞋底灰塵和異物風淋動作結束后走出風淋風淋動作結束后走出風淋室室消除胳膊異物，轉一圈消除胳膊異物，轉一圈( (風淋風淋1515秒秒/ /次次) )進入風淋室進入風淋室2 2名以上不能同時入風淋室名以上不能同時入風淋室禁止觸碰感應器，躲避風淋禁止觸碰感應器，躲避風淋禁止掰動風淋口禁止掰動風淋口禁止推玻璃，開風淋室禁止推玻璃，開風淋室門門不讓灰塵產生不讓灰塵產生等

20、待風淋室門自動關閉等待風淋室門自動關閉走出風淋室走出風淋室進入風淋室進入風淋室照相機照相機手機手機木木棧棧板板+紙紙箱箱食品食品個人物品個人物品香煙香煙+打火機打火機化化妝妝品品保保麗龍麗龍物品物品白板筆白板筆+白板擦白板擦未清未清潔潔物品及工具物品及工具潔凈室禁止攜帶物品舉例潔凈室禁止攜帶物品舉例*潔凈室禁止帶入易發塵物品、數碼產品、食品、個人物品、不使用物品、未清潔物品及工具等無無塵塵打印打印紙紙防靜防靜電圓電圓珠筆珠筆美工刀美工刀防靜防靜電電椅椅溫濕度溫濕度計計手持式粉手持式粉塵檢測儀塵檢測儀防靜防靜電電手套手套靜靜電電防防塵塵口罩口罩耐高溫膠耐高溫膠帶帶除靜除靜電繩電繩潔凈室專用物品舉

21、例潔凈室專用物品舉例*潔凈室必須使用專用物品清掃區域要點圖不讓灰塵堆積不讓灰塵堆積- -潔凈室潔凈室 (Clean Room)(Clean Room)的清掃的清掃A A ：樓承板及天花板上梁清掃：樓承板及天花板上梁清掃：用無塵布清理灰塵用純水無塵布清掃房梁、吊頂螺栓 手夠不到的地方用拖把用純水擦拭一次以上。 要點將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗，在梁上不要殘留下痕跡 B B：樓承板及天花板上設備機器清掃：樓承板及天花板上設備機器清掃 保護膜全部撕掉、用無塵布清理掉積塵用純水無塵布清掃配管、管路、線纜橋架等手夠不到的地方用拖把用純水至少擦拭一次以上。要點將裝有純水的水桶帶到天

22、花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗 在配管等上面不要殘留下痕跡C C：樓承板及天花板清掃：樓承板及天花板清掃收拾垃圾、用拖把拖樓承板及天花板上用純水擦拭將裝有純水的水桶帶到天花板內、用無塵布沾濕后絞干擦洗 在天花板上面不要殘留下痕跡D D：樓承板及天花板下設備機器清掃：樓承板及天花板下設備機器清掃保護膜全部去除、有電氣機器接觸的部分用干無塵布擦拭其他配管、管路、橋架等用純水擦拭清掃E E：地板清掃：地板清掃操作順序是先撕掉保護膜收拾垃圾用清掃機收拾垃圾、用無塵拖把清潔用純水擦拭來進行地板清掃(強力的污漬用噴霧劑對應)干燥柱子閥門用水擦拭、墻壁的鋁蜂巢板用擦拭的方法進行清潔。生產盤由設置的業者負責任的進行干擦拭清掃(柱子的話事前能夠清掃的地方進行清掃注意務必將作業區域跟清掃區域區分開來清潔設備清潔設備清潔棚頂設施清潔棚頂設施清潔墻壁清潔墻壁清潔地面清潔地面不讓灰塵堆積不讓灰塵堆積- -潔凈室潔凈室 (Clean Room)(Clean Room)清掃事例清掃事例從上往下清潔