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1、2010年3月22日擴(kuò)散爐工作原理擴(kuò)散爐主要性能參數(shù)擴(kuò)散爐總體結(jié)構(gòu)擴(kuò)散爐各組成部分 擴(kuò)散爐擴(kuò)散原理簡介 擴(kuò)散爐控制原理 由于硅太陽電池實(shí)際生產(chǎn)中均采用型硅片，因此需要形成型層才能得到結(jié)，這通常是通過在高溫條件下利用磷源擴(kuò)散來實(shí)現(xiàn)的。 太陽電池制造工藝中，磷擴(kuò)散一般有三種方法，一是三氯氧磷（POCl3）液態(tài)源擴(kuò)散，二是噴涂磷酸水溶液后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散，三是絲網(wǎng)印刷磷漿料后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散，本公司目前采用的是第一種方法。 用保護(hù)性氣體，通過恒溫的液態(tài)源瓶（鼓泡或吹過表面），把雜質(zhì)源蒸汽帶入高溫擴(kuò)散爐中，經(jīng)高溫?zé)岱纸馔杵砻娣磻?yīng)，還原出雜質(zhì)原子，并向硅片內(nèi)擴(kuò)散。 爐膛有效內(nèi)徑： 320mm 溫度控制范圍： 600

2、1100 恒溫區(qū)長度及精度： 0.5/1080mm （8011100） 1.0/1080mm （400800） 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性： 1/4h （880時） 升降溫速率可控范圍： 爬升率: 15/min (最大) 下降率: 5/ min (最大) 具有超溫、斷偶、短路報警和保護(hù)功能。 具有自動斜率升降溫及恒溫功能。 送片方式： 采用SiC槳懸臂自動送片機(jī)構(gòu)，舟速20500mm/min連續(xù)可調(diào)； 定位精度:2mm，SiC槳最大載片承重:16Kg,建議不超過14Kg。 爐門當(dāng)懸臂完全進(jìn)入爐管，達(dá)到極限位置的時候會自動關(guān)閉。 工藝過程由工控計算機(jī)全自動控制，直接在觸摸屏上操作。 設(shè)備總體結(jié)構(gòu)圖 主要組成部分 電氣控制部分、加熱爐體部分、推舟凈化機(jī)構(gòu)和氣源部分 電氣控制部分 推舟凈化機(jī)構(gòu) 加熱爐體部分 氣源部分 整個控制柜分為四層，工控機(jī)控制部分分為上、中和下層3個獨(dú)立部分，每層分別控制對應(yīng)層的舟、爐溫及氣路部分，是整個系統(tǒng)的控制中

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