1、Supplier “Copy Exact”/CE! Training Package供應供應商精確復制（商精確復制（CE!CE!）培訓材料）培訓材料SCM100114 QA / Quality Systems 質量保證/質量體系 Engineering / Design Control 工程/設計管控 Manufacturing / Process Controls 生產/過程控制 Management / Account Management 管理層/項目管理參加培訓的部門及人員： Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary I

2、nformation SCM100114 Rev B DCO0018782培訓目的培訓目的為幫助Brooks的供應商理解以下內容：一 精確復制(Copy Exact)的理念理念及重要性重要性二二 關鍵關鍵零件零件的定義與 FA FA 報告的要求三三 過程控制計劃過程控制計劃(PCP)與過程記錄過程記錄(POR)的制定與遵守四 變更申請(SIARSIAR)的流程與適用類型 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018783第第一部分一部分 精確精確復制的理念及復制

3、的理念及重要性重要性Transistor Gate65 nanometer所以：所以： Brooks robots（Mag 7）和真空系列產品滿足）和真空系列產品滿足上述條件上述條件，應遵循，應遵循精確復精確復制的管控規定。制的管控規定。電子產品是由Brooks的終端客戶生產的1.這些產品由多種集成電路或芯片組成的；2.完成一塊芯片需300300多道工序；3.芯片體積隨著晶體管的尺寸越變越小，現已小于6565納米納米/./.000002000002英寸英寸；人頭發厚度約為100微米，相當于可放置10001000個個晶體管；4.尺寸縮小導致制造公差變小，那么對化學純度、溫度精確和固體雜質的控制要

4、求更加嚴格。Brooks 產品 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018784精確精確復制的理念及復制的理念及重要性重要性 CE！是記錄和執行變更通知和批準的一種流程。 CE！是半導體行業里的術語，其含義和其他行業中使用的“凍結流程”，“鎖定流程”或者“受控管理”是一樣的。 對Brooks 的供應商來說，申請變更需要提前270天書面通知。因為Brooks 需要時間來評估這個申請并依據客戶的時間表通知Brooks的客戶。 Copyright 2014 by B

5、rooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018785精確精確復制的理念及復制的理念及重要性重要性原材料零部件工作地點S.O.P.流程機器/設備軟件任何影響產品形式、配合、功能、外觀或性能的因素都是改變。這包括所有供應商和次級供應商材料、過程、程序和設備。變更控制涉及產品生產過程的每個方面，并且所有Brooks產品必須有嚴格的變更管控。任何改變需要具備控制規劃、風險評估、資格評審和及時溝通，讓Brooks可以完成規劃、評估風險和資格評審的工作。 Copyright 2014 by Brooks Auto

6、mation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018786精確復制對精確復制對Brooks客戶的重要性客戶的重要性 防防止工藝參數波動止工藝參數波動半導體行業需要嚴格的過程管控嚴格的過程管控，因為： 晶片價格昂貴，一片300mm的晶片價值$10,000 $10,000 到$100,000 $100,000 ； 生產設備工藝參數的波動，會導致晶片合格率急劇下降； 設備工藝參數波動的原因包括：設備零件的材料發生改變；設備的組件發生改變；生產方式或測試方法發生改變。n查明工藝參數波動的原因與維修，費用超過$ $50,00050,00

7、0！ 為預防未經批準的改變和由此產生的額外成本，為預防未經批準的改變和由此產生的額外成本，CE！要求用過程控制計！要求用過程控制計劃（劃（PCP）來保證）來保證產品性能的可重復性。產品性能的可重復性。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018787精確復制對精確復制對Brooks客戶的重要性客戶的重要性 合格率與停機費用合格率與停機費用1. 違反CE！會導致芯片合格率下降；合格率每下降0.1%，客戶損失超過$300,000$300,000。2. 事故費用包括

8、：保修保修和服務費用和服務費用：原材料和雜質導致失效的維修成本是工件本身的4至400倍調查調查費用費用： 每筆事故調查費$2,000$2,000至至$ $250,000250,000重審重審費用費用：返修后，仍需額外的時間和資源重審工藝過程機會機會損失成本損失成本：若首檢失敗，客戶不接受工藝，那么機會損失超過$400,000 供應商違反供應商違反CE!CE!造成的損失，客戶造成的損失，客戶決算決算后由供應商全部承擔。后由供應商全部承擔。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev

9、 B DCO0018788精確復制對精確復制對Brooks客戶的重要性客戶的重要性客戶遇到下面的情況會非常不滿！ 微小的改變微小的改變不嚴格的不嚴格的過程管過程管控控 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO0018789精確復制對精確復制對Brooks客戶的重要性客戶的重要性 客戶一旦對過程管控失去信心，就會要求我們做更多的工作：“5-why”失效調查報告；內外部供應商資格證明；過程控制計劃；質量管理計劃；開展過程糾錯調研會議；提交糾錯措施的相關報告； Copyr

10、ight 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187810 關鍵零件是對半導體制造設備的性能有直接影響的零件。這些零件對晶片的產晶片的產出合格率出合格率有影響，主要表現在：影響晶片的環境，流程和維修周期；影響過程控制和發貨體系；影響系統可靠性和使用壽命。BrooksBrooks的關鍵零件的關鍵零件：包含關鍵特征的產品；工藝較復雜或對性能有要求的產品；Brooks指明供應商生產的產品具有供應商過程控制、關鍵特征注釋和檢查表的標識的產品。第第二二部分部分 關鍵零件與關鍵零件與FA報

11、告報告 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187811如何知道我們在制造如何知道我們在制造Brooks的關鍵零件？的關鍵零件？ PO中注明為Critical的零件/組件的； 供應商被通知為關鍵部件制造商的； 圖紙中注明 “Critical Part”的； 供應商提供FA資質報告和工藝證明或過程控制計劃要求的。FA報告的主要內容報告的主要內容 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Info

12、rmation SCM100114 Rev B DCO00187812FA報告主要包括：封面；圖紙-氣泡圖；尺寸報告；關鍵零件的FA報告必須包含 PCP PCP 和 PORPOR如客戶要求，還應包括：PCP 過程控制計劃；POR 過程記錄；過程能力分析報告及Cpk數據；原材料材質報告及第三方檢驗報告；制造商承諾書；SIAR表；記錄Cpk數據的MPJ文件； Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187813操作操作描述產品/過程要求抽檢頻率記錄方法控制方法/測量

13、Process Control Plan過程控制計劃過程控制計劃10原材料進料檢驗認證要求.750 Dia. (+/- .005) 303 SST 規格認證游標卡尺含鉻量檢驗-目測每批根據AQL1.0來檢合格/不合格表20車床/切斷工作臺-加工中心16無程序-手動車外圓 .630+.005 -.000 切斷總長1.090 1.100兩端倒角大約.0150 1” 千分尺游標卡尺目測首件和末件首件和末件首件和末件首次/末次檢驗表首次/末次檢驗表首次/末次檢驗表30車加工工作臺-加工中心19A程序代碼#11567-版本C-257893位.281 - .283 Dia.244 - .246 Dia.0

14、93 - .098 Dia.140 - .145 Dia.126 - .127 Dia.005 - .010 RadiusPIN規PIN規PIN規PIN規PIN規 (.1260, .1265, .1270)半徑比較儀1.0 AQL1.0 AQL1.0 AQL1.0 AQL0.4 AQL1.0 AQL合格/不合格表格記錄變化數據表合格/不合格表格40鉆孔鉆床手動.187 +/- .010.005 - .010 RadiusPIN規 鉆孔時保證飛邊最小半徑比較儀1.0 AQL1.0 AQL合格/不合格表50去毛刺砂輪所有徑向無毛刺目測100%全檢首次/末次檢驗表60電鍍(外協加工) 類型 II 消

15、光處理Brooks 3544095鍍層厚度電鍍商提供每批化學檢驗書目測CTI 電鍍拋光 / 橫截面蝕刻根據工具測量說明.1.0 AQL檢驗表70終檢所有尺寸符合圖紙規格Brooks藍圖 /說明書檢查版本為PO1.0 AQL檢驗表供應商:XYZ Machine8185078G001工件代碼:APCP 版本 #:過程控制過程控制計劃計劃(PCP) Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187814過程記錄過程記錄(POR) Copyright 2014 by Br

16、ooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187815FAFA報告報告封面、關鍵封面、關鍵零件的零件的圖紙、圖紙、尺寸報告尺寸報告 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187816FAFA報告報告原材料材質報告原材料材質報告 & & 過程過程能力分析報告能力分析報告過程能力分析報告過程能力分析報告原材料材質報告原材料材質報告 PCPPCP和和PORPO

17、R文件應與文件應與FAIFAI報告一并提交報告一并提交 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187817FAFA報告的報告的提交與審核提交與審核 對于關鍵關鍵零部件零部件，供應商需提供PORPOR復印本復印本和PCPPCP復印本復印本作為FA過程的證明。 PORPOR和和PCPPCP參考數據將作為參考數據將作為FAFA記錄的一部分記錄的一部分。 提交后，Brooks質量工程師或第三方質量工程師將對POR進行審核。 我們應對次級供應商的POR進行常規審核常規審

18、核。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO001878181. 供應商審核Brooks要求2. 制定每步的工藝3. 定義每步控制要素4. 定義如何采集測量數據6.完成最終檢驗報告與/或合格證明1 建立過程記錄:2 問題/ 改進的方法?通過SIAR提交給客戶1 過程優化;2 過程失效模式及后果分析(PFMEA);3 Poka-Yoke 防錯措施利用追溯質量管理計劃和實施SPC來驗證工序能力驗證工序能力5. 定義糾正措施方法7. FA和資質證明文件提交Brooks檢

19、查和審核Brooks發出關鍵零件通知供應供應商行為商行為鎖定鎖定POR好的控制計劃需從5Ms & 1 E方面入手Manpower人力Methods方法Measurement測量Material材料Machines機器& Environment環境PCP 計劃建立流程計劃建立流程第三部分第三部分 過程控制過程控制計劃計劃(PCP)(PCP)與過程記錄與過程記錄(POR)(POR)的建立流程的建立流程 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO001878

20、19過程控制過程控制計劃計劃(PCP)與過程記錄過程記錄(POR)(POR)的的遵守遵守 在沒有預先在沒有預先通知通知Brooks并獲得批準的并獲得批準的前提前提下，我下，我們和次級供應商一定要們和次級供應商一定要遵循遵循PCP和和POR文件，不允許文件，不允許違背。違背。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187820違反違反PCPPCP案例案例BrooksBrooks案例案例根本原因：根本原因： 1. 因指定材料的短缺，次級供應商改換成“高級”的石英材

21、料。新材料是不耐氣體侵蝕處理的。影響及后果：影響及后果：1. 為防止粒子污染產生，客戶需清洗并購買額外的清潔工具包來保證客戶設備可使用，還需配置特殊的光學測試設備來檢測內外庫存有無被不合適的原料造成污染。2. 損失總額：a) 次級供應商承擔：大約$100,000（材料和測試費用）b) 客戶承擔： 超過$1300,000（產品召回、服務費、客戶折算費） 問題描述：問題描述： 客戶真空設備腔中出現大量細小微粒。Particlesfrom Quartz Window Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information S

22、CM100114 Rev B DCO00187821違反違反PCPPCP案例案例ETLAETLA案例案例根本原因：根本原因： 1. 違反工藝流程規定的“先刻字后檢驗”的工藝順序，且為標識產品在其內壁貼標簽；2. 標簽痕跡殘未及時清理，直接流到客戶。影響及后果：影響及后果：1. 影響客戶正常生產流程，引起客戶投訴客戶投訴；2. 內部調查所有庫存，并對產生的問題糾錯整改，花費花費大量時間和人力資源大量時間和人力資源；3. 客戶對公司的滿意度下降，對公司的聲譽造成了不良影響不良影響。BKA 210428未按工藝流程操作，隨意貼標簽。問題描述：問題描述： 客戶反映Mag 7 BKA210428產品內壁

23、上殘留標簽痕跡。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187822我們必須知道！我們必須知道！對于關鍵零件， 沒有過度過度管管控控的說法； 沒有微小改變微小改變的說法；請記住： 小改變小改變帶來大問題大問題。 我們作為Brooks關鍵零部件供應商，要嚴格按照已確定的過程記錄（過程記錄（PORPOR）建立可靠的過程控制計劃（過程控制計劃（PCPPCP）。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary

24、 Information SCM100114 Rev B DCO00187823第四部分第四部分 供應商發起變更申請供應商發起變更申請(SIAR)(SIAR)1. 工程工程反饋反饋是在原型和設計階段為降低成本和提高可加工性來反饋建議的。SIAR表就是用來用來提交和追蹤提交和追蹤這些建議的。2. SIAR表用來申請物料或過程記錄的變更；也可申請POR的棄權，特殊要求或圖紙的說明，或建議新零件的加工改進方法。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187824SI

25、ARSIAR申請流程申請流程與與周期周期鑒定計劃完成，得到書面鑒定結論鑒定計劃完成，得到書面鑒定結論 理由是否具備說服力？理由是否具備說服力？過程記錄不允許改變過程記錄不允許改變充分的鑒定計劃充分的鑒定計劃?Brooks 與供應商溝通和預測變更的階段與供應商溝通和預測變更的階段 變更理由是否合理變更理由是否合理過程記錄不允許改變過程記錄不允許改變 判定變更理由的正當性；判定變更理由的正當性； 對提議的變更制定鑒定計劃對提議的變更制定鑒定計劃 制定可量化的前期實現標準制定可量化的前期實現標準 數據達到了實現標準數據達到了實現標準?過程記錄不允許改變過程記錄不允許改變批準變更批準變更!NoYesN

26、oYesNoYesYesNo 如果如果Brooks找找不到合理的變更理不到合理的變更理由，申請極有可能由，申請極有可能被拒絕。被拒絕。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187825SIARSIAR申請流程申請流程與與周期周期整個供應鏈中的變更請求傳遞整個供應鏈中的變更請求傳遞SupplyBase供應商供應商關鍵零部件的過程記錄Brooks Automation產品過程記錄CapitalEquipmentOEMs首級設備首級設備制造商制造商ENDUSER終

27、端客戶終端客戶集成電路生產商1. 1. 材料、工藝或者次級供應商的變更需由材料、工藝或者次級供應商的變更需由BrooksBrooks和客戶對過程和客戶對過程/ /可靠性資格進行審核批可靠性資格進行審核批準。因此，鎖定準。因此，鎖定PORPOR后不鼓勵供應商的變更。后不鼓勵供應商的變更。2. 2. 計劃變更需提前計劃變更需提前270270天通知，以有足夠的時間滿足工藝的變更和確定。供應商和次級天通知，以有足夠的時間滿足工藝的變更和確定。供應商和次級供應商需要建立精確復制交流規則，并保證在供應商需要建立精確復制交流規則，并保證在270270天內產品天內產品和和過程均可用。過程均可用。資格測試階段資

28、格測試階段ASub-Supplier次級供應商次級供應商關鍵零部件的材料、表面處理或子裝配體的過程記錄執行測試階段執行測試階段C資格測試階段資格測試階段B供應商變更申請提交和審批細則SIAR提交和審批細則原始設備制造商CE!變更申請通知與首件提交細則精確復制變更申請提交細則 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187826SIARSIAR申請表申請表的提交的提交1. 凡涉及工藝的改進或產品壽命終結的計劃變更，需提前270天天通知客戶，必要時需進行產品合格測試

29、；2. SIAR表以郵件的形式提交至Brooks采購部；3. 變更開始執行的時間開始執行的時間將在SIAR申請的反饋表中定義。 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187827變更變更類型類型Brooks SIAR 批準實例批準實例供應商提供供應商提供支持數據支持數據Brooks /Brooks /客戶資格測試可能性客戶資格測試可能性(270 days SIAR)(270 days SIAR)物料清單-元件新電子元件壽命周期結束，需要更換電子元件-測試證明或

30、數據- 替換數據中 高無法達到要求的零件或原材料不能出現在次級供應商的管理中，但是可通過郵件或SIAR申請交流合作需替換的原始信息低 高取決于零件子件規格變更壽命周期結束,新的元件規格替換故障元件-測試證明或數據-功能風險分析中 高原材料-規格變更壽命周期結束： 1. 末端執行器踏板的新聚合物；2. 軸承的新潤滑液；3. 金屬合金替代物純度/機械規格,需求和使用測試.高原材料-供應商變更1. 皮帶輪制造商A更改為B2. 次級供應商涂層工藝A更改為B如果是關鍵零件,需要Brooks/終端客戶的合格性測試中 高特殊工藝-過程變更電鍍供應商希望更改過程記錄（次數/頻率） 沒有Brooks的批準不能更

31、改中 高特殊工藝-供應商變更新的陽極氧化/電鍍供應商需要與Brooks考核供應商中 高生產位置變更1. 生產場地擴展2. 生產場地轉移/外包- 轉移并進行資格測試計劃，現有生產影響分析-同上并且重新進行資格考核低 中人員變動變更如果Brooks的生產轉交新的工作組或者制造場地擴展/轉移，需要提交通知。（一般的輪崗培訓不需要提交申請）-新員工的資質達標計劃低供應商發起工程變更類型供應商發起工程變更類型 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187828變更變更類

32、型類型Brooks SIAR 批準實例批準實例供應商提供供應商提供支持數據支持數據Brooks /Brooks /客戶資格測試可客戶資格測試可能性能性(270 days SIAR)Machinery機械- 不同的加工中心- 新的焊接/沖壓/裝配設備- 新的夾具、工作臺設計- 不同類型的工藝修改后的POR零件的FAI報告供應商或Brooks的合格認證證書比較風險分析低 中Material材料- 不同機油，精加工材料- 不同原材料/供應商- 物料清單零件的裝配、外形、功能變更材質規格比較風險分析FFF變更成本理由中 高Methods方法- 工藝變更- 時間/溫度/化學-物理條件- 清潔或者包裝更改

33、比較風險分析 產量/成本變更理由性能數據中 高Metrology計量-基于過程控制論證，希望減少抽樣頻率或者QA計劃標準-希望更改測量設備/方法- “黃金”準則更改/重置變更理由準確性、可重復性、可追溯性的測量方法經過驗證的新的“黃金標準”中Manpower人力只有當較多數人力擴充，大面積人力轉移或者有資質的人員容量較小時才需要申請（輪崗培訓無需提交申請）提供培訓計劃和為擴張或覆蓋事件的影響分析低Environment環境只有當設備更換/轉移，會影響零件/材料儲存與清潔時適用。改變現有設施理由新的無塵室/清洗設備的合格數據低Brooks 或產業的規定供應商若對如何實施某一工藝來滿足Brooks

34、或產業的要求不了解使用SIAR申請聲明或者會議以便完成最終的過程記錄文件。不適用需要申請的工程變更需要申請的工程變更 Copyright 2014 by Brooks Automation, Inc. Proprietary Information SCM100114 Rev B DCO00187829不需要申請的變更不需要申請的變更Category類型類型Example(s)舉例舉例5 Ms & E Categories5Ms & E 類型若文件表明“完結狀態”的。若現有的過程記錄沒有澄清或者省略 Brooks FA或者合格工件中常使用的工藝步驟。同意用標記修改主文本記錄或者過程記錄直到正式文本更新。Manpower人力我們希望員工被培訓認證資格后并/或得到監督來確定過程記錄的執行，而對于普通的輪崗培訓不需要申請通知。（較多設施的擴展/轉移/變動需要提前通知Brooks）Normal Maintenance一般的維護刀具，庫位等的替換等,若遵循公司已建立的規定并依據過程記錄或公司標準操作程序，無需提出申請。Normal