1、蔡司場發射掃描電鏡操作培訓安全規則 設備的電源一定要確保持續和穩定。 當設備出現短路，起火等重大緊急故障時，切斷設備電源和UPS電源。電源開關見下圖紅圈 當樣品臺移動的時候，一定要在TV模式下，確保其不會碰撞到探頭。（尤其是在樣品臺上升的過程中）要要求求WD8mm 平時觀測時，注意不要碰到左邊的操縱桿，以免樣品高度和傾斜度發生變化，損壞鏡頭和探測器！ 開關倉門時必須輕拉輕推，避免撞擊，震動極易損壞探測器。安全規則 樣品一定要粘牢在樣品臺上，樣品高度應基本一致，樣品表面平整，樣品大小不得超出大樣品臺邊緣（3英寸硅片一次只能放入一片），高度不得超過30mm,重量不得超過500g。 不允許放入：液體

2、、有機、生物、不耐熱、熔融蒸發、松動粉末或碎屑等有揮發物樣品！（電鏡鏡筒最怕污染，無VP模式） 凡是不導電樣品必須鍍導電膜。 樣品臺一定要卡緊在樣品室基座上，左右不得晃動！樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向樣品臺背面：卡槽樣品臺背面：卡槽 樣品觀測結束后，一律將高壓關掉（EHT OFF），否則會影響燈絲壽命。 如需要回收樣品，則取出樣品后必須抽真空，否則會增加抽真空的時間和難度。 關上氮氣瓶閥門。 把重新設定的參數改回。 數據刻錄一定要用實驗室提供的光盤專門在此機器上刻錄，禁止使用在其它機器上刻錄過的光盤，禁止使用U盤和移動硬盤。 設備的電源一定要保持持續和穩

3、定，無需開關硬件電源，每次實驗后只需關閉電腦顯示器電源。注注 意意 事事 項項 制樣過程中，手不能直接接觸小樣品架及樣品臺，防止手上的油脂等雜質污染真空系統，要戴手套。 需要傾斜樣品時，需經電鏡管理老師同意，不得自行傾斜樣品！ 放置電鏡的臺子不能放置其它物體，不能將身體靠在臺子上！ 電鏡室溫度范圍：214C；濕度65。 使用者不得更改計算機內之任何設定或私自加載任何軟件，不得將樣品臺、小樣品架等電鏡室內的物品攜出SEM實驗室。 樣品臺須放在干凈的培養皿中操作，不能直接放在桌子上或其它不潔凈物體上面。用完后，樣品臺放入培養皿中蓋好。 測試時須換鞋，不得攜帶任何食物入內，測試完后打掃衛生，保持掃描

4、電鏡室干凈整潔。 測試完后必須進行登記！電鏡室隔間電鏡室隔間隔間放有高純氮氣鋼隔間放有高純氮氣鋼瓶、水循環機、瓶、水循環機、UPS電電源、干泵、空氣壓縮源、干泵、空氣壓縮機。機。由于隔間內無空調，由于隔間內無空調，水循環機給機器降溫水循環機給機器降溫散熱量很大，所以隔散熱量很大，所以隔間門要打開，不得關間門要打開，不得關閉，尤其在夏天，否閉，尤其在夏天，否則水循環機負荷太大則水循環機負荷太大會損壞。會損壞。開關機操作說明FESEM 主機的開機首先將水冷機打開。確認控制面板上的3個燈亮（紅圈中）。右側的水機溫度下降到左側的設定溫度。檢查水機后面的壓力表的讀數。如果有壓縮空氣機的話，打開壓縮空氣機

5、。確保輸出壓力達到6 bar。注意：本機長時間開機，一般操作人員只需在Standby按鈕亮起時，按下旁邊ON按鈕，綠燈長亮后即可進行下一步操作。FESEM 主機的關機按下黃色的Standby按鈕（設備除真空和MPSU電路板外的所有電路板關閉電源）。等待30秒后。按下紅色的Off按鈕。設備的所有電路板關閉。15分鐘后關閉水冷機和壓縮空氣機。注意事項：開機以前，一定要提前把空調打開。讓房間里的溫度控制到指定要求。并很穩12小時。當空調停機的時候，應立即關閉主機和水機！注意：關機由管理員進行，一般測試人員不需要進行此項操作，只需按下進行EHT off，關閉軟件，按下Standby按鈕。操作軟件簡介說

6、明Smart軟件的啟動雙擊桌面上的快捷鍵 或者在開始菜單中選擇START PROGRAMS SMARTSEM SMARTSEM USER INTERFACE 軟件啟動后，自動對設備的硬件進行檢測。當設備出現硬件問題時，軟件將自動出現提示自檢完畢后，在EM server log on 對話框中輸入用戶名和密碼，進入SmartSem軟件。system無密碼軟件簡介：SEM Control 面板（啟動快捷鍵Ctrlg)操作軟件簡介點擊此處，可以選擇燈絲的開關和高壓的開關嚴禁擅自更改Fil I和Extractor V處的數值。如需更改，請先取得服務工程師的同意。雙擊或者拉動滑塊可以改變不同的EHTSE

7、M Control: Gun 界面SEM control: Detector 面板選擇不同的探頭選擇SE2 探頭收集極電壓值選擇兩種不同探頭的信號進行混合混合信號時，兩個探頭的信號比例調節圖像的亮度調節圖像對比度SEM Control: Aperture 面板選擇不同的尺寸的光闌激活此處，可進行光闌對中光闌對中燈絲對中像散校準電子束移動高電流模式觀察六孔光闌的位置和形狀SEM Control: Scan 面板選擇圖像存儲的分辨率掃描速度圖像的凍結是以手動形式還是掃完整幅圖片后積分次數或者是平均次數圖像噪音去除的六種方式選擇：幀平均，幀積分，線平均，線積分，像素平均，連續平均。SEM Contr

8、ol：Stage界面樣品臺目前所在的位置雙擊數據區，輸入你想要去的位置。輸入后，樣品臺移動到你輸入的位置。點擊功能塊，輸入你要移動的距離。例如：現在樣品臺X，Y的位置在64.125，64.485 你想讓X和Y方向各移動2mm，你可在XY 激活后輸入2，2后點擊OK即可。激活此處：樣品臺泄真空時，Z方向自動下降到最低點激活此處：樣品的上升時，SEM的工作距離自動進行更改。激活此處：樣品臺控制器失效SEM Control：Vacuum界面點擊Pump，樣品室開始抽真空。點擊Vent，泄掉樣品室內的真空。激活此處：當機器在Standby狀態時，真空泵停止工作。快捷鍵：詳細說明見下。操作軟件簡介操作軟

9、件簡介操作軟件簡介操作軟件簡介數據區：顯示電鏡當前的一些參數控制真空，燈絲開關，EHT的開關。當Gun或者EHT出現綠勾時，代表正在工作。Vac出現綠勾時，代表真空已經達到工作要求操作軟件簡介顯示鼠標左鍵和中鍵當前的功能操作軟件簡介基本介紹操作軟件簡介導出保存設定保存設定預覽或更改保存設定導入注解保存設定管理保存注解操作軟件簡介點擊Display LUT可以對圖片的明亮對比度，三元色進行修改跳出對話框操作軟件簡介雙擊Toolbar有管理權限的人員才可以對菜單上的快捷鍵進行修改跳出對話框操作軟件簡介雙擊或者Ctrl+A跳出注解對話框操作軟件簡介選擇注解對象選擇鼠標控制撤銷上次更改導入注解保存注解

10、刪除所有注解導出區域選擇加入文字注解導出參數插入用戶bmp格式圖片圓型注解區長方形注解區注解區直線粘帖面板放大區域微標尺固定長度標尺點對點距離測量角度測量正四邊形測量圓測量左右寬測量上下寬測量可移動左右寬測量可移動上下寬測量操作軟件簡介激活對話框后調出狀態欄激活對話框后調出用戶工具欄操作軟件簡介數據區控制激活后，屏幕上顯示米字準線操作軟件簡介可以確定SEM Control 面板上的Fil I & Extractor V的數據是否正確（圖片數據為模擬，每臺機器，燈絲數據都不同）操作軟件簡介常見問題：當使用AsB探頭時，如果看不見影像。請先檢查一下左圖的設置是否在“high”,然后檢查工作

11、距離，EHT是否過低。光闌尺寸是否過小。操作軟件簡介樣品臺進行初始化。常見問題：當水冷機出現不正常工作后，重新啟動水冷機并使之正常工作。有時會發生樣品臺不能動，重新啟動電鏡，EM Server 提示樣品臺沒有初始化。這時需要初始化樣品臺操作軟件簡介樣品臺位置的保存和調取常見問題：調取樣品臺位置的時候，一定要確定是同一個樣品臺和樣品。以防止不同樣品臺和樣品尺寸的不同，會碰撞到儀器的探測器或物鏡。操作軟件簡介連續中心點：激活此功能后，屏幕上出現一個十字座標。拖動十字座標到感興趣點，點擊鼠標左鍵。感興趣點將自動移到屏幕中心。操作軟件簡介樣品臺導航器：顯示樣品座的位置和一些參數。請注意：這只代表樣品座

12、的位置。不是樣品的位置。操作軟件簡介用戶名和密碼的設定：在Tools下來菜單中選擇Administrator輸入管理者的用戶名和密碼后出現以下對話框選擇Users中的New操作軟件簡介在下面填入相應的用戶名，密碼，保存目錄和選擇不同的權限操作電鏡的基本流程 將樣品放入樣品室，抽真空（抽真空時手推緊一下倉門）。真空度達到5.00e-005mbar以下時，可打開設定的高壓，取像。 移動樣品臺，使樣品在物鏡正下方，調節樣品和物鏡之間的工作距離。選擇需要的光闌和探頭。放大倍率到最小。使用鼠標聚焦，調節光闌對中和像散。提高放大倍數，再聚焦，調節光闌對中和像散。如此類推，至需要的放大倍數。 用去除噪音的模

13、式，取得高質量的圖片保存到指定的硬盤目錄中。 關閉高壓，泄真空，取出樣品。操作電鏡的基本流程樣品臺的安裝：請注意圖片上箭頭方向操作電鏡的基本流程關于光闌，EHT和工作距離設定的一些原則不同的EHT，最大的工作距離也不同。詳見下表操作電鏡的基本流程樣品臺控制器：當1號操縱桿上下移動，控制樣品臺上下移動。當1號操縱桿左右移動，控制樣品臺左右傾斜。當2號操縱桿上下左右移動，控制樣品臺前后左右移動。當旋擰2號操縱桿，控制樣品臺順時或逆時旋轉。圖片保存：當圖片凍結后，鼠標移動到圖片上，點擊鼠標右鍵后， 選擇Send to，然后選擇需要保存圖片的格式操作電鏡的基本流程選中需要保存的圖片格式后，跳出左邊的對

14、話框選擇你要保存的目錄輸入要保存圖片的名字保存圖片操作電鏡的基本流程調出圖片(請注意只有TIFF格式的圖片才能SmartSem軟件中調出）：鼠標移動到屏幕中央。點擊鼠標右鍵，點擊Import Tiff操作電鏡的基本流程點擊Import TIFF后，跳出以下對話框選擇要調入圖片的文件夾選擇要調入的圖片電鏡離子泵烘烤流程第1步：關閉電子槍和高壓請注意：這個一定不能忘記！如果沒有關閉，會發生危險第2步：用3mm的內六角，松開電纜線頭部的四顆螺絲第3步：拔出電纜線，并用鋁箔紙蓋住上面的孔洞和電纜頭第4步：在Tools Goto Panel Bakeout選擇需要烘烤的時間，點擊bakeout start第5步：插入還原請