1、半導體生產二部過程控制程序兼職廣告任務網分發部門總經辦管代行政部人力資源部生產一部生產二部生產三部品檢部研發部市場營銷部采購部財務部項目部動力保障部文控中心檔案室分發范圍分發份數 1.目 的使生產二部生產各階段處于受控狀態，確保生產過程及其結果滿足要求。2.適用范圍 本程序文件適用于生產二部生產所有過程的控制。3.引用文件3.1 生產二部生產過程控制程序 3.2 采購部及供應商開發管理控制程序 3.3 倉庫物料控制程序 3.4 品質控制程序 3.5 不合格控制程序 4.職 責4.1 生產經理全面負責本部門工藝、生產、設備、動力等正常運轉及產能有效匹配，工藝改善生產控制，以及所有異常情況處理或協

2、調處理；本部門人事組織安排及管理，主持日常會議及其它日常管理工作，協調內部各方面關系，注重效益和團隊作用；實時跟蹤所有物料使用情況信息及初步成本核算，有效進行物料控制，包括供應商信息、申購、運輸、貯存、使用、規格及有效期控制等；分析工藝、生產、設備、動力數據信息，分析解決問題，向公司總經理定期匯總上報本部門人事、工藝、生產、設備、動力、物料、供應商、客戶等信息月報；對內與市場部、采購部、行政人事部、財務部等部門溝通相關事宜，協調部門間關系，對外與供應商溝通以處理設備、物料質量、期限、維修保養等信息，以及與客戶溝通產品質量、規格、生產進展情況等；負責督促、檢查及考核生產主管、生產文員、生產領班、

3、生產站長、技術主管、工藝工程師、工藝技術員、設備主管、設備工程師、設備技術員的工作。4.2 生產主管負責制定相關生產操作規范及相關制度、表格；組織管理人員的管理培訓，新員工的制度培訓；能組織相關人員技術攻關和工藝改進,提高產品質量和勞動生產率,改善勞動條件,降低消耗；組織解決生產現場出現的問題，分析庇病因素，制定對策并組織實施，保證生產正常進行；對生產進度進行統計和調控，組織生產，安排加班、延點及人員調配，確保生產任務的完成；統計記錄生產數據、品質異常及改善處理方法。4.3 生產文員負責定期和不定期向各站長了解物料使用情況，進行領料領片投料投片工作，詳細掌握各物料使用信息（包括數量、規格、有效

4、期等）；每周五上午收集各報表（生產、績效、會議PPT等）及整理匯總上報；其它與市場部和采購部相關溝通工作或文字處理（制定相關表格）工作等。4.4 生產領班負責上班工作交接，提出注意事項；負責組織每班上班前約十分鐘會議，會議內容包括工作任務、紀律、注意事項、分析解決問題；及時向相關工程師或經理上報異常情況，協調相關工程師分析處理問題；協調整個生產線正常生產、突發事件的處理（包括工藝、生產、設備、工程、人員、安全等）；整班出勤記錄、紀律記錄、異常情況記錄、異常處理情況記錄等。4.5 生產站長負責協調本站操作人員工作安排、倒班安排等；本站工作的培訓，包括設備操作、工藝注意點、工作記錄；負責本站物料控

5、制（包括數量、有效期、庫存、供應商聯系等），定期向本部文員反映；負責每天檢查本站設備、水電氣、環境等狀態，如有異常及時向領班或相關工程師報告；負責工藝、生產、設備使用情況、物料使用情況記錄，以及以上異常情況記錄及如何處理。4.6 技術主管制定相關工藝生產規范及相關制度、表格，編寫生產作業指導書；組織新進員工培訓，包括制度規范培訓、技術技能培訓；工藝改善，工藝糾正預防措施，品質質量保證，工藝生產流程安排；協助研發部進行工藝開發及工藝改善、工藝實驗；能不斷提出高業務水平和組織技術、工藝攻關；能深入生產現場，協同質量部門對不合格品的審理，及時、有效地處理有關 技術問題、技術難點，并通過技改等措施提高

6、生產效率；統計記錄工藝實驗數據、工藝異常及改善處理方法。4.7 設備主管制定相關設備制度，包括設備使用維修制度、維護保養制度（點檢、周檢、月檢、季檢、年檢計劃等）、備件庫建立（包括數量、規格、供應商信息、價格等）、操作規范等；負責整個生產線設備維修維護保養、定期或不定期進行設備和水電氣檢查并記錄信息；善于發現異常前兆防患于未然、立即處理站長領班報告的設備水電氣相關問題、制定設備維修維護時間表、及時與供應商溝通處理相關問題；與工藝生產工工程充分溝通、協調工藝生產正常進行；統計記錄設備使用情況、異常情況及處理措施。4.8 倉庫庫管員根據領料單負責原材料的發料，根據入庫單負責成品或半成品的收料，要求

7、單、物、數相符。5.PPS制造環境要求及控制流程5.1 工作（生產環境）要求如下：溫度要求：22±1濕度要求：45%±5%潔凈度要求：黃光室1000級，ICP、清洗間、檢測等為10000級。5.2 PSS制造(控制)流程程序如下圖6.生產過程的控制流程6.1COA作業控制作業要求.1Track20分鐘未進行COA作業時，需空排光刻膠3秒以上，然后作業；.2嚴格按照coating作業指導書選擇所需COA程式進行作業。檢測及作業內容.1作業時機臺無異常聲音，要求每周對勻膠Chuck進行轉速測量及校正；.2光刻膠無過期；.3勻膠后目測晶片外觀色澤均勻完整、無其他異常；要求抽檢3片

8、/每盒（按順序第1、10、20片）；.4顯微鏡下檢查晶片表面無刮痕或掛橫1mm；要求抽檢3片/每盒.5目測晶片表面無光刻膠脫落或脫落面積2m；要求抽檢3片/每盒（按順序第1、10、22片）；.6用膜厚儀對光刻膠進程厚度測量，要求每8小時抽測3批，每片測量5個點，分別為上、中、下、左、右；光刻膠要求厚度為：3.00±0.05um； .7計算光刻膠均勻性；測量公式(max-min)/(max+ min)，要求wafer to wafer 2%;。6.2 EXP作業控制作業要求.1不同曝光機選擇正確合適的cassette及曝光時間進行曝光；曝光時，wafer正面朝上；.2作業過程中注意機臺

9、運行情況。檢測及作業內容.1曝光后觀察光刻膠外觀及色澤，要求外觀完整，色澤均勻；每批抽檢1片；有異常則返工并對整批進行檢查；.2光刻膠無刮痕，或刮痕1mm；.3晶片表面無污染；.4未顯影的晶片嚴禁帶出黃光室或用顯微鏡對其檢測。6.3DEV作業控制、作業要求.1作業前先確保DI水壓正常；.2嚴格按照作業要求選擇所需程式進行作業；.3查看顯影液回收桶有無裝滿。檢測及作業內容.1用共聚焦顯微鏡對光刻膠顯影后尺寸進行測量；要求：Height:1.31.7umBottom:2.32.6um，每批抽檢2片；.2目測顯影后光刻膠邊寬要求圓邊2mm,平邊4mm，3片/每盒（按順序第1、10、20片），不合格即

10、返工；.3目檢/顯微鏡檢查光刻膠表面無刮痕，或刮痕1mm 3片/每盒,不合格即返工；.4顯影后無局部脫膠，或脫膠2m；.5顯微鏡下觀察無明顯過顯影或顯影不足現象；.6顯微鏡100倍下觀察曝光場與場之間有無疊加、錯位、分離、色差明顯等現象。6.4 BAKE作業控制作業要求.1作業前先確保oven溫度為130±5度，并已穩定；.2片子流出黃光室應從傳遞箱流出；.3計時器應帶鬧鐘功能，避免忘記。檢測及作業內容.1每批抽檢1片，檢查光刻膠表面有無異常。6.5 ICP作業控制作業要求.1使橡皮圈均勻分布在底盤的各個小槽上；.2把蓋子用螺絲力度均勻（用扭力螺絲刀擰緊）地固定在托盤上；.3按要求選

11、擇合適程序進行ICP制程；.4注意三氯化硼流量、腔體壓力，氦氣流量，RF1功率，RF2功率的設置于變化，異常情況要及時解決；.5每三個RUN做一次腔體清潔；.6作業過程中，工作人員不得離開崗位。檢測及作業內容.1用共聚焦顯微鏡9點檢查法，檢測圖形規格；B5C：Depth:1.85±0.1，Bottom:2.90±0.2，Uniformity:5%；BOA：Depth:1.31.7um，Bottom:2.32.6um，Uniformity:5%，要求每7片抽檢1片，不合格即通知工藝工程師；.2用共聚焦顯微鏡檢查5點圖形的深度，要求均勻性5%；.3用顯微鏡或共聚焦顯微鏡檢查圖形

12、有無過蝕刻或蝕刻不足現象；.4用顯微鏡檢查晶片表面有無凸丘、凹坑、殘膠或其他異物；.5任何異常均需詳細記錄。6.6 BATH及SRD作業控制作業要求.1要區分有機清洗、無機清洗和有機+無機清洗；.2查看溶液是否需要更新；.3選擇適當的程序進行甩干作業。檢測及作業內容.1清洗溶液溫度是否達標；.2沖水時間是否足夠；.3沖水后放入SRD旋干機中甩干，詳細操作見: SNS-WI-S2-501 A0 甩干機操作規范.4晶片表面是否有頑固性（殘膠）污漬難以去除，如果有，可采取棉簽拭擦方式將其清除。6.7 PACKING作業控制任何產品必須經過檢驗員確認檢驗合格才能包裝；產品包裝前先對前道工序進行復檢；包

13、裝時必須做到產品表面、接縫等隱蔽處無灰塵、無油漬；包裝時如發現工件有質量問題需返工返修時，應及時補齊；不能補齊時應及時做出反饋，以免耽誤出貨；包裝過程中要保證在產品正常搬運過程中撞擊、嚴重傾斜的現象；包裝完后，貼上料號標簽入庫。7.生產考核7.1生產部負責對生產班組的計劃完成率、工序一次交驗合格率、產品出廠合格率考核。7.2生產班組負責對生產員工的工時定額完成情況考核，勞動紀律和工藝紀律考核。8.批次管理8.1各工序的加工作業都必須按PSS作業記錄單規定的品種、批次號、批次數量進行。8.2每批產品均有相對應的PSS作業記錄單。8.3每天的加工完成情況須如實反映在生產二部生產報表上。9.特殊過程

14、的質量控制9.1本公司的特殊過程包括：黃光工站。 ICP工站。9.2特殊過程要實行三定：定工藝，定設備，定人員。9.3特殊過程的質量保證主要是通過工藝參數的監控及測試儀的檢測來保證，各相關人員要做好相關記錄和設備上的儀器、儀表的監控。當發現問題時應立即報告生產主管及工程師來解決。10.支持文件10.1 coating作業指導書 SNS-WI-S2-101-A010.2 TRACK換液（丙酮、PR、顯液）規范 SNS-WI-S2-001-A010.3 stepper作業指導書 SNS-WI-S2-201-A010.4 Develop作業指導書 SNS-WI-S2-301-A010.5 Coria

15、l ICP作業指導書 SNS-WI-S2-401-A010.6 Corial ICP零部件清洗作業規范 SNS-WI-S2-402-A010.7 ELEDE ICP作業指導書 SNS-WI-S2-403-A010.8 ELEDE ICP零部件清洗作業規范 SNS-WI-S2-404-A010.9 SLR 作業指導書 SNS-WI-S2-405-A010.10 SLR 零部件清洗作業規范 SNS-WI-S2-406-A010.11 甩干機操作規范 SNS-WI-S2-501-A010.12 清洗間操作規范 SNS-WI-S2-60110.13 去膠作業規范 SNS-WI-S2-60210.14 硫酸溶液安全使用規范 SNS-WI-S2-60310.15 成品包裝機作業規范 SNS-WI-S2-70110.16 光學膜厚儀操作規范 SNS-WI-S2-80110.17 晶片夾取及倒片操作規范 SNS-WI-S2-90110.18 生產二部崗位職務說明書 SNS-WI-S2-90210.19烤箱操作規范指導書 SNS-WI-S2-802 11.質量記錄11.1 投片記錄單 SNS-QR-S2-051 11.2 黃光室工藝記錄單 SNS-QR-S2-05211.3 黃光室出片記錄單