1、型號：ZQJ-542氦質譜檢漏儀使用說明書資產編號：、設備組成及工作原理1、設備組成框圖氦質譜檢漏儀加壓罐重氟油粗檢裝置檢漏盒檢漏托盤氦氣噴搶2、設備工作原理檢漏儀內部組成：氦質譜檢漏儀主要由分子泵、質譜室、組合閥體，機械泵以及控制電路板等組成。檢漏儀的工作原理：氦質譜檢漏儀是根據質譜儀學原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。ZQJ-542檢漏儀采用180度磁偏轉質譜室，鎢制燈絲發射出來的電子 經過加 速進入離化室，在離化室內與剩余氣體分子和經被檢件漏孔進 入離化室的氦 氣互相碰撞使其電離成正離子， 這些離子在加速電場作 用下進入磁場，由于 洛倫茲力作用產生偏轉，由于不同質量數m/e的

2、離子其偏轉半徑不同，這樣就將不同的離子別離開了。由于磁場參數是固定的，只有調節加速壓力就可以改變氦離子的偏轉半徑，使氦離子正好通過隔離板上的窄縫打到放大器入口，這樣就使氦離子(m/e=4)與其他離子分開了。氦離子流正比于容器中氦分壓。因此 ，對氦離子 的測量可以用來確定被檢件的漏率。二、設備工作外部條件氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W儀器應安裝在符合儀器使用的環境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM勺通風間距。放置好檢漏儀，以防止儀器有傾斜或傾倒的危險檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵

3、中的機械泵油是否足夠，機械泵油必 須用專用的針對機械泵型號的油。三、設備工作外部條件接通操作氦質譜檢漏儀檢漏儀的機械泵有足夠的機械泵油；保證機體內分子泵、機械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。檢漏儀要放平穩，不能傾斜，檢漏儀底面要有一層防靜電布加壓罐壓氦裝置加壓罐壓氦裝置的外部接通順序：寫出設備外部條件的接通先后順序，操作方法，具體的參數等。1、把加壓罐、電阻真空計、真空泵、氦氣瓶按要求連接。2、檢查加壓罐的密封圈是否有損害， 加壓罐進出閥門是否關閉不了； 真空 泵是否有足夠的泵油，氣鎮閥旋鈕是否處在關閉的位置； 氦氣瓶 減壓閥是否 漏氣現象。3、確認所有應該注意的事

4、項沒有問題之后可以接電源通電重氟油粗檢2、在油箱中參加適量的重氟油3、插上電源線，設定重氟油的溫度進行加熱處理，翻開照明燈當溫度到達要求即可用來粗檢產品四、詳細操作 啟動檢漏儀1、連接電源插頭，翻開檢漏儀開關2、機械泵開始啟動。3、面板上的指示燈亮。4、液晶屏LCD 顯示如下信息：PLEASE WAITHIGH. AC PUMP:1%當分子泵到達正常轉速100%后，LCD顯示:PLEASE WAITPLEASE WAIT00:09HIGH. AC PUMP: OKFILAMENT RAMP UP #2當燈絲檢測、加電完畢后，系統進入待機狀態READ Y FOR CY CLEINLET VENT

5、:ON如果檢漏儀存放一段時間后的啟動如果檢漏儀長時間不用后，再次開時機增加一額外的啟動時間用來排出系統內的氣體。此時屏幕顯示如下列圖所示：PLEASE WAITStorage days:Delay(mi ni:s):08:40ABORT? PRESS RESET半檢漏噴氦法檢漏方法概述根據被檢件和測量精度要求，選擇適宜的測量方法，如下列圖 4 所示種是一半檢漏噴氦法的詳細步驟：1、插上電源，翻開檢漏儀總開關。等待 2到3分鐘，當聽到一陣風 鳴聲之 后說明檢漏儀已完全啟動。2、 查看檢漏儀裝置確保檢漏參數未被更改，檢漏儀運行正常。翻開檢漏儀盲孔，選擇適宜大小的檢漏托盤和密封橡膠板。用無塵布沾上酒

6、精擦拭下密封孔處，把檢漏托盤裝在檢漏口上，在放密封橡膠板時也要用沾上酒精的無塵布擦拭一遍；然后涂上一層高真空硅脂；最后 密圭寸橡膠板對準檢漏托盤中間 的小孔緊密貼合放在檢漏托盤上。3、如圖把組件未封蓋面放在檢漏孔的正上方處，手指輕輕的按壓組件反面。在組件的四周面用沾有酒精的棉簽涂上一層，然后點擊檢漏 按鈕進 行漏率檢測。等漏率值穩定之后，拿裝好氮氣的噴槍盡可能的 靠近組建前后端子處一個個的進行噴氣，這是漏率值都會有相應的變化。如果在報廢點之 內那么說明密封性合格，如假設有報警聲響那么說明該點密圭寸性不合格需要返修。4、組件檢完之后再按下檢漏按鈕當待機按鈕燈亮之后即可取下組件。二全檢背壓法1、

7、由于組件在加壓罐和檢漏盒中會受到一定的壓力沖擊，因此要用一張無塵 紙包裹住組件以免碰傷和組件內部元件受到沖擊。2、 全檢是要把產品先放在充滿氦氣的加壓罐中施加絕對壓力0.2Mpa 的壓力加壓4h。加壓罐裝置如下列圖所示：3、 在檢漏儀的檢漏孔處把檢漏盒裝好，把組件放入檢漏盒中蓋好蓋板。進行 檢漏。檢漏過程中不能揭開蓋板。4、將在檢漏儀上檢漏合格的組件，還需要經過氟油檢漏裝置進行進一步的檢漏。主要原因是擔憂有些組件的漏率合格在檢漏儀抽真空時，如果產品有很大的漏孔，會把產品中泄露的氦氣也抽走，從而影響檢測的結果因此才進行氟油粗檢。氟油粗檢的時候通過肉眼觀察氣泡的泄露情況即可最終判斷該組件的漏率是否

8、合格。5、氟油檢漏之后，帶上咼溫手套把組件從氟油中拿出來，冷卻寫出設備的詳細操作步驟， 列出典型的工藝參數設置；如果需要 編制程序，寫出簡要的編程過程和要領。2、五、設備工作外部條件關斷操作一關閉檢漏儀儀器可以在任何情況關閉， 但是建議如果檢漏儀長時間不用， 需要遵 循下 面的步驟進行關閉！1、在檢漏口上堵上盲板。2、按下檢漏按鈕，使檢漏儀處于檢漏狀態。3、等到漏率到達最小可檢漏率狀態。4、確認放氣閥處于手動關閉。5、按下檢漏鍵停止檢漏。6、關閉檢漏開關。二重氟油檢漏關閉照明， 加熱拔下插頭切斷電源； 當重氟油檢漏長期不用時可等油 冷卻 之后重新裝入油桶里儲存。三加壓罐 工作完成后關閉氦氣減壓

9、閥， 并把減壓閥兩個表中的氣體排盡。六、外部工作條件異常處理1、氣源供給缺乏時檢查氣瓶是否用完，還是有泄露情況，及時解決。2、真空泵不能正常運行，檢查泵油其否足夠，缺乏時及時添加。七、操作平安考前須知1、產品放入加壓罐中加壓時，不能直接撤除加壓罐。必須先把加壓罐里面的 氣體排出才能翻開。 由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以 防造成一定的傷 害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在 加壓罐上方貼一個警告標 識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進行重氟油檢漏時，產品不能直接放進油箱中，而應把油箱中的托盤拿出，把產品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。八、日常保養及故障處理設備日常保養：1、 定期檢查機械泵的油